MEMS 加速计,陀螺仪,倾角计 评估板 - 传感器
2024-03-14 22:53:15
如下硅与石墨复配的负极材料的背散SEM,圆圈标的地方是硅吗?如果不是还请大佬指点一下,那些位置是硅?
2024-03-12 08:53:37
芯片进行固定封装,并运用有限元仿真分析软件,以加速度传感器的动力输出参数为量化指标,对比分析传统黏合剂粘贴封装和悬空打线封装的实施效果。研究结果表明,悬空打线工艺可避免外部应力变化对 MEMS 芯片内部结构产生的消极影响,确保
2024-02-25 17:11:34138 共读好书 孙瑞花郑宏宇吝海峰 (河北半导体研究所) 摘要: MEMS封装技术大多是从集成电路封装技术继承和发展而来,但MEMS器件自身有其特殊性,对封装技术也提出了更高的要求,如低湿,高真空,高气
2024-02-25 08:39:28170 MEMS加速度计与MEMS陀螺仪是现代惯性导航系统中最常用的传感器。
2024-02-17 14:05:00345 什么是MEMS交换?MEMS交换原理是什么? MEMS交换是一种利用微机电系统技术来实现光纤通信中光路的快速开关的技术。它具有体积小、速度快、功耗低、可靠性高等优点,因此在光纤通信、光纤传感和光纤
2024-02-02 14:41:31118 智能制造,如同一张灵动的羽翼,振翅高飞,它以信息技术、自动化技术、制造技术、人工智能和传感器技术为内核,赋予了制造过程无比的活力和创造力。这个制造系统,就如同一个拥有智慧的大脑,能够快速、准确地感知、决策和执行,让制造过程变得更加智能、高效和可靠。
2024-01-30 09:48:03252 MEMS差分振荡器与传统差分振荡器的比较 MEMS(微机电系统)差分振荡器是一种基于微纳米加工技术制造的振荡器,相比于传统的差分振荡器,具有独特的优势。传统差分振荡器通常采用晶体管或电容等元件
2024-01-26 14:20:52128 据麦姆斯咨询介绍,住友精密(Sumitomo Precision Products)是一家全球领先的高精度工业产品制造商,近期推出旗下MEMS Infinity的代工服务,扩大在MEMS制造生态系统中的作用。
2024-01-22 10:01:18362 无锡瑞吉星电子的RJX-IMU-164系列;
参数如下:
一 、概述
RJX-IMU-16460高精度惯性测量单元是一款小型高精度MEMS惯性测量单元,可与ADIS-16460实现原位插拔替换、内部
2024-01-18 13:46:16
膜厚测试在MEMS制造工艺中至关重要,它不仅关乎工艺质量,更直接影响着最终成品的性能。为了确保每一片MEMS器件的卓越品质,精确测量薄膜厚度是不可或缺的一环。
2024-01-08 09:40:54260 MEMS被认为是21世纪最有前途的技术之一,如果半导体微制造被视为第一次微制造革命,MEMS则是第二次革命。
2024-01-04 16:29:39566 据传感器专家网获悉,12月28日,位于广州的增芯科技MEMS量产线项目举行首台生产设备搬入仪式, 本次搬入设备是由中微半导体设备(上海)有限公司制造的Primo D-RIE刻蚀设备反应台。 增芯12
2024-01-02 18:10:26422 一个芯片上可以包含数亿~数百亿个晶体管,并经过互连实现了芯片的整体电路功能。经过制造工艺的各道工序后,这些晶体管将被同时加工出来。并且,在硅晶圆上整齐排满了数量巨大的相同芯片,经过制造工艺的各道工序
2024-01-02 17:08:51
之前选用了adxl372 和adxl345,我想请问一下,这些mems对低频振动的检测效果如何
目前项目需求测量0.5Hz-1000kHz频率的振动,量程大概在±20g
以上两种mems是否满足。
2023-12-28 07:09:40
随着科学技术的发展,MEMS技术在微型机械领域正在创造革命性的变革。MEMS硅麦传感器正在逐步取代传统驻极体麦克风,带来更好的防水防油性能和生产效率。对于电子雾化器制造商来说,采用MEMS集成咪头可以降低成本、提高效率,在竞争激烈的市场中获得优势。
2023-12-27 18:22:24617 近两年,安培龙公司前瞻性的确认了向汽车产业链方向的战略转变。安培龙公司依托其先进的技术实力——如陶瓷电容、微熔技术和 MEMS 技术,已经在家电产业取得优异成绩的同时,获得了汽车领域企业的青睐。此外,他们还在汽车应急预警系统中采用MEMS技术,实现微型元件的精密组装和自动化制造。
