摘要 MEMS已被认为是最有前途的技术之一。在21世纪，它具有革命性的工业和结合以硅为基础的微电子产品微加工技术。它的技术和微系统电子设备有可能极大地影响我们的生活。本文介绍了微机电系统文章全部详情
2023-04-24 09:21:00
259 本文介绍ADI公司在微机电系统（MEMS）开关技术方面的突破。与传统的机电继电器相比，ADI公司的MEMS开关技术在RF和DC开关性能、可靠性和小型化方面实现了巨大的飞跃。
2023-01-05 14:29:24791 
微机电系统（MEMS）是一种使能技术。它将半导体技术的多功能性与机械结构的功能融为一体，开辟了全新的应用领域。MEMS技术使智能手机能够提供方向，或健身追踪器来检测我们何时跑步，坐着或睡觉。但是，MEMS技术可以做的不仅仅是“感觉”。它可以作为系统的输入，或输出（执行器）和控制或反馈回路的组成部分。
2022-10-14 11:11:48718 射频微机电系统 (RF MEMS) 开关是低功耗小型微机械开关，可以使用传统的MEMS制造技术生产。它们类似于房间中的电灯开关，通过触点打开或关闭在开关中传输信号。在RF MEMS器件中，开关的机械组件大小只在微米级别。与电灯开关不同的是，RF MEMS开关传输的是射频信号。
2022-05-18 10:22:071597 
什么是射频微机电系统开关？ 射频微机电系统 (RF MEMS) 开关是低功耗小型微机械开关，可以使用传统的MEMS制造技术生产。它们类似于房间中的电灯开关，通过触点打开或关闭在开关中传输信号。在
2022-05-16 16:14:203488 
什么是射频微机电系统开关？ 射频微机电系统 （RF MEMS） 开关是低功耗小型微机械开关，可以使用传统的MEMS制造技术生产。它们类似于房间中的电灯开关，通过触点打开或关闭在开关中传输信号。在RF
2022-05-12 17:19:151579 
来源：Simon 半导体芯科技 微机电系统或称MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)，是用微加工技术制造的小型化机械电子器件（即设备和结构）。MEMS的物理
2022-03-04 18:49:071379 MEMS（微机电系统）元件的失效机制从本质上讲和与之相对应的宏观（肉眼可见）元件，具有很大差别并且是独特的。本文讨论从各种MEMS元件中观测到的失效机制。需要强调的是，MEMS装置的组装使用散装表面
2021-12-13 09:37:37938 
系统技术基础所涉及的材料、微机械设计和模、微细加工技术以及微封装与测试等领域,并对微机电系统的应用、典型的微器件、国内外的发展现状及前景进行全面分析. 在此基础上,论述了MEMS 技术目前存在
2009-03-17 15:29:51
基于压力发电的远程微机电电源系统
2021-07-05 11:37:20
4 ：更小的尺寸、更加广泛的应用，以及即使是在低压、极短的放映时间内也能达到精确的气体密度测量。 1.什么是MEMS技术： MEMS的全称，是Micro-Electro-Mechanical Systems，即微机电系统，该技术是基于硅半导体技术的基础上，在复杂的微系统中结合了微电子和微机械等功能。是在
2020-12-28 15:42:4018757 MEMS全称Micro Electromechanical System（微机电系统），是一种通常在硅晶圆上以IC工艺制备的微机电系统，微机械结构的制备工艺包括光刻、离子束刻蚀、化学腐蚀、晶片键合等，同时在机械结构上制备了电极，以便通过电子技术进行控制。
2020-12-25 15:34:493638 专有的基于微机电系统(MEMS)的硅芯片，推动实现商业化，并加快Evonetix的首款产品（DNA桌面写入器）的开发。
2020-09-27 12:04:342121 微机电系统（MEMS），在欧洲也被称为微系统技术，或在日本被称为微机械，是一类器件，其特点是尺寸很小，制造方式特殊。MEMS是指采用微机械加工技术批量制作的、集微型传感器、微型机构、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口、通讯等于一体的微型器件或微型系统。
2020-07-10 16:23:201998 2011年11月ADI高校讲座系列-MEMS(微机电系统): 第二部分
2019-08-21 06:05:001573 2011年11月ADI高校讲座系列-MEMS(微机电系统): 第四部分
2019-08-13 06:00:001578 2011年11月ADI高校讲座系列-MEMS(微机电系统): 第三部分
