在不久的将来,我们将看到嵌入式STT-MRAM (eMRAM)出现在诸如物联网(IoT)、微控制器(MCU)、汽车、边缘运算和人工智能(AI)等应用中。美国EVERSPIN还提供了几种独立的MRAM产品,锁定包括航天、汽车、储存、工厂自动化、IoT、智慧能源、医疗和工业机器控制/运算等应用。
半导体工艺控制和支持技术供货商KLA对MRAM作为一种新兴的NVM技术的前景感到振奋,为IC制造商提供了一系列解决方案的组合,可帮助加速MRAM产品开发,确保成功实现量产并在生产中取得最佳良率。这些技术解决方案包括:
使用散射测量和成像的迭对量测系统进行图案对准(patterning alignment)量测,使用光学散射测量CD和形状计量系统进行关键尺寸和3D组件形状测量以及run time patterning control数分析,以优化MRAM cell patterning 组件迭对、CD和形状。
使用光谱椭圆偏振(SE)技术进行膜厚度和化学计量的测量,这些技术为MTJ迭层沉积提供了重要的关键参数。
MRAM堆栈沉积的电磁特性,可使用CAPRES电流平面穿隧(CIPTech)和MicroSense磁光Kerr效应,提供对预计的最终电池性能的早期反馈(MOKE)技术。CAPRESCIPTech是一种12点探针电阻技术,可在产品晶圆图案化之前,针对MTJ迭层进行沉积、退火和磁化后的TMR和RA测量。MicroSense Polar Kerr MRAM (PKMRAM)则表征了磁性能,例如自由层和固定层的矫顽场,以及多层MTJ堆栈在沉积、退火和在毯覆薄膜或有图案的晶圆上磁化。这种非接触式全晶圆技术可测量自由层和固定层的磁性。
一系列控片和在线产品晶圆缺陷检测和检视系统(取决于灵敏度和采样要求),可以在线检测关键缺陷,帮助工程师发现并解决可能影响良率和组件性能的工艺问题。
In-situ process control wafers,透过在工艺反应炉中撷取和记录参数并用于可视化、诊断和控制工艺条件。
为MRAM工艺打造的量测方案
- MRAM(31550)
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2023-04-07 16:26:28
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; 八、组合检测工艺方案 1、每种检测技术都有各自的长处和短处。 选择合适的组合检测方案是对时间-市场,时间-产量以及时间-利润等诸多因素的综合考虑,在产品的不同生产周期要求有不同的检测工艺方案
2023-04-07 14:41:37
打造城域光网络的最优方案——池化波分
中国联通颁布了《池化波分打造城域全光底座白皮书》(下文简称白皮书)(文末附白皮书下载)。白皮书提出以开创性的城域池化波分解决方案,实现最优的城域ROADM+OTN全光业务网底座。
2023-04-04 16:04:46668
MRAM芯片应用于PLC产品上的特性
在PLC(可编程逻辑控制器)产品中,MRAM芯片的应用也日渐普及,本文将介绍MRAM芯片应用于PLC产品上的特性。--代理商:吉芯泽科技
2023-03-29 16:31:221169
半导体制造工艺中的UV-LED解决方案
针对半导体制造工艺的UV-LED光源需求,虹科提供高功率的紫外光源解决方案,可适配步进器和掩膜版设备,更换传统工具中的传统灯箱,实现高质量的半导体质量控制。
2023-03-29 10:35:41710
求一种AD7606模拟量高速采集方案
验证模拟量ADC高速采集方案 1.目标 验证CH341A+ADC7606芯片实现ADC高速采集的可行性; 查阅CH341芯片并口通信协议DLL API,并口模式切换配置方式,并口操作速度
2023-03-27 11:49:21
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