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台积电将购入18台EUV光刻机!

中国半导体论坛 来源:工程师曾暄茗 2019-02-16 11:11 次阅读

据台媒2月12日报道,为延续7纳米制程领先优势,台积电支持极紫外光(EUV)微影技术的7nm加强版制程将按既定时间于3月底正式量产,而全程采用EUV技术的5nm制程也将在今年第2季进入风险试产。

据了解,独家提供EUV设备的ASML,先前预估2019年EUV机台设备销售总量将达30台,当中台积电就砸下重金订购18台,显见7纳米、5纳米EUV制程推进相当顺利。台积电以强劲技术实力与庞大资本支出已将竞争门坎筑高,与三星电子实力差距可望在EUV时代中快速拉开。

随着GlobalFoundries(GF)于2018年8月宣布搁置百亿美元投资的7纳米制程计划,7纳米以下先进制程技术战场形成台积电、三星与英特尔三雄对战情势。

而单就代工来看,英特尔因苦陷10纳米制程延迟困境,已无暇顾及代工事业,目前几已是淡出晶圆代工市场状态,因此,7纳米以下晶圆代工战局已是三星、台积电双雄对决战局,不过随着台积电7纳米/5纳米EUV制程进展顺利,而三星依旧未见重量级客户大单落袋,台积电在7纳米以下先进制程领先幅度正持续扩大中。

半导体设备业者表示,截至目前为止,台积电已于2018年4月抢先进入7纳米时代,并囊括苹果(Apple)、高通(Qualcomm)、华为海思、超威(AMD)、赛灵思(Xilinx)等国际大厂大单,且支持EUV技术的7+制程应会在3月底正式量产。

台积电先进制程持续按计划进行,据了解,7纳米EUV制程将在2019年3月底量产,7纳米加上7纳米EUV制程,估计至2019年底Tape out将超过100个,2019年下半7纳米贡献将增速 ,受惠手机新品出货进入旺季及高速运算(HPC)产品开始小量出货,7纳米制程全年营收比重将可达25%,较2017年9%大幅提升,不过,7纳米EUV制程比重相当低。

据了解,独家提供要价超过1亿美元EUV设备系统的ASML,先前预估2019年EUV机台设备销售总量将达30台,当中台积电就砸下重金订购18台,显见7纳米5纳米EUV制程推进相当顺利,其余12台订单客户则是英特尔、三星等DRAM客户,而中芯也在2018年下单1台。

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原文标题:台积电将购入18台EUV光刻机!

文章出处:【微信号:CSF211ic,微信公众号:中国半导体论坛】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。

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