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电子发烧友网>今日头条>硅基MEMS制造技术分析

硅基MEMS制造技术分析

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2023-06-01 14:30:32925

MEMS传感器芯片是这样被制造出来的!(20+高清大图)

MEMS芯片和ASIC芯片是一个MEMS传感器中技术和价值含量最高的部分。你知道MEMS芯片是怎么被制造出来的吗?MEMS芯片与集成电路芯片有什么区别?   此外,谈到MEMS传感器,我们还常
2023-05-30 08:36:581469

高阻抗本征

µm甚至8000 µm)波的各项同性晶体材料。和钻石相比,它要便宜的多,并且生长制造更容易。而且他尺寸更大,更容易制造,THz技术的快速发展,就基于该优点。对于T
2023-05-24 14:32:32

一文读懂RF MEMS 开关

所谓,RF MEMS 开关,是一种是小型的微机械开关,功耗低,可以使用传统的 MEMS 制造技术生产。它们类似于房间中的电灯开关,其中触点打开或关闭以通过开关传导信号。在 RF MEMS 器件的情况下,开关的机械组件只有微米级尺寸。与电灯开关不同,在 RF MEMS 开关中传导的信号在射频范围内。
2023-05-23 15:09:18776

RF MEMS开关的运作、优势

RF MEMS开关是一种小型微机械开关,具有低功耗,可以使用传统的MEMS制造技术生产。它们类似于房间里的开关,通过打开或关闭接触点来传导信号。 在RF MEMS设备的情况下,开关的机械部件仅有几微米大小。与普通开关不同的是,RF MEMS开关传导的信号处于射频范围内。
2023-05-23 14:58:51860

RF MEMS 开关的设计与优化

射频微机电系统(RF MEMS)是MEMS技术的一大重要应用领域,也是20世纪90年代至今研究MEMS技术各领域中飞速发展的热点。射频微机械开关体积小,功耗低,且插入损耗、隔离度等微波性能均远优于
2023-05-23 14:35:50610

RF MEMS开关技术分析

从驱动方式和机械结构的角度介绍了不同的RF MEMS开关类型,分析了各类MEMS开关的性能及优缺点,分析MEMS开关在制作和发展中面临的牺牲层技术、封装技术、可靠性问题等关键技术和问题,介绍了MEMS开关的发展现状及其在组件级和系统级的应用,以及对MEMS开关技术的展望
2023-05-23 14:29:05517

北理工重研院MEMS技术成果转化初具雏形

MEMS芯片技术是指在纳米尺度的“微观世界”,将芯片、微纳制造与微机械系统融合的前沿技术。基于光刻、刻蚀等传统半导体技术,融入超精密机械加工,并结合力学、化学、光学等学科知识和技术基础,使得一个毫米或微米尺度上的芯片结构具备精确而完整的机械、化学、光学等特性。
2023-05-11 14:23:26619

国产MEMS传感器厂商该怎么办?探索万亿市场替代空间(全面分析

关键技术MEMS已渗透到我们生活的方方面面,涵盖几乎所有需要微型化的产品。苹果、华为、三星、小米、OPPO等各种知名品牌都离不开MEMS技术。 本文从技术到中国产业现状,全面介绍了中国的MEMS,本文关注MEMS国产替代。在本文中,你将了解
2023-05-05 16:38:31253

MEMS技术的主要分类及应用

传感MEMS技术是指用微电子微机械加工出来的、用敏感元件如电容、压电、压阻、热电耦、谐振、隧道电流等来感受转换电信号的器件和系统。
2023-04-25 10:16:40545

微机电系统MEMS简介

摘要 MEMS已被认为是最有前途的技术之一。在21世纪,它具有革命性的工业和结合以硅为基础的微电子产品微加工技术。它的技术和微系统电子设备有可能极大地影响我们的生活。本文介绍了微机电系统文章全部详情
2023-04-24 09:21:00425

MAPC-A2021 碳化​​ GaN HEMT D 型放大器

  MAPC-A2021GaN 放大器 32 V,8 W 1.8 - 2.7 GHz - MACOM PURE CARBIDEMAPC-A2021 是一款碳化​​ GaN
2023-04-23 14:59:32

MAPC-A1508 碳化​​ GaN HEMT D 型放大器

  MAPC-A1508GaN 放大器 50 V,700 W 900 - 930 MHzMAPC-A1508 是一款碳化​​ GaN HEMT D 型放大器,适用于 900
2023-04-23 13:18:27

超越微观边界:MEMS器件真空封装结构与制造工艺全景剖析

随着微电子技术的飞速发展,微电子机械系统(MEMS)逐渐成为众多领域的研究热点。MEMS器件在诸如传感器、执行器等方面表现出卓越的性能,但要实现这些优越特性,对其封装结构和制造工艺要求极高。本文将详细介绍MEMS器件真空封装结构及其制造工艺。
2023-04-21 14:18:181034

飞秒激光辅助制造石英晶体MEMS谐振器

提出了一种利用飞秒激光诱导化学蚀刻(FLICE)制造压电致动的石英晶体MEMS谐振器的方法。
2023-04-20 09:10:46878

MEMS技术亮点 上海交大国家重点实验室详解MEMS中的动力学问题研究

这个一份来自上海交通大学振动、冲击、噪声国家重点实验室,是一份硬核技术资料。 主要讲解MEMS工艺过程中的动力学问题,包括了MEMS基本概念、模型、历史回顾、加工技术、研究成果、应用现状等内容,推荐需要深入了解MEMS技术的童鞋分享、收藏。
2023-04-18 10:01:48811

NPT2020 氮化镓晶体管

NPT2020PT2020 是一款 48 V 氮化镓晶体管,工作频率为 DC 至 3.5 GHz,功率为 50 W,增益为 17 dB。它采用陶瓷封装,面向军事和大批量商业市场。 
2023-04-14 15:39:35

MEMS传感器的原理和构造深入解读 MEMS电容式传感器MEMS压阻式加速度计

  MEMS传感器是当今最热门的传感器种类,MEMS技术使传感器微型化、低功耗、集成化成为可能,是未来传感器技术的发展方向之一。   本文编译自传感器宝典——《现代传感器手册
2023-04-10 17:34:122603

放大电路的放大倍数与负载内阻RL有关吗?

放大电路的放大倍数与负载内阻RL、信号源内阻RS有关吗?
2023-03-31 15:35:03

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