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中图仪器光学3D表面轮廓仪带你探索超精密加工后的微观世界

精密测量 2018-11-07 13:00 次阅读

禅宗有看山看水的参禅三重境,讲的是人对客观事物的认识由浅及深乃至彻底明悟的过程。今天就由中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪为大家带来关于超精密加工后的微结构的探索与发现,带领大家踏上一场“参禅三重境”的视觉之旅。

一重境:看山是山,看水是水。我们选取了一张经由VCUT微刻刀加工过的塑料薄片,初看下面的这张塑料片,想必读者一看再看,也无法找到它和其它的透明塑料片有何不同,“这只是一张普通的塑料片”是各位读者所能得到的初步认识,此乃一重境。

二重境:看山不是山,看水不是水。既然肉眼不可辩,那么将这张普通的塑料片放到显微镜下一探究竟。一面布满了点状颗粒,另一面则被条状沟槽所填满,构成了塑料片表面的微观世界,但只知其平面外形却不知其三维形态,知其一不知其二,可谓二重境。

三重境:看山仍是山,看水仍是水。为一窥真容,使用中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪对这张塑料片上下表面进行扫描,点颗粒和沟槽轮廓一览无余。

点颗粒是凸点,而沟槽则是弧形波,进一步使用仪器的轮廓分析功能对凸点和弧形波进行测量,得到它们的尺寸数据。

单个凸点截面直径约42µm、高3.8um、夹角160°,分布周期97µm;单个弧形波高约1.6µm、宽约35µm,周期35µm。掌握了全部的轮廓数据,对这有着微结构的塑料片,我们有了全面而精确的认识,称得上“看山还是山,看水还是水”。

超精密加工,是在传统精密加工上的升级,代表着先进制造业的发展方向,也代表着一个国家制造业的最高水准,超精密的加工水准必须匹配超高性能的检测仪器,而以白光干涉为原理研制而成中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪,就像一双能够明察秋毫的眼镜,帮助我们在超精密加工的微观世界里,具备“看山还是山,看水还是水”的本领。


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