机器人进军半导体行业是一种挑战

据媒体报道，新松机器人宣称拟募资18.03亿元主要用于建设半导体领域半导体设备及自动化项目，用于IC真空机械手及集束型设备项目、半导体自动物料搬运系统项目、半导体物料管理控制系统项目以及补充流动资金。

作为国内仅有的一家真空机械手的供应商，去年机器人真空机械手已批量应用于北方华创（002371）、中科院微电子研究所等企业和机构，有望在国内全面推广。

众所周知，新松机器人成立于2000年，隶属中国科学院，是中国第一家从事机器人产业化和实现机器人出口的企业。新松机器人产品线齐全，涵盖工业机器人、洁净机器人、移动机器人、特种机器人及智能服务机器人五大系列。

机器人进军半导体行业是一种挑战

半导体行业包括了众多领域，在这些领域当中又有着很多复杂的工序，比如前期的晶体制造、中期的封装集成，还有后期的组装包装、运输等等。机器人进军半导体行业既是一种挑战也是一种趋势，机器人本身需要具有易使用、性能灵活轻便，不仅要满足无尘空间的等级要求，还要小心易碎的产品，对极为细微的器件需要高度精准地定位、放置和组装。

半导体行业对工业机器人的要求十分严格，在真空环境下，要保证机器人的洁净度，因为半导体产品的特殊性，还要求机器人防震，防抖动，静音生产，能够有精准到5mm的重复定位等等。

进军半导体市场，抓住产业链迁移机遇

随着半导体产业向中国大陆迁移，英特尔、三星等国际大厂陆续在我国大陆地区投资建厂，大陆对半导体领域自动化设备需求提升。

基于此，新松开始进军半导体装备领域：2009年、2011年新松开始承担两大国家集成电路“02专项“项目，加大了对半导体设备的研发；2018年，新松机器人开始设立半导体装备BG，主要面向以芯片制造，面板制造为代表的泛半导体领域，提供设备与自动化解决方案。目前，新松已经成功研发了国内首台具有独立知识产权的新型双臂大气机械手，并且通过了终端用户华创、中微等客户验证。

除了在产品开发上加大力度，新松在资本层面也采取了相应动作。2018年1月，新松以约6.4亿元人民币收购韩国半导体设备企业新盛旗下公司80%的股权。不难看出，通过这些举措，新松希望在下一个行业爆发点来临前抢占先机。

拟募资18亿新建半导体设备

新松此次拟向特定对象发行股票的募集资金总额不超过18.03亿元用于IC真空机械手及集束型设备项目、半导体自动物料搬运系统项目、半导体物料管理控制系统项目以及补充流动资金。

此前新松已研制了系列化洁净真空机器人产品，包括大气机械手系列产品（洁净度达到 Class1）、集成电路装备真空机械手系列产品（真空度达到最高 1×10-6 Pa）。真空直驱机器人打破国外垄断，可以实现直接替代；自动物料搬运系统（AMHS）系统设备主要包括洁净存储系统（Stocker）、 洁净轨道系统、空中无人搬运车（OHT）等，公示可以为半导体工厂提供整套自动物料搬运系统；而新松承接的广州超视堺Mask搬送系统项目，其中也包含ACS系统（类似MCS的系统，规模要比MCS系统规模小）的子订单，具有先天优势。

上述三个项目建成后，年预计可实现年均营业收入约10.05亿元、11.90亿元、1.8亿元，合计达到23.75亿元。而去年公司全年营收27.45亿元，此次扩产项目若达成目标将增加营收85%。

机器人将半导体装备业务确定为三大业务板块之一，2018年5月，公司集中整合资源成立半导体装备事业部，完善在集成电路设备自动化与自动物料搬运系统（AMHS）产业的布局，洁净真空机器人、洁净自动化装备、自动物料搬运系统（AMHS）是公司自主研发的面向集成电路行业高端的成套装备，半导体物料管理控制系统（MCS）产业化是公司拓展的新业务。

应用半导体，新松已走在前列

目前新松研发的真空机械手已批量应用于北方华创、中科院微电子研究所等企业。集束型设备行业应用涵盖半导体 CMP 清洗设备、半导体刻蚀设备、半导体涂胶设备等，且实现小批量示范应用；半导体自动搬运系统（AMHS）已经实现在上海集成电路研发中心生产线上的应用，并成功应用于Sandisk、赛意法等半导体芯片加工厂，面向面板制造厂开发的掩模版自动物料搬运系统，已经在华星光电T1、T7工厂及夏普广州厂实现成熟应用。

2012年以来，国内半导体设备需求迅猛增长，中国是全球第二大半导体设备市场，2018年达到131.10亿美元，但国产设备自给率很低，仅为13%左右。未来即便核心半导体设备依然依靠进口，半导体设备国产化空间仍然巨大。并且半导体工厂自动化对工厂的稼动率非常重要，全球该市场的年采购额在20亿美金左右，由于国外对中国半导体产业的封锁，国内半导体产业对于自动物料搬运系统（AMHS）需求迫切。

而新松是国内唯一一家真空机械手的供应商，而新松自主研发的面向半导体行业的高端装备自动物料搬运系统（AMHS）已经形成了独立产品线，可以逐步实现国产化替代。

洁净（真空）机器人及半导体装备作为新松公司的核心业务之一，现已形成大气机械手、真空机械手、EFEM、真空平台、STOCKER和AMHS系统多个产品线。洁净产品客户现已遍及大陆以及台湾地区。

目前，新松洁净机器人已彻底打破国外同类企业在半导体领域的垄断局面，拥有国内市场50%以上份额。

新松复合机器人基于移动机器人和工业机器人系统的创新融合，综合视觉补偿、力觉控制、碰撞保护和主动导航等技术，可快速布局自动化工厂，适应高柔性化生产模式，主要应用于半导体封装测试环节，可满足FOUP，CST，MGZ在各机台间的自动运输，终端定位精度可达±0.05mm，CLASS 100洁净度，能为半导体生产应用提供最优的系统解决方案。
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