摘要:当前的集成电路设计中大量采用了可控硅的设计结构来进行 ESD 的保护,但是一般的SCR 保护结构很难满足现在低电压,以及一些特殊要求的集成电路 ESD 保护的要求。研究一种低触发电压的可控硅结构保护电路,通过和工艺寄生参数的结合,满足了低触发电压的设计要求。
关键词:集成电路设计;静电保护;可控硅结构;触发电流
1 引言
静电放电(ESD)对 CMOS 集成电路的可靠性构成了很大威胁[1]。随着集成电路设计水平的提高和应用领域的扩大,对于 CMOS 集成电路来说,由于特征尺寸较小,电源电压较低,ESD 保护仅仅采用传统的二极管结构已经不能满足要求。目前广泛使用的 ESD 保护电路中,可控硅(SCR)结构具有单位面积下最高的 ESD 保护性能[2],同时具有很好的大电流特性[3]。如图 1 所示,是常用的 SCR 结构示意图。
在 P 型衬底上有相邻的 N 阱及 P 阱, P 阱中的 P 型注入区,P 阱中的 N 型注入区,N 阱中的 P 型注入区,N 阱中的 N 型注入区组成了 PNPN 半导体结构。
图 2 为图 1 所示 SCR 保护结构的等效电路图。其结构包含一个寄生 PNP 三极管 Q1,一个寄生 NPN 三极管 Q2,以及寄生电阻 R1,R2。
图 1 所示 SCR 保护结构的触发电压为 P 阱和 N 阱所形成 PN 结的雪崩击穿电压。一般情况下 P 阱和 N 阱的掺杂浓度较低,触发电压通常大于几十伏。在这种情况下,有可能 SCR 保护结构还未开启,CMOS 集成电路的内部电路由于 ESD 放电而被损坏。
为了降低 SCR 保护结构的触发电压,同时满足电路应用中大触发电流的要求,本文设计了一种改进的 SCR 保护结构,可以有效地解决上述问题。
2 高触发电流和低开启电压的 SCR 结构的设计
LVTSCR 的设计原理。对于低压触发的 SCR(Low-Voltage Triggered SCR,LVTSCR)的设计结构,从 ESD 放电的原理[4]来看,主要考虑在正向的 ESD 脉冲下(即 I/O PAD 为正电位,GND 为零电位),器件中由 N 型注入区,P 阱,N 型注入区组成的 NMOS 管会发生雪崩击穿,并导致寄生的 PNP 三极管,和寄生的 NPN 三极管开启和泄放 ESD 电流. 而在反向的 ESD 脉冲下(即 I/O PAD 为负电位,GND 为零电位),整个 LVTSCR 器件表现为一个正偏的二极管特性。由于 LVTSCR的触发电压为器件内的 NMOS 管的雪崩击穿电压,LVTSCR 保护结构的触发电压远远小于图 1 中所示的SCR 保护结构[5]。
但是,实际应用表明,SCR 器件的失效部位绝大多数是在发生雪崩击穿的 NMOS 管上。NMOS 管虽然降低了整个 SCR 保护结构的触发电压,但是它的ESD 水平限制了 SCR 保护结构的 ESD 防护水平。
根据上述设计原理,本文提出的低触发电压的可控硅(SCR)静电放电保护器件,能充分发挥 SCR 结构具有的大电流特性和保护能力,提供一个较高的ESD 防护水平,具体结构见图 3。
本文提出的可控硅结构包括 P 型衬底,P 型衬底上通过注入形成 N 阱和 P 阱区域。在 N 阱区域内通过注入形成 N 型注入区和 P 型注入区,N 型注入区和 P 型注入区与器件的第一输入端 I/O PAD 相连。在 P 阱区域内包含有 N 型注入区和 P 型注入区。两个 N 型注入区之间的表面具有栅氧化层,栅氧化层的表面是通过多晶硅淀积形成的栅极。N 型注入区通过一个电阻与器件的第一输入端 I/O PAD 相连,N 型注入区,P 型注入区和多晶硅栅极与器件的第二输入端 GND 相连。
与现有的 SCR 结构比较,本文提出的静电放电保护结构中,P 阱内的 N 型注入区与器件的第一输入端 I/O PAD 是通过一个电阻相连,而图三中NMOS 管的漏极通过 N 阱与第一输入端 I/O PAD 相连。现有的 SCR 结构的失效部位绝大多数是在发生雪崩击穿的 NMOS 管上。由于在正向的 ESD 放电时(即 I/O PAD 为正电位,GND 为 零电位),除了前述的 PNPN 电流泄放通路外,NMOS 管下方的 N 型注入区,P 阱,N 型注入区所形成的寄生 NPN 三极管也是 ESD 电流的泄放通路。通常 NPN 管的电流泄放能力不如 PNPN 结构,因此最先损坏的是上述的 NMOS 管。
本文提出的静电放电保护结构与现有的 SCR 不同之处在于 NMOS 管的漏极与第一输入端 I/O PAD是通过一个电阻相连,通过适当选择此电阻的阻值,可以限制流过 NMOS 管下方寄生 NPN 三极管的电流,以防止此三极管在 ESD 放电时的损坏。电阻的阻值也不能选择得过大,否则上述的 PNPN 结构不足以被触发导通。在此条件下,本文提出的 SCR 静电放电保护器件,电流泄放能力完全由 PNPN 结构决定,因此能充分发挥 SCR 结构具有的大电流特性和保护能力,提供一个较高的 ESD 防护水平。
3 SCR 结构的实际电路应用
基于上述的设计考虑,在实际的多个电路中采用了上述的 LVTSCR 结构,取得了很好的防护效果。具体的电路说明如下。
3.1 一般 input 的 SCR 结构
对于输入端,加入了 PMOS 和二极管的结构,来确保输入端对外部的正负 ESD 脉冲都有保护能力(图 4)。
3.2 一般 output 的SCR结构
对于输出端的保护,从实验结果来看,只采用 PMOS+SCR 的结构,也可以取得很好的保护效果(图 5)。
3.3 I2C I/O 口的 SCR 结构
对于 I2C 的 I/O 结构,需要较大的触发电流来满足电路的功能。上述的结构,可以很好地满足设计的要求[6]。
通过上述结构的 SCR 保护结构,可以达到 4 kV 的 ESD 保护能力,同时器件的防止 LATCHUP 的能力也大为提高。可以满足器件作为工业级的 ESD 水平的应用(图 6)。
4 结语
SCR 结构的设计很复杂,器件工艺、版图设计,以及具体的电路都会影响 ESD 的实际水平。本文的设计思路可以应用到其他的 SCR 设计中,ESD 水平还可以得到一定的提高[7]。
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原文标题:低触发电压的可控硅 ESD 保护结构的设计
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