MPX扩散硅压阻式传感器

实验 MPX扩散硅压阻式传感器

实验原理：
MPX 压阻式传感器芯片是用集成工艺技术在硅片上制造出四个呈X 型的等值电阻组成的电路，它用激光修正，温度补偿，所以线性好，灵敏度高，重复性好，其工作原理及实验接线如图（9）

本实验中所用的压阻式传感器为差压式，无外加压力时电路平衡无输出，受压时则输出与压力大小成正比的电压信号。
实验所需部件：
MPX 压力传感器、应变式传感器实验模块、气压源、胶管、电压表

实验步骤：
1、连接主机与实验模块的电源线及探头连接线，胶管连接气压源输出与压力传感器输入口（传感器另一接口空置感受大气压力）。差动放大器增益最大。
2、开启主机电源，调节电桥WD调平衡电位器，使实验模块输出为零，开启气源开关，逐步加大气压，观察随气压上升模块电压输出的变化情况。
3、待到气压相对稳定后，调节模块增益使输出电压值与气压值成一比例关系，并记录P（kp）值与Vmv 值。
4、关闭气源，随着气压逐步下降，输出电压也发生变化，记录P-V 值并填入下表：

在坐标上作出V-P曲线，验证传感器的线性度与灵敏度。
5、气压源因功率限制输出≤20kp，亦可用随机附带的手工加压气囊代替气源，使传感器工作范围扩大到压力表满量程显示。
注意事项：
气源平时应关闭，以免影响其它电路工作，胶管尽量避免油污，以免造成老化破损。