中图仪器

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• 发布了文章 2024-03-05 08:09

  精准制胜，WD4000无图晶圆几何量测系统为高质量晶圆生产保驾护航

  

  在晶圆制造前道过程的不同工艺阶段点，往往需要对wafer进行厚度（THK）、翘曲度（Warp）、膜厚、关键尺寸（CD）、套刻（Overlay）精度等量测，以及缺陷检测等；用于检测每一步工艺后wafer加工参数是否达到设计标准，以及缺陷阈值下限，从而进行工艺控制与良率管理。半导体前道量检测设备，要求精度高、效率高、重复性好，量检测设备一般会涉及光电探测、精密机

  晶圆制造 检测 测控

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• 上传了资料 2024-03-04 13:42

  Novator影像仪激光扫描功能，无缝连接2D3D混合测量

  光测量 影像测量仪

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• 上传了资料 2024-03-04 13:41

  闪测影像|CHT影像仪满足0.02㎜~4㎜的筛网检测需求

  影像测量仪 测量

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• 上传了资料 2024-03-04 13:40

  闪测影像|中图闪测仪，一键自动批量测量尺寸

  图像测量 尺寸测量 影像测量仪

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• 发布了文章 2024-03-04 13:36

  数控测量|激光干涉仪80米直测，诊断校准运动导轨

  

  在现代工业制造中，运动导轨作为精密设备的关键组件之一，其精密度和稳定性影响着设备的定位准确性和运动稳定性。为了保证导轨的高精度性能，激光干涉仪应运而生。校准运动导轨的重要性运动导轨的精度直接关系到整个设备的性能。在长时间运行和极端工况下，导轨可能会受到温度、振动等外部因素的影响，导致其性能逐渐偏离理想状态。通过激光干涉仪的诊断校准，可以及时发现并纠正这些偏差

  干涉仪 激光 激光干涉仪

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• 发布了文章 2024-03-04 13:35

  数控测量|激光干涉仪测量机床精度全面解析

  

  在机床加工领域，精度是评判机床质量的重要指标之一。而激光干涉仪是一种能够测量机床精度的高精度测量装置。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。了解机床精度的重要性机床精度直接影响着产品的质量和性能，它是制造业中至关重要的一个指标。在现代制造业中，随着对产品精度要求的不断提高，机床精度的重要性也

  机床加工 测量 激光干涉仪

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• 发布了产品 2024-03-01 09:10

  中图仪器三坐标测量机牌子

  

  产品型号：Mars系列 注释：如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

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• 发布了产品 2024-03-01 09:08

  测长仪光栅测长机

  

  产品型号：SJ5100系列 注释：如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

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• 发布了产品 2024-03-01 09:05

  一键式闪测拼接影像测量仪

  

  产品型号：VX8000 注释：如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

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• 发布了文章 2024-02-29 09:14

  “芯”动未来,无图晶圆几何量测系统提升半导体竞争力

  

  无图晶圆几何量测系统，适用于线切、研磨、抛光工艺后，进行wafer厚度（THK）、整体厚度变化（TTV）、翘曲度（Warp）、弯曲度（Bow）等相关几何形貌数据测量，能够提供Thickness map、LTV map、Top map、Bottom map等几何形貌图及系列参数，有效监测wafer形貌分布变化，从而及时管控与调整生产设备的工艺参数，确保wafe

  半导体晶圆 晶圆 检测

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