压电纳米定位产品具有纳米级分辨率及定位精度,集成到各种相关仪器及机械设备中,从而实现高精度纳米级定位与运动。了解压电纳米定位台的基本工作原理及性能,来选择适合您应用的压电纳米定位台吧。
什么是压电纳米定位台?压电纳米定位台是以压电陶瓷作为驱动源,结合柔性铰链机构实现X/Z/XY/XZ/XYZ轴精密运动的压电平台。运动范围最大可达375μm,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可以实现纳米级分辨率及定位精度且具有极高的可靠性,压电纳米定位台在精密定位领域中发挥着至关重要的作用。
压电纳米定位台采用无摩擦柔性铰链导向机构,可实现亚纳米级分辨率。芯明天N60.X系列压电纳米定位台,配套E53系列压电控制,可实现0.5nm的步进分辨率。
芯明天快速刀具定位台采用大出力压电陶瓷,最大出力可达几千牛顿,广泛应用于精密加工等领域。
压电纳米定位台由容性压电陶瓷驱动,响应时间可快至毫秒级。芯明天N65系列纳米定位台配套大功率E00/E01系列压电控制器,可实现满幅值阶跃时间为1.5ms。
平台采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。
压电纳米定位产品标准驱动电压为0~120/150V,可产生最大375μm位移行程。同时可以根据要求定制其他电压驱动版本。
驱动控制系统
压电陶瓷控制器通过模拟输入或数字输入控制,具有功率放大功能,且输出电压、输出频率可调。多种通道数及功能可选,可驱动各种压电类产品,同时也可根据应用需求提供定制服务。
应用到那些领域
光纤端面检测,压电纳米定位台带动镜片做精密运动,配合显微镜完成对光纤端面质量的干涉检测实验。精密车削,利用快速刀具定位器超精密制造技术,实现光学非球面、自由曲面、微结构与其阵列的元件及模具纳米级超精密加工。
原子力显微镜,闭环纳米定位台与原子力显微镜相结合,可以实现375μm的扫描范围,分辨率为亚纳米级,响应时间可达亚毫秒。激光平面干涉仪,Z向压电纳米定位台的作用是做纳米级的微运动,精确调整待测物的位置,从而改变对应条纹的宽度及位置,以达到更精确的表面测量。
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