2018年声学MEMS和传感器培训圆满收官！

冬日寒气袭人，学员热情如火，共聚苏州，乐享优课！由麦姆斯咨询主办，上海传感信息科技有限公司、华强电子网协办的《声学MEMS和传感器培训课程》，于2018年12月13日至12月15日在苏州工业园区纳米城圆满收官！

2018年声学MEMS和传感器培训课程学员合影留念

近年来随着全球智能手机出货量增长以及智能语音市场火爆，MEMS麦克风市场呈现井喷式增长。此外，MEMS麦克风领域各大厂商之间的专利“战争”连绵不断。为此，麦姆斯咨询特开设《声学MEMS和传感器培训课程》，旨在提升声学MEMS和传感器相关企业人员的基础理论及实践应用水平，同时，也为非专业人员提供了解声学MEMS技术的最佳学习机会，并从MEMS麦克风角度带领学员了解企业竞争利器——专利布局及侵权诉讼。本次课程详细讲解了MEMS麦克风、微型扬声器和麦克风阵列的声学物理仿真分析，电容式MEMS麦克风的设计、制造、封装、测试和专利的详细分析，压电式声学MEMS器件——水听器的工作原理以及MEMS麦克风ASIC的设计、制造、案例分析等。同时，为了启发学员结合典型MEMS器件制造工艺的思考和拓展，特意安排了苏州MEMS中试平台——6英寸MEMS制造产线的实地参观，以期让每位学员都能有所收获！怀着对知识的渴望，对自我不断提升的期许，来自中国大陆及***地区的众多学员齐聚苏州纳米城，与各位知名讲师共同完成为期三天的专业培训。

培训现场组图：专注听课的学员们

深耕产业、博文多识的讲师团队，令人叹服！12月13日上午，本次培训由来自Mentor Graphics MEMS及物联网周边器件负责人陈昇祐老师的讲课拉开了序幕，凭借18年的半导体行业经验为大家讲解声学MEMS设计工具Tanner软件及应用。课程开始，陈昇祐老师即以电容式MEMS麦克风为例，通过2D版图到3D模型的操作引出Tanner软件的设计全流程，突出讲解了L-Edit MEMS的特点以及如何应用L-Edit MEMS快速完成MEMS麦克风设计等内容。接着以可调滤波器（Tunable filter）为例，结合有限元分析工具向大家演示了机械-静电耦合力的分析与仿真流程，以期帮助学员了解MEMS麦克风中的静电分析。陈昇祐老师气质儒雅，娓娓道来，受到了众多学员的关注和喜爱，课程结束后纷纷向陈老师请教，陈老师不吝指教，对学员的问题耐心解答，甚至“线下一对一”辅导，令学员印象深刻。

Mentor Graphics MEMS及物联网周边器件负责人陈昇祐老师的授课风采

12月13日下午，本次课程最受欢迎的COMSOL中国应用工程师钟振红老师为大家带来了声学MEMS和传感器有限元设计软件COMSOL Multiphysics及其应用的讲解，该课程承袭了当天上午课程中Mentor设计与建模，进一步讲解了电容式和压电式MEMS麦克风模型的有限元仿真。在简单介绍了COMSOL Multiphysics多物理场仿真平台之后，钟振红老师从声学MEMS的讲解入手，层层剖析，多角度、多层次、多类型地向大家展示了各类物理场效应。为了提升课程内容的可操作性，此次课程还专门增加了软件实操演练环节，力求让每位学员都紧跟讲师步伐，完成自己的仿真模型。操作过程中，钟振红老师一边重点讲解操作时注意事项，一边关注学员动态，尽量兼顾学员，并与学员频繁互动，鼓励大家完成自己的仿真模型，成为MEMS器件仿真“高手”！钟振红老师详尽透彻的讲解屡屡让学员茅塞顿开，每当跟随讲师完整地完成一个仿真模型时，学员们都异乎寻常地兴奋，同时钟老师在操作过程中设置的故意犯错也增加了课程的趣味性。整场课程在轻松的氛围中完成，学员们都显得意犹未尽，纷纷抓紧课下时间再次与老师沟通交流。

COMSOL中国应用工程师钟振红老师的授课风采

12月14日上午，苏州敏芯微电子技术股份有限公司总经理李刚老师为大家讲解了电容式MEMS麦克风的设计及封测。作为集成微型硅麦克风post-CMOS集成工艺的发明者以及敏芯微电子的创始人，李刚老师既有丰富的理论知识，又有一线的实战经验，此次课程他从麦克风的发展历程入手，逐一介绍了几类麦克风的更新迭代（包括碳粒式、动圈式、压电式、静电感应的电容式或驻极体电容式），以图表并茂的方式向大家展示了典型麦克风之间的PK战，优缺点对比一目了然。其次李刚老师还结合自身经历及业界趣事，通过不同MEMS麦克风主流厂商间的产品对比，深入讲解了电容式MEMS麦克风的工作原理、设计、封装及测试。最后，李刚老师结合MEMS麦克风典型应用（如iPhone、智能音箱、耳机等）对整体课程进行了梳理，通过启发性思维的方式引领大家深入探索。李刚老师幽默风趣、平易近人的讲课风格赢得了大批学员的称赞，其内容讲解浅显易懂，学员们都表示受益良多！