2023-12-27 11:16:06252 传统电子烟存在许多痛点,而华芯邦的创新型MEMS技术和孔科微电子的电子烟PCBA方案妥善解决了这些问题。华芯邦的MEMS传感器集成咪头电子烟芯片具有高容错率和防粘柱功能,显著提高了口感和使用效率。
2023-12-20 16:05:16369 微电子制造和封装技术是电子信息产业的重要基础,其发展水平直接影响着电子产品的性能和可靠性。随着科技的不断进步,微电子制造和封装技术也在不断发展和创新,推动着电子产业的飞速发展。本文将对微电子制造和封装技术的发展历程、现状和未来趋势进行深入研究和分析。
2023-12-19 13:30:05368 传感技术是现代信息技术的三大基石之一,在推动国家经济发展等方面发挥着重要作用, 随着万物互联时代的到来,传感器从没有像今天这么受到重视, 在国家“十四五”规划中,明确将智能传感器关键制造技术——微机
2023-12-19 10:36:17348 传感技术是现代信息技术的三大基石之一,在推动国家经济发展等方面发挥着重要作用,随着万物互联时代的到来,传感器从没有像今天这么受到重视,在国家“十四五”规划中,明确将智能传感器关键制造技术——微机
2023-12-19 08:35:51189 微电子制造和封装技术是电子信息产业的重要基础,其发展水平直接影响着电子产品的性能和可靠性。随着科技的不断进步,微电子制造和封装技术也在不断发展和创新,推动着电子产业的飞速发展。本文将对微电子制造和封装技术的发展历程、现状和未来趋势进行深入研究和分析。
2023-12-18 13:03:53298 挑战,比如市场需求逐渐下降、技术手段更新换代、供应链显现出弊端问题等。
面对如此严峻的挑战,我们又该如何制定有效的策略?
从重视可制造性设计着手,将电子产品设计与生产相结合,由DFM可制造性分析协同
2023-12-15 10:44:20
近日,第三届智能制造创新大赛颁奖仪式在2023世界智能制造大会开幕式上隆重举行。华秋DFM_PCB可制造性设计分析软件凭借其出色的技术创新能力和在智能制造领域的卓越表现,荣获了 新技术应用赛道
2023-12-15 10:36:23
近日,第三届智能制造创新大赛颁奖仪式在2023世界智能制造大会开幕式上隆重举行。华秋DFM_PCB可制造性设计分析软件凭借其出色的技术创新能力和在智能制造领域的卓越表现,荣获了 新技术应用赛道
2023-12-15 10:33:29
中科融合是一家国际领先的先进光学智能传感器芯片企业,是国内唯一拥有自主研发“MEMS芯片+SOC芯片+核心算法”,并且提供完整的AI+3D芯片以及模组产品的创新型高新技术企业。MEMS激光微振镜投射芯片是实现动态结构光条纹投影的核心部件。
2023-12-14 14:43:23545 今天分享是《DFX可制造性设计与组装技术》 资料
2023-12-11 11:10:22289 MEMS振荡器是一种基于微机电系统(MEMS)技术的微型振荡器,其设计旨在实现小型化、低功耗和高稳定性。这种技术的成功应用使得MEMS振荡器在各个领域都发挥着重要作用。
2023-12-08 14:34:28304 村田MEMS惯性测量单元(IMU)SCHA634产品分析
2023-11-27 16:27:32387 电子发烧友网站提供《ADI公司突破性的微机电系统(MEMS)开关技术.pdf》资料免费下载
2023-11-27 09:52:201 元宇宙的实现需要哪些MEMS技术
2023-11-24 17:12:30172 和案例演示。
凡亿电路技术总监 黄勇
通常而言,PCB文件投产之前,有经验的工程师都会使用DFM工具做一下检查分析,评估下产品可制造性及预估成本,还可以利用DFM工具一键下单采购。如何正确的使用DFM工具
2023-11-24 16:50:33
和案例演示。
凡亿电路技术总监 黄勇
通常而言,PCB文件投产之前,有经验的工程师都会使用DFM工具做一下检查分析,评估下产品可制造性及预估成本,还可以利用DFM工具一键下单采购。如何正确的使用DFM工具
2023-11-24 16:47:41
和封装成本。本文讨论不同的半导体 MEMS 制造方法及其进展。 半导体 MEMS 的重要性 MEMS 主要是传感器系统,可以控制或感测化学、光学或物理量,例如流体、加速度或辐射。MEMS 设备/传感器拥有与外界的电气接口,通常通过 IC 实现,IC 提供必要的智能,使设备能
2023-11-24 09:19:31284 芯感智成立于2010年3月,是从事mems芯片和系统设计及制造的尖端技术企业,是中国最早的mems创业企业之一,是中国领先的传感器应用解决方案提供者。
