MEMS技术在车载行业的应用

在汽车电子控制系统的快速增长的市场需求下，汽车传感器技术不断发展。未来汽车传感器的发展总体趋势是智能化、微型化、集成化、多功能化以及新材料和新工艺制成的新型传感器。MEMS技术传感器成为汽车传感器的主要部件。

汽车市场已经成为传感器的重要应用市场，MEMS汽车传感器作为汽车电子控制系统电子控制系统的重要信息源，对温度、压力、位置、转速、加速度和振动等各种信息进行实时、准确的测量和控制。当前，一辆普通家用轿车上大约安装了近百个传感器，而豪华轿车上的传感器数量多达200个。

车用MEMS传感器的应用方向和市场需求包括车辆的防抱死系统（ABS）、电子车身稳定程序（ESP）、电控悬挂（ECS）、电动手刹（EPB）、斜坡起动辅助（HAS）、胎压监控（EPMS）、引擎防抖、车辆倾角计量和车内心跳检测等等。

随着高端汽车与智能汽车的普及，以及无人驾驶技术的推进，超声波传感器、图像传感器、激光雷达传感器、微波传感器、红外传感器等也都被采用。汽车传感器已经成为MEMS传感器的一个主要的应用市场。

目前，压力传感器、加速计、陀螺仪与流量传感器四类器件合计占汽车MEMS系统的99%。其五年增长率均在3-12%。MEMS压力传感器是汽车中应用最多的传感器，汽车用MEMS压力传感器的价格大概在5~7美元。在汽车领域，MEMS压力传感器营业收入2013年预计达到12.6亿美元，占当年总体产业营业收入的74%。至少18个汽车应用领域将促进压力传感器的增长，包括：轮胎压力，电子稳定控制系统中的刹车传感器，侧面气囊，与日益严格的排放标准相关的引擎控制，大气压力与废气再循环压力。

按销售额计算，最大的五种汽车MEMS应用按降序排名是：ESC，安全气囊，进气歧管绝对压力（MAP），TPMS与翻滚探测。

具体应用体现：

1）MEMS传感器的大批量高精度生产和高可靠性及单价廉价，特别适宜在汽车电控系统中应用；

2）安全气囊中的汽车安全气囊感应器；

3）MEMS汽车微加速度计正替代以往的机电式加速度传感器；

4）MEMS陀螺仪在高端汽车中的应用包括：悬架控制、翻滚；

5）汽车MEMS压力传感器和轮胎气压自动监测系统，MEMS压力传感器适合于任何类型的轮胎，在轮胎胎壁埋设一小块感压力敏芯片，自动测量轮胎气压、温度、转速和其它一些数据，并用特定的代码发送出来；

6）发动机管理系统中的MEMS应用；

7）微机械陀螺是一种振动式角速率传感器，在汽车领域的应用开发倍受关注，主要用于汽车导航的GPS信号补偿和汽车底盘控制系统；

8）汽车电控燃油喷射系统EFI要使用多重压力MAP传感器，监测发动机进气歧绝对压力，提高其动力性能，降低油耗，减少废气排放；

9）微型硅压阻式MEMS压力传感器可用于发动机废气循环系统，替代陶瓷电容式压力传感器。