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北方华创多款14nm设备在生产线评估验证 10nm设备也在研发中

半导体动态 来源:工程师吴畏 2019-05-28 16:58 次阅读

近日,北方华创总经理赵晋荣,副总经理张国铭等接待了上百家投资机构的调研。

作为国内知名半导体设备企业,近年来北方华创半导体装备新产品开发与市场拓展在集成电路、先进封装、LED、新型显示、光伏等细分领域均取得了显著进步,以集成电路和先进封装为例。

在集成电路领域,由北方华创自主研发的14nm等离子硅刻蚀机、单片退火系统、LPCVD已成功进入集成电路主流代工厂;28nm Hardmask PVD、Al-Pad PVD设备已率先进入国际供应链体系;12英寸清洗机累计流片量已突破60万片大关;深硅刻蚀设备也于去年一举告捷东南亚市场。

北方华创表示,公司多款14nm设备在生产线评估验证,多款10nm设备处于研发中。

在先进封装领域,北方华创表示,在公司集成电路各细分领域中,先进封装占比最高,功率器件占比次之,逻辑与存储等先进制程领域占比较低。

据悉,北方华创应用于Bumping制程的Descum设备于2016年一经推出便收获了市场的积极关注。此外,目前北方华创微电子开发的刻蚀机和PVD设备已在全球主要先进封装企业中得到了广泛应用;先进封装PVD机台也在全球CIS封装企业中名列前茅;所开发的TSV刻蚀设备在大陆地区最近几年的新增市场中亦实现了较高的市场占有率。

尽管逻辑与存储等先进制程在北方华创集成电路领域中占比较较低,但值得注意的是,当前国内存储器厂商产能扩张提升了对集成电路设备采购,而北方华创已经有多款设备进入存储器生产线应用。

对于下游晶圆厂扩建的进度和规模预期,北方华创表示,外资厂在国内建线,一般是按原厂设备拷贝方案进行配置,对国产设备采购比例相对较低;

对于国内晶圆厂成熟技术节点的扩产,由于海外晶圆厂设备折旧基本完成,导致国内厂家成本压力较大,评估和采购国产设备的意愿较强;

对于国内先进制程扩产,能采用多少国产设备,需要看国产设备的成熟程度,还需要时间去突破;

国内存储晶圆厂,初期验证的时候采用进口成熟设备比例较大,待其技术突破产能爬坡时,会逐步增加国产设备的配置比例以降低整线采购成本。

北方华创认为,存储器产品工艺单一,追求更低成本,不受设计公司约束,因此比较适合国产厂商切入。

北方华创预期,公司元器件业务将保持平稳增长;电子专用设备业务总体保持增长态势,其中锂电设备领域竞争比较激烈,增幅较小;真空设备,受到客户扩产影响,业务量应该和去年相仿;LED设备,最近行业扩产明显放缓,后续随着新技术出现,可能带来机会;光伏设备发展势头良好,订单增长将较快;集成电路设备,总体保持增长。

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