苏州敏芯微电子技术股份有限公司总经理李刚老师的授课风采

12月14日下午，由苏州MEMS中试平台技术总监马清杰老师带来的电容式MEMS麦克风制造工艺讲解获得了学员们的一致好评。马清杰老师从MEMS基础知识出发，通过图文并茂的方式，结合现代信息技术以及MEMS在全球应用领域的技术趋势，逐步引出MEMS电容式麦克风的优势，深度解析了电容式MEMS麦克风制造工艺流程，尤其对刻蚀工艺的讲解更是着墨不少，剖析了MEMS麦克风制造工艺过程中遇到的挑战及解决方案，凭借多年从事MEMS器件研发及MEMS整合工艺研发的一线经验为学员在自身领域的发展提供了启发与引导。马清杰老师以其独特的个人魅力赢得了全场学员的称赞，学员们也趁此次难得的机会纷纷提问，下课后也不舍得放掉一分一秒的机会“围攻”老师。马清杰老师对学员们倾囊相授，结合自身MEMS器件研发及量产的经验为学员提供建议，学员们都大呼过瘾！

苏州MEMS中试平台技术总监马清杰老师的授课风采

本次课程的最后一天（12月15日）上午，首先由新加坡微电子研究所（IME）前研究员徐景辉老师为大家讲解了新兴声学传感器技术——水听器。在新加坡微电子研究所拥有8年的丰富经验，多年从事基于压电AlN（氮化铝）平台的声学、振动及加速度计等工业物联网传感器系统研发的徐景辉老师，在国际和国内重大科研项目中拥有超20篇的论文及多项专利。徐景辉老师此次课程由浅入深，先从水听器的发展历程着手，结合发展过程中的标志性事件引起学员的兴趣，通过图片展示的方式，更形象地向大家阐述了不同时代的水听器以及不同类型的水听器的优缺点的对比分析。同时徐景辉老师还与大家分享了MEMS水听器的产业链分布、设计、封装以及测试等，并举例水听器在实际应用领域的工作原理，为奋战在一线的员工提供了参考。

新加坡微电子研究所（IME）前研究员徐景辉老师的授课风采

当天上午第二节主题为《MEMS麦克风ASIC设计及制造》的课程由苏州芯仪微电子科技有限公司总经理朱潇挺老师讲授。朱潇挺老师从传感器ASIC设计原理出发，佐以公式和图表，详细阐述了电容式MEMS麦克风ASIC设计中需要重点关注的参数（如灵敏度、信噪比、总谐波失真、输出阻抗等）。课程讲解中结合MEMS麦克风典型应用及发展趋势，探讨了智能MEMS麦克风的实现。朱潇挺老师资料准备充分、课程讲解细致、概念剖析精准，令学员们收获颇丰。

苏州芯仪微电子科技有限公司总经理朱潇挺老师的授课风采

12月15日下午，迎来了本次培训的最后一节课——《MEMS麦克风专利分析》，由智慧芽信息科技（苏州）有限公司知识产权（专利）咨询顾问张永强老师为大家讲授。在半导体和MEMS技术领域和知识产权领域有着丰富的理论和实战经验的张永强老师，从最新的中兴、苹果与高通专利侵权案件出发，引出如今专利侵权诉讼已成为高新技术企业竞争的一种常用手段。张永强老师通过分析MEMS麦克风领域的宏观、中观和微观的专利信息情报在技术开发过程中的实际运用，佐以具体案例，结合近年来MEMS麦克风领域的专利诉讼案件，向大家具体介绍了专利侵权的判定方法与流程。最后穿插小米、爱立信等公司的专利诉讼案件，为大家提供了专利侵权规避的方法和技巧。张永强老师授课重点突出，趣味性与实用性并行，将原本晦涩的知识讲解地通俗易懂，学员们都表示获益匪浅！

智慧芽信息科技（苏州）有限公司知识产权（专利）咨询顾问张永强老师的授课风采

深入MEMS制造产线，结合应用实践，启发思考！此次培训课程中，麦姆斯咨询依循传统，精心安排学员进入苏州MEMS中试平台的6英寸MEMS制造产线参观，该产线是国内首条专注于MEMS专业研发与代工的中试平台，可实现以生产代工为核心，以此为基础拓展包括工艺研发、无尘室租赁、人才培训等一系列服务。此次参观由苏州MEMS中试平台技术总监马清杰老师带队，为大家详细介绍了该条产线的工艺能力、生产制造、检测检验能力、服务模式等方面的内容，并热情地带领学员在参观走廊中实地了解产线。在整个参观过程中，学员近距离观察并了解MEMS制造实况，与马老师详细交流了实践中遇到的问题，从学习和业务等多角度都颇有收获。

马清杰老师带领学员参观学习苏州MEMS中试平台的MEMS制造产线

勤学好问、全神贯注的学员，引人称赞！整个培训期间，学员的虚心请教、认真笔记、踊跃提问都感动着麦姆斯咨询的每一位工作人员，学员与讲师间的交流，学员与学员间的讨论也让在一旁的工作人员心生称赞。虽然培训教室外寒风萧瑟凛冽，但我们的培训课堂内却是学习热情如火。

学员提问环节，互动交流

学员认真的笔记