2023-11-09 09:53:06187 MEMS传感器是当今最炙手可热的传感器制造技术,也是传感器小型化、智能化的重要推动了,MEMS技术促进了传感器的极大发展。
2023-11-05 10:13:46629 电子发烧友网站提供《MEMS运动处理方案对消费类电子的影响分析.doc》资料免费下载
2023-11-03 10:33:250 MEMS传感器是当今最炙手可热的传感器制造技术,也是传感器小型化、智能化的重要推动了,MEMS技术促进了传感器的极大发展。 MEMS主要采用微电子技术,在微纳米的体积下塑造传感器的机械结构。本文
2023-11-02 08:37:09771 近日浙江芯晟微机电制造有限公司开业仪式举行,标志着高端MEMS芯片制造项目正式投产。中国科学院院士朱日祥,中国科学院地质与地球物理研究所研究员杨长春,县领导及高新区领导王剑峰、朱国忠出席。 据悉
2023-10-26 08:43:48262 据悉,浙江芯晟微机电制造有限公司MEMS芯片制造项目总投资5.4亿元,位于高新区城北园区的核心区域,占地74亩,新增建筑面积8.9万平方米,项目一期建成6英寸晶圆高端MEMS芯片量产线,将进一步优化我县芯片制造产业结构,增强经济发展后劲
2023-10-22 15:19:581043 本文整理自公众号芯生活SEMI Businessweek中关于MEMS制造工艺的多篇系列内容,全面、专业地介绍了MEMS芯片制造中的常用工艺情况,推荐! 作为现代传感器重要的制造技术,MEMS
2023-10-20 16:10:351398 有没有简单一些的办法实现可控硅直流关断技术
2023-10-10 07:21:55
这篇笔记介绍MEMS型硅光芯片封装的一则最新进展,瑞典皇家理工学院KTH研究组联合洛桑联邦理工学院EPFL、爱尔兰的Tyndall、IMEC等多个机构,共同开发了MEMS硅光芯片晶圆级的气密封装技术(hermetic sealing)。
2023-09-19 09:32:39869 一、可制造分析的必要性 由于缺少可行的制造分析软件,制造前期的“可制造”问题分析没有得到有效的执行,大量设计隐患流入生产端,导致制造困难反复沟通、产品制造良率低、延长产品开发周期等。 利用华秋DFM
2023-09-15 07:40:02420 从中长期看,公司境内外产线MEMS工艺开发业务的毛利率仍将保持在较高水平;同时由于公司正从“精品工厂”向“量产工厂”转变,随着晶圆制造业务规模及占比的持续提升,公司MEMS业务的毛利率将趋于稳定,预计可保持在体现MEMS专业制造技术含量的的合理水平。
2023-09-14 17:18:39721 本技术笔记为采用 HLGA 表面贴装封装的 MEMS 传感器产品提供 PCB设计和焊接工艺的通用指南。
2023-09-13 08:03:50
表面贴装 MEMS 传感器的通用焊接指南在焊接 MEMS 传感器时,为了符合标准的 PCB 设计和良好工业生产,必须考虑以下三个因素:• PCB 设计应尽可能对称:− VDD / GND 线路上的走
2023-09-13 07:42:21
MEMS。该算法以静态库格式提供,旨在用于基于 ARM® Cortex®-M3 或 ARM® Cortex®-M4 架构的 STM32 微控制器。它以 STM32Cube 软件技术为基础而构建,便于在
2023-09-08 07:32:43
除了硅基芯片,CPU处理器还包括以下组成部分:
基板:用于在处理器中形成电路的基底,负责连接各个芯片组件。
控制器:用于控制数据和指令的传输,协调各个组件的工作。
运算器:用于进行算术和逻辑运算
2023-09-05 16:41:05
本技术笔记为采用 HLGA 表面贴装封装的 MEMS 传感器产品提供 PCB 设计和焊接工艺的通用指南。
2023-09-05 08:27:53
本技术笔记为采用 LGA 表面贴装封装的 MEMS 传感器产品提供通用焊接指南。
2023-09-05 07:45:30
制造方面起着无可替比的作用。通过对国外研究动向的分析,光制造技术的发展趋势将重点定位在微结构、微刻蚀、微工具以及多功能性微技术、微工程的研究与开发上。并可预测,三维微纳尺度的激光微制造技术必将在新世纪的高新技术与产业中牵领风云,成为具有世纪标志的主流制造技术。
2023-08-24 16:34:01231 用MEMS技术制造的新型传感器,就称为MEMS传感器。一般传感器的主要构造有敏感元件、转换元件、变换电路和辅助电源四部分组成。那么,MEMS传感器的主要构造是怎样的呢?
