晶圆厂简介
晶圆厂是生产硅片,集成电路就是在晶圆上以各种工艺生产的。晶圆厂也可以生产电路,晶圆生产好集成电路后要切割和封装,封装就是将生产,切割好的集成电路引线,加外壳供用户使用。晶圆厂的英寸指它生产的集成电路的硅片的尺寸,越大其生产出的集成电路越多,其单个的成本越低,当然也越难生产。因为尺寸增加一倍(直径),面积增加四倍。同样的工艺流程和时间,产出就增加四倍。
晶圆厂工作环境分析
并不是想要讨论晶圆厂是否能创造工作机会,而是想了解在邻近晶圆厂之处拥有设计/工程团队的价值;意法半导体(STMicroelectronics,ST)位于Rousset的晶圆厂就是一个例子,该公司微控制器暨数位IC事业群(MDG)策略规划总监Jean-ClaudeNataf告诉我,Rousset生产线目前满载产量为每周9,000片晶圆,公司的工程团队经理与晶圆厂的工作人员,以彼此之间能快速互动回馈而自豪。
另一个例子是法国格勒诺布尔/里昂(Grenoble/Lyon)区域正快速崛起的影像技术产业聚落;市场研究机构YoleDeveloppement分析师PierreCambou解释,影像技术的创新通常会需要制造技术的演进,而反过来也能建立一个技术驱动的环境。根据市场消息,有十几位Apple的工程师迁移到Grenoble成立了一个研发中心,这正是因为该区域有影像感测器专家,也有半导体制造──以ST为首;Canbou表示:“你需要有晶圆厂,”才能形成产业生态系统。
以上的例子清楚显示,并不一定要节省制造部门的人力;他们证明了在研究人员、设计者、工程师、技术人员、晶圆厂营运者以及管理阶层之间的密切联系,能产生具建设性与创造性的交互作用。
原本认为,半导体产业发展历史告诉我们,那些转向“轻晶圆厂”(fab-lite)业务模式,以及对无晶圆厂运动抱持质疑态度的后进者,终究会被自家晶圆厂的压得喘不过气;晶片制造生产线需要持续的大量投资才能维持现状,再加上晶片产业很容易受到高低起伏的市场周期影响。简而言之,包括我自己在内的产业观察者,一直有个结论是除了英特尔(Intel)与三星(Samsung),晶圆厂对现今大多数半导体厂商来说都是沉重的负担。
在造访Rousset时,还婉拒了ST要带我参观8吋晶圆厂的邀请──有点懒得换上无尘衣,总觉得晶圆厂不就是都长那样?但我错了…ST事业群副总裁暨微控制器部门的总经理MichelBuffa做了一次很棒的响导,改变了我对晶圆厂的偏见;我很庆幸我后来还是参观了晶圆厂。
那时Buffa问我有没有看过SMIF…。我没有,而且我老实对他说我不知道那是什么;所谓的SMIF是标准机械介面(StandardMechanicalInterface)的缩写,是一种专为半导体晶圆厂与无尘室环境开发的隔离技术,SMIF晶圆盒(pod)能与制造设备上的自动化机械介面对接;而因为SMIF晶圆盒内的8吋晶圆片是保存于经过谨慎控制的设定环境,ST能让整个Rousset晶圆厂保持在class1000的高等级。
ST的晶圆厂导览员还解释该公司如何要求管理人员定期巡视Rousset晶圆厂的生产线;管理者需要亲眼看到实际操作,与作业员交谈,并参与“chantier”会议──这种会议参与者包括作业员、技术人员以及管理人员,共同讨论生产线上以及作业区遭遇的问题并解决问题。
当然,包括我美国同事在内的矽谷老资格们,可能会觉得这座晶圆厂的制程技术太旧,才用150纳米到80纳米技术,又没有FinFET、7纳米,甚至连14纳米都没有…但这就是Rousset晶圆厂的价值所在,因为ST的业务锁定EEPROM与大量市场的MCU,并非智慧型手机用的应用处理器,MCU的产品生命周期很长。
晶圆厂有没有辐射
半导体晶圆厂主要生产的产品是半导体晶体棒或是半导体晶片。常见的有硅片、镓砷片、铟磷片等等。其主要原料是含有上述元素的化合物,比如二氧化硅、氧化砷等等。至于毒性,要具体分析。原料上,二氧化硅并没有毒,但是粉末状的二氧化硅气溶胶就会引起尘肺和肺癌,就是有毒的。另外,半导体厂常用的掺杂原料多数有毒,比如硅烷、砷烷等,或是三甲基镓等等化合物。它们或直接是剧毒物质,或其与空气、水等反应后生成的物质有毒。另外,传统生产晶圆的厂,会对晶体棒进行切割,其加工过程中产生的粉末也是有害的,原理和粉尘差不多。
关于辐射、据我了解,半导体晶圆厂的辐射并不大。辐射分为电磁辐射和电离辐射。电磁辐射,通电的电线就会有辐射,但是一般能量很小,不会有任何影响。电离辐射,比较危险,但晶圆厂似乎用不到吧。顶多X射线探伤用一下?这个我不确切知道。
总之,半导体相关行业有毒的多,但严格执行规章、正确操作设备,是完全安全的。一般生产设备都有严格的防护措施,废弃物有后处理工艺。
晶圆厂环境害员工罹癌?三星否认且进行研究
根据业界消息,三星电子(SamsungElectronics)已委托第三方机构,在自家半导体工厂进行一项健康与安全性独立研究;采取此举动的原因,是有多个韩国劳工团体发动了大规模的抗议,要求三星对因工作而罹患癌症、甚至死亡的员工与家属提供赔偿。一篇美联社的报导指出,三星所委托进行的研究预计期间为一年,将由顾问机构EnvironInternational的职业健康与安全专家所组成的独立小组负责;不过该报导并未提及研究所需费用的相关信息。
据了解,数个韩国劳工团体在1月份时就向韩国政府有关当局提出控诉,指由于三星晶圆厂员工因长期曝露在厂区的辐射与苯(benzene)等化学药剂中,导致罹患血癌与淋巴癌等疾病。但三星始终撇清责任,否认该公司厂房有使用苯化学物,也举出过去的研究澄清,并没有证据显示其职场工作环境与员工罹病有关联性。
另一篇路透社的报导则指出,三星部分员工所工作、并导致罹患疾病的芯片制造生产线,后来已经改成芯片测试与LED生产线。
「我们已经召集了一个成员包含国际知名专家的研究小组,以确保此次研究的客观与透明化;」报导引述了三星内存部门总经理ChoSoo-in的声明:「我们也会确保此次研究的程序涵盖所有与三星半导体制造厂房有关的安全性议题。」接下来三星也将与来自学术研究机构的专家们针对研究结果进行检讨。
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