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什么是mems压力传感器?
这位朋友你好!
所谓MEMS压力传感器其实就是采用MEMS技术制造的压力传感器。MEMS是微机电系统(Micro-Electro-Mechanical
Systems)的英文缩写。MEMS是美国的叫法,在日本被称为微机械,在欧洲被称为微系统,它是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的,目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域,从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。 [阅读全部] -
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MEMS传感器的主要优点有?
这位朋友你好!
MEMS传感器在信号传输方面是绝对没问题的。
1.MEMS传感器可提高信噪比。在同一个芯片上进行信号传输前可放大信号以提高信号水平,减小干扰和传输的噪声,特别是同一芯片上进行A/D转换时,更能改善信噪比。
2.可改善传感器悸性能。因这种传感器集成了敏感元件、放大电路和补偿电路(如微型压力传感器)在同一芯片上在实现传感探测的同时具有信号处理的功能(在同一芯片上的反馈电路可改善输出钽电容的线性度和频响特性):因为集成了补偿电路,可降低由温度或由应变等因素引起的误差;在同一芯片上的电压式电流源可提供自动的或周期性的自校准和自诊断。
3.输出信号的调节功能。集成在芯片上的电路可以在信号传输前预先完成A/D转换、阻抗匹配、输出信号格式化以及信号平均等信号调节和处理工 [阅读全部]