2019-08-06 06:18:002782 、无法使用连续滚压的Roll to Roll方式量产、制作结构复杂时可能出现累积误差的现象等等，而这些问题也成为未来要强化MEMS在显示应用上的发展时，所必须克服的挑战。 投影机为MEMS显示应用典范 由于奈米技术的跃升，微机电系统（MEMS；Mic
2018-11-22 18:09:01325 MEMS陀螺仪对微机械加工工艺具有高度的敏感性，加工工艺偏差、加工应力以及可靠性等对MEMS陀螺仪的成品率至关重要。整个微机械加工工艺流程是实现MEMS陀螺仪长期稳定工作的基础，因此必须加强微机械加工工艺过程的控制。
2018-07-17 08:28:001352 微机电系统是按照功能在芯片上的集成，尺寸一般是在毫米以下，制作工艺更加精密，需要更高的技术，微机电系统早在国外就有应用，我国起步晚，在MEMS方面的投入逐渐增大，所占市场股份越来越大。微机电系统的出现和发展是现代科学创新思维的结果，也是微观尺度制造技术方面的进化和革命。
2018-04-26 15:58:1010743 
硅基MEMS加工技术主要包括体硅MEMS加工技术和表面MEMS加工技术。体硅MEMS加工技术的主要特点是对硅
2018-04-12 08:40:449081 
数十年来，振荡器和时钟始终依靠石英晶体来构建稳定的参考频率。晶体在许多应用中表现出十分优异的性能。但十年前，用MEMS谐振器代替石英晶体的微机电系统（ Microelectromechanical System，MEMS）技术进入了市场，并且正在迅速走向成熟。
2018-03-21 16:39:571 、微电子材料科学、微细加工、系统与控制等技术学科和物理、化学、力学、生物学等基础学科。它将在21世纪的信息、通信、航空航天、生物医疗等多方面获得重大突破，从而对世界科技、经济发展和国防建设带来深远响，德国Weissler把MEMS称为系
2018-01-24 11:08:280 甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。微机电系统是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号
2017-09-14 09:43:436 美国国家标准与技术研究所（NIST）日前展示一款采用微机电系统（MEMS）的延迟线内存控制器，可望作为未来量子电脑的暂存内存控制器。
2013-03-21 09:12:171028 微机械加工工艺分为硅基加工和非硅基加工。下面主要介绍体加工工艺、硅表面微机械加工技术、结合加工、逐次加工。
2013-01-30 13:53:529889 
微机电系统（MEMS， Micro-Electro-MechanicSystem）是一种先进的制造技术平台。它是以半导体制造技术为基础发展起来的。MEMS更侧重于超精密机械加工，并要涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。
2013-01-22 16:50:122132 本文重点描述运用MEMS微机械加工工艺技术设计、加工、生产胎压传感器IC芯片，希望对大家学习MEMS有所帮助
2012-12-11 14:17:266894 市场研究机构Yole Developpement公布最新前三十大微机电系统(MEMS)业者排名。
2012-03-29 09:55:351542 
微机电系统，英文名称是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的缩写)，其是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的。
2011-09-13 17:36:273036 微机电系统，英文名称是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的缩写)，其是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的。
2011-09-13 17:33:583437 MEMS微机电系统基本上是指尺寸在几厘米以下乃至更小的小型装置，是一个独立的智能系统，主要由传感顺、作动器(执行器)和微能源三大部分组成。
2011-09-13 17:28:432374 微机电系统，英文名称是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的缩写)，其是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的.电子发烧友为大家提供了详尽的技术知识。
