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芯片是如何制造的

工程师 来源:未知 作者:姚远香 2019-01-03 10:15 次阅读

中兴事件让我们认识了中国的“芯”痛,那么小小芯片为什么这么难制造?今天小编给你介绍一下流程。

沙子,是制造芯片最基本的材料,而脱氧后的沙子,是半导体制造产业的基础。通过多步净化得到可用于半导体制造质量的硅,学名电子级硅(EGS),最后得到的就是硅锭(Ingot)

硅锭切割:横向切割成圆形的单个硅片,也就是我们常说的晶圆(Wafer)。顺便说,这下知道为什么晶圆都是圆形的了吧?

涂上光刻胶,必须保证光刻胶非常平非常平。然后进行光刻,这一步需要的技术水平非常高(目前中国自己的***只有90nm的制程,而国外先进的可以做到7nm。)光刻胶层随后透过掩模(Mask)被曝光在紫外线(UV)之下。

先溶解光刻胶,光刻过程中曝光在紫外线下的光刻胶被溶解掉,清除后留下的图案和掩模上的一致再进行蚀刻,使用化学物质溶解暴露出来的晶圆,剩下的光刻胶保护着不应该蚀刻的部分。

离子注入:在真空中,用经过加速的原子、离子照射(注入)固体材料,使被注入的区域形成特殊的注入层,改变区域的硅的导电性。

电镀:在晶圆上电镀一层硫酸铜,把铜离子沉淀到晶体管上。铜离子会从正极走向负极。电镀完成之后,铜离子沉积在晶圆表面,形成薄薄的铜层

抛光:将多余的铜抛光掉,也就是磨光晶圆表面。

再经过测试,切片,丢弃瑕疵内核。留下完好的准备进入下一步。

完成封装

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