2023-08-23 17:38:541182 MEMS传感器在各类电子产品上快速普及,我们身边的智能手机、平板电脑等几乎所有电子设备无不包含,然而大部分人对MEMS技术还是比较陌生的。 MEMS技术的应用主要有传感器和执行器两部分,本文
2023-08-21 17:23:164226 的尺寸和更轻的重量。 传统硅晶体管有两种类型的损耗:传导损耗和开关损耗。 功率晶体管是开关电源中功率损耗的主要原因。 为了遏制这些损失,GaN 晶体管(取代旧的硅技术)的开发已引起电力电子行业的关注
2023-08-21 17:06:18
MEMS 器件通常使用两个芯片制造:一个来自 CMOS 晶圆,另一个来自 MEMS 晶圆。这种两芯片制造工艺给制造商带来了一些挑战。为 MEMS 和 CMOS 生产单独的晶圆成本高昂,会延长上市时间,而且只能生产小批量(特别是在硅短缺的情况下)。
2023-08-15 16:14:40549 随着全球制造业的快速发展和技术的不断进步,智能制造已成为行业的热门话题。在智能制造的核心理念中,工时分析扮演着重要的角色,对于制造业实现智能制造转型起到关键作用。本文将探讨工时分析在智能制造
2023-08-15 14:56:39494 得益于日益成熟的技术,MEMS传感器在各类电子产品上快速普及,我们身边的智能手机、平板电脑等几乎所有电子设备无不包含,然而大部分人对MEMS技术还是比较陌生的。
2023-08-15 14:15:23559 年的232.3亿美元,年复合增长率为8.43%。这一增长受到汽车和消费电子等各个领域对MEMS的需求不断增加的推动。MEMS技术对于物联网需要小型、成本效益高的传感器来监测生产和适应恶劣环境至关重要。它在
2023-08-09 08:47:40446 近日,中国电科9所突破从器件设计到材料制备等多项关键技术,研制出高性能的MEMS磁通门传感器。 MEMS磁通门传感器作为一种高精度弱磁场传感器,能够感应到外界微弱的直流或低频磁场,被广泛应用于定位
2023-08-08 18:16:47302 械等,指尺 寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级。微机电系统是在微 电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加 工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。 MEMS是一个独立的智能系统,可大批量生产,
2023-08-02 08:40:04334 虹科干货MEMS传感器"扫盲指南"(下)MEMS传感器是最先进的微型设备之一,以令人难以置信的精确度测量物理量,有力地改变着各行各业。MEMS技术使得高度集成系统的开发
2023-08-01 00:04:50348 虹科干货MEMS传感器"扫盲指南"MEMS传感器是最先进的微型设备之一,以令人难以置信的精确度测量物理量,有力地改变着各行各业。MEMS技术使得高度集成系统的开发成为可能,这些
2023-07-31 22:16:05747 MEMS传感器是最先进的微型设备之一,以令人难以置信的精确度测量物理量,有力地改变着各行各业。MEMS技术使得高度集成系统的开发成为可能,这些系统用于监控工艺性能,并为制造厂的自动控制系统提供至关重要的反馈。让我们深入探究MEMS传感器,了解它们的工作原理、应用以及在工业领域中的重要作用吧~
2023-07-27 18:07:58245 MEMS传感器是最先进的微型设备之一,以令人难以置信的精确度测量物理量,有力地改变着各行各业。MEMS技术使得高度集成系统的开发成为可能,这些系统用于监控工艺性能,并为制造厂的自动控制系统提供至关重要的反馈。让我们深入探究MEMS传感器,了解它们的工作原理、应用以及在工业领域中的重要作用吧~
2023-07-21 15:30:17250 与MEMS无关的现象,其背后的原因却牵扯到了MEMS技术的重要性和我们国家在这方面的短板:我国MEMS水平甚至不如芯片技术!
