据业内最新消息,全球最大的芯片机器制造商、荷兰的AMSL证实,中国向荷兰订购一台最新型的使用EUV(极紫外线)技术的芯片制造机器光刻机,订货单位是中芯国际(SMIC)。这也几乎花掉了中芯国际2017年的所有利润,该公司去年的净利润为1.264亿美元。
不过在大家了解到 EUV 设备有多重要之后,就知道这笔钱花的有多值了。
EUV 作为现在最先进的光刻机,是唯一能够生产 7nm 以下制程的设备,因为它发射的光线波长仅为现有设备的十五分之一,能够蚀刻更加精细的半导体电路,所以 EUV 也被成为“突破摩尔定律的救星”。从2019年半导体芯片进入 7nm 时代开始(现在我们处于 10nm 时代),EUV 光刻机是绝对的战略性设备,没有它就会寸步难行。
在半导体工艺进入10nm节点之后,制造难度越来越大,传统的193nm紫外光刻机也难以为继,EUV极紫外光刻机成为突破制程工艺的关键。
光刻机曾经也是日本佳能、尼康公司的重要产品,不过现在的高端光刻机已经被ASML垄断,在EUV光刻机上更是独一份。日经新闻亚洲版今天报道称,中芯国际(SMIC)已经向ASML公司订购了一台EUV光刻机,单价1.2亿美元,预计在2019年初交付。
此前英特尔、三星、台积电以及GF都向ASML下了EUV订单,其中台积电订购了大约10台,三星订购了大约6台,英特尔今年会引入3台EUV光刻机,GF也下了订单,不过日经新闻没提到具体数量。
中国公司能买先进的光刻机?很多人听到这个消息可能不太相信,因为网上一直有传闻称中国公司因为瓦森那协定的关系一直被禁止采购先进光刻机。对于这个问题,网上有很多争议也有很多解答了,日经新闻报道的中芯国际采购EUV光刻机其实也不是新闻了。
去年台媒电子时报采访过中ASML中国区总经理金泳璇,后者辟谣称ASML光刻机并没有禁运问题,该公司对所有客户都一视同仁,不存在有钱买不到的问题。他还透露了已经有中国客户洽谈购买EUV光刻机,如果订单确认的话,那么最快在2019年就会有EUV光刻机进入中国晶圆厂,ASML对此表示乐观。
两边对比的话,这家中国公司就是中芯国际,虽然该公司的14nm工艺要到2019年初才能量产,不过国内有需求EUV光刻机的几乎只有他们了,2017年中芯国际表示他们已经在预研7nm工艺了,订购一台EUV光刻机做研究也是很正常的。
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原文标题:单价1.2亿刀!中芯国际拿下EUV光刻机!
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