定向去除微污染物,可助力半导体制造高效除污,确保材料纯度 几乎所有进入晶圆厂的物质,包括液体、气体和环境空气,都有可能携带污染物,会对晶圆和器件的性能造成不利.... Entegris应特格微电子 发表于 09-25 16:50 •547次阅读 Entegris中国技术中心为本地客户提供专项服务与支持 Entegris为半导体、生命科学以及其他高科技行业提供先进材料和制程解决方案,持续加速亚洲产能布局.... Entegris应特格微电子 发表于 07-27 09:18 •1024次阅读