中国电科展示用于芯片制造的母机，摆脱国外设备制约

自主可控的“中国芯”是近来备受关注的话题，它直接关系到从日常电子产品到国防安全和科技前沿的方方面面。然而要制造出这样的“中国芯”，到底需要什么呢？中国电子科技集团有限公司（中国电科）近日在北京举办的集成电路核心装备展上公布了离子注入机、化学机械抛光设备等一系列用于芯片制造的母机。只有将这些拥有完全自主知识产权的芯片制造设备掌握在自己手里，才能摆脱国外的各种制约。

集成电路芯片及其制造技术是信息时代的基石，是保障国家安全和国防建设的战略性资源。电科装备离子注入机研发团队技术总监张丛告诉记者，当前自主可控“中国芯”的重要性已受到越来越多的重视，但很多人还没意识到“中国芯”的制造设备也需要自主可控。事实上，此前芯片的制造设备基本被控制在极少数国外企业手中，就连英特尔等芯片巨头的生产线也得仰仗这些上游供应商。对于中国芯片制造行业而言，这些国外企业不但掌握着对华出口相关设备的定价权，而且还能控制向中国出口设备的技术水准。“如果说国外技术已经发展到第三代，但只愿意向中国提供第一代的设备，那我们就没法用哪怕是第二代的设备来生产芯片。”此外，由于国外企业对芯片生产设备的严格控制，这些先进设备也无法用于航天、军用等领域的芯片制造上。

这些因素促使我国加快集成电路关键装备的自主研制和生产能力。张丛介绍说，近年我国掌握第二代芯片制造设备的技术后，国外不但大幅降低第一代芯片制造设备的引进价格，而且还批准了第二代设备的对华出口。目前电科自主研发的多台12英寸离子注入机进入北京中芯国际生产线量产，量产工艺覆盖至28纳米。由于半导体行业是典型的技术密集型和资金密集型，自主掌握芯片制造设备的技术后，无论是继续引进国外设备，还是选择国产设备，可以说整个行业都受益匪浅。

张丛也坦承，中国目前在该领域与国际先进水平存在相当差距，部分重要设备还需要技术攻关。但他认为，对于中国而言，掌握自主可控的芯片和芯片制造设备必不可少，这需要社会给予更多支持。