2023-07-21 08:44:42436 摘要:MEMS(微机电系统)陀螺仪在惯性导航、姿态控制和运动测量等领域中具有重要应用。然而,传统MEMS陀螺仪在尺寸和性能方面存在一定的限制。本文介绍了一种基于陶瓷基板的技术芯片实现了小型化MEMS
2023-07-10 15:03:37369 Ericco的MEMS陀螺仪根据轴数分为单轴、双轴和三轴。它分为工业级、战术级(ER-MG-056、ER-MG-067)和导航级(ER-MG2-50/100、ER-MG2-300/400)。战术
2023-07-07 10:16:472080 从技术制造方面来看,MEMS传感器是指通过微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。相较于传统传感器,MEMS传感器微型化、集成化、智能化等优势异常凸显。
2023-06-30 14:37:33383 近日,“2023 MEMS标准化与产业发展青年论坛暨车载MEMS标准化工作组成立大会”圆满落幕。会上,由RoboSense速腾聚创牵头,全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)车载MEMS标准化工作组正式成立。这是全国首个专注车载MEMS领域的标准化工作组。
2023-06-30 12:26:22448 微电子机械系统(MEMS)是集成电路(IC)技术的一种重要分支,其特殊性在于它将微型机械元件和电子元件集成在同一块硅片上,以实现物理量的测量和控制。随着MEMS技术的不断发展和应用,MEMS封装材料的需求也日益增加。本文将主要介绍几种主流的MEMS封装材料。
2023-06-26 09:40:04980 氮化镓(GaN)的重要性日益凸显,增加。因为它与传统的硅技术相比,不仅性能优异,应用范围广泛,而且还能有效减少能量损耗和空间的占用。在一些研发和应用中,传统硅器件在能量转换方面,已经达到了它的物理
2023-06-15 15:47:44
由于MEMS传感器测量的外部信号不同,不同类型的MEMS传感器技术差异较大。MEMS惯性传感器主要检测物体的运动,需要将传感器安装在载体上用于检测载体的运动,因此MEMS多为密闭式封装。
2023-06-13 09:08:383275 尽管MEMS(微机电系统)技术在气囊和汽车压力传感器中的应用已有大约20年,但促使大众认识到惯性传感器作用的是Nintendo® Wii™和Apple® iPhone®。
2023-06-10 16:11:46522 在过去的20年,传感器厂商不断研究创新的测量原理和敏感材料,这些成果能让我们用到高集成、低成本的传感器,其中,最成功也是最具颠覆性的,无疑是MEMS技术在传感器制造中的应用。 MEMS技术在传感器
2023-06-09 08:37:21656 英唐极光微成立于2022年11月,专注于MEMS微振镜产品的研发、制造、生产和销售,独立高效推动公司MEMS微振镜募投项目——“深圳市英唐智能控制股份有限公司MEMS微振镜研发及产业化项目”,未来拟引入产业链相关投资者,共同推动MEMS项目进一步的开发及产业化推广。
2023-06-06 14:53:34647 微流控芯片(MicrofluidicChip) ,又称为芯片实验室(Lab-on-a-Chip)或生物 芯片。是利用MEMS技术将一个大型实验室系统缩微在一个玻璃或塑料基板上,从而复制复杂的生物学和化学反应全过程,快速自动地完成实验。
2023-06-05 15:00:512045 。下面介绍数字孪生技术在制造业中的具体应用: 一、产品设计 数字孪生技术可以在产品设计阶段,通过对设计数据和仿真数据进行整合,快速创建虚拟样机,进行功能验证、结构分析等操作。在这个过程中,数字孪生技术可以大大缩
2023-06-01 14:30:32925 MEMS芯片和ASIC芯片是一个MEMS传感器中技术和价值含量最高的部分。你知道MEMS芯片是怎么被制造出来的吗?MEMS芯片与集成电路芯片有什么区别? 此外,谈到MEMS传感器,我们还常
2023-05-30 08:36:581469 µm甚至8000 µm)波的各项同性晶体材料。和钻石相比,它要便宜的多,并且生长制造更容易。而且他尺寸更大,更容易制造,THz技术的快速发展,就基于该优点。对于T
2023-05-24 14:32:32
所谓,RF MEMS 开关,是一种是小型的微机械开关,功耗低,可以使用传统的 MEMS 制造技术生产。它们类似于房间中的电灯开关,其中触点打开或关闭以通过开关传导信号。在 RF MEMS 器件的情况下,开关的机械组件只有微米级尺寸。与电灯开关不同,在 RF MEMS 开关中传导的信号在射频范围内。