2011-09-13 17:02:18
相信每个人或多或少都听过报章杂志提到微机电系统(以下简称MEMS: Micro Electronic Mechanical System)，而意法半导体(STMicroelectronic)在
2011-01-27 09:19:051957 
意法半导体(ST)日前最新推出的微机电系统(MEMS)LPS001WP，该压力感测器成功实现智慧型手机以及其它可携式装置能够确
2010-12-07 09:05:061483 DIGITIMES Research指出，微机电系统(MEMS)惯性组件应用已起飞，目前尤以手机中的应用最被全球业者所看好，故业者将
2010-11-23 09:14:55879 摘要：对微机电系统（Micro Electro Mechanical Systems,MEMS）组装与封装工艺的特点进行了总结分析，给出了MEMS组装与封装设备的研究现状。针对MEMS产业发展的特点，分析了面向MEMS组装与
2010-11-12 02:10:2945 欧胜世界领先的数字微机电系统(MEMS)麦克风带来通透清朗的音频
中国北京，2010年11月4日 - 欧胜微电子有限公司日前正式发布其下一代
2010-11-08 21:55:20723 微机电 (MEMS) 技术在电子产品中的地位愈来愈重要，不论是在汽车、工业、医疗或军事上需要用到此类精密的元器件，在信息、通讯和消费性电子等大众的市场，也可以看到快速增长
2010-07-17 09:33:501204 
创建灵敏的MEMS结构的工艺技术介绍
表面微加工技术可用于创建微机电传感器及激励器系统，它能够通过高适应度的弹性，形成锚
2010-03-11 14:20:49598 微机电系统的发展及其应用:微机电系统是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域,是面向21 世纪的高新科技. 介绍了微机电系统产生的背景影响、组成
2009-12-29 23:45:4235 随着MEMS 加工工艺的发展，微机电系统的材料特性引起了人们越来越多的关注。由于硅晶材料的残余应力会降低MEMS 系统结构的使用寿命，频繁的冲击会对器件造成致命的伤害。因此
2009-11-23 14:12:3915 微机电系统（MEMS）是当前一个发展极为迅速并涉及多个学科的领域。本文主要介绍了微机电系统的产生与发展过程，讨论了它所采用的材料和加工技术、该技术涉及的各个学科，
2009-11-23 13:32:5914 论述了微机电系统设计工具的发展概况，并针对微机电系统的多样性对设计工具的需求提出了一种可支持任意流程的微机电系统设计工具架构。该架构以系统级行为建模与仿真、器
2009-11-16 13:52:3424 微机电系统(MEMS) 和纳机电系统(NEMS) 是微米/ 纳米技术的重要组成部分。MEMS已在产业化道路上发展,NEMS 还处于基础研究阶段。分析了微/ 纳机电系统的发展特点,简要地介绍了典型
2009-11-16 11:24:079 SOC 片上系统在国民经济与社会生活中，许多行业生产了所需求的产品。MEMS微机电系统和Smart Dust 智能微尘的出现，不但使生产、生活产生
2009-09-15 08:17:1518 微机电系统是一个新兴的技术领域. 阐述了微机电系统的特点、加工工艺、应用及其现状和发展趋势.[关键词] 微机电系统;微机械;微传感器;微细加工技术
2009-06-20 10:59:1935 分析了分布式微机电系统特点，对基于多主体控制的分布式微机电系统构成进行了研究，提出了采用多主体技术实现分布式MEMS控制的框架。对系统的模型、微机电主体的结构、行为
2009-05-25 21:40:3721 微机电系统（MEMS）是当前一个发展极为迅速并涉及多个学科的领域。本文主要介绍了微机电系统的产生与发展过程，讨论了它所采用的材料和加工技术、该技术涉及的各个学科，
2009-05-25 09:34:026 微机电系统是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域,是面向21 世纪的高新科技. 介绍了微机电系统产生的背景影响、组成特征和基础研究内容,综述
2009-03-11 17:16:5528
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