2023-05-23 15:09:18776 RF MEMS开关是一种小型微机械开关,具有低功耗,可以使用传统的MEMS制造技术生产。它们类似于房间里的开关,通过打开或关闭接触点来传导信号。
在RF MEMS设备的情况下,开关的机械部件仅有几微米大小。与普通开关不同的是,RF MEMS开关传导的信号处于射频范围内。
2023-05-23 14:58:51860 射频微机电系统(RF MEMS)是MEMS技术的一大重要应用领域,也是20世纪90年代至今研究MEMS技术各领域中飞速发展的热点。射频微机械开关体积小,功耗低,且插入损耗、隔离度等微波性能均远优于
2023-05-23 14:35:50610 从驱动方式和机械结构的角度介绍了不同的RF MEMS开关类型,分析了各类MEMS开关的性能及优缺点,分析了MEMS开关在制作和发展中面临的牺牲层技术、封装技术、可靠性问题等关键技术和问题,介绍了MEMS开关的发展现状及其在组件级和系统级的应用,以及对MEMS开关技术的展望
2023-05-23 14:29:05517 MEMS芯片技术是指在纳米尺度的“微观世界”,将芯片、微纳制造与微机械系统融合的前沿技术。基于光刻、刻蚀等传统半导体技术,融入超精密机械加工,并结合力学、化学、光学等学科知识和技术基础,使得一个毫米或微米尺度上的芯片结构具备精确而完整的机械、化学、光学等特性。
2023-05-11 14:23:26619 关键技术,MEMS已渗透到我们生活的方方面面,涵盖几乎所有需要微型化的产品。苹果、华为、三星、小米、OPPO等各种知名品牌都离不开MEMS技术。 本文从技术到中国产业现状,全面介绍了中国的MEMS,本文关注MEMS国产替代。在本文中,你将了解
2023-05-05 16:38:31253 传感MEMS技术是指用微电子微机械加工出来的、用敏感元件如电容、压电、压阻、热电耦、谐振、隧道电流等来感受转换电信号的器件和系统。
2023-04-25 10:16:40545 摘要 MEMS已被认为是最有前途的技术之一。在21世纪,它具有革命性的工业和结合以硅为基础的微电子产品微加工技术。它的技术和微系统电子设备有可能极大地影响我们的生活。本文介绍了微机电系统文章全部详情
2023-04-24 09:21:00425 MAPC-A2021GaN 放大器 32 V,8 W 1.8 - 2.7 GHz - MACOM PURE CARBIDEMAPC-A2021 是一款碳化硅基 GaN
2023-04-23 14:59:32
MAPC-A1508GaN 放大器 50 V,700 W 900 - 930 MHzMAPC-A1508 是一款碳化硅基 GaN HEMT D 型放大器,适用于 900
2023-04-23 13:18:27
随着微电子技术的飞速发展,微电子机械系统(MEMS)逐渐成为众多领域的研究热点。MEMS器件在诸如传感器、执行器等方面表现出卓越的性能,但要实现这些优越特性,对其封装结构和制造工艺要求极高。本文将详细介绍MEMS器件真空封装结构及其制造工艺。
2023-04-21 14:18:181034 提出了一种利用飞秒激光诱导化学蚀刻(FLICE)制造压电致动的石英晶体MEMS谐振器的方法。
2023-04-20 09:10:46878 这个一份来自上海交通大学振动、冲击、噪声国家重点实验室,是一份硬核技术资料。 主要讲解MEMS工艺过程中的动力学问题,包括了MEMS基本概念、模型、历史回顾、加工技术、研究成果、应用现状等内容,推荐需要深入了解MEMS技术的童鞋分享、收藏。
2023-04-18 10:01:48811 NPT2020PT2020 是一款 48 V 硅基氮化镓晶体管,工作频率为 DC 至 3.5 GHz,功率为 50 W,增益为 17 dB。它采用陶瓷封装,面向军事和大批量商业市场。 
2023-04-14 15:39:35
MEMS传感器是当今最热门的传感器种类,MEMS技术使传感器微型化、低功耗、集成化成为可能,是未来传感器技术的发展方向之一。 本文编译自传感器宝典——《现代传感器手册
2023-04-10 17:34:122603 共基放大电路的放大倍数与负载内阻RL、信号源内阻RS有关吗?
2023-03-31 15:35:03
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