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电子发烧友网>今日头条>音圈电机在光刻机掩模台系统中的应用

音圈电机在光刻机掩模台系统中的应用

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芯片制造之光刻工艺详细流程图

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2023-05-17 14:52:061059

机床测量系统

的偏置量,使同样的机床能加工出更高精度的零件。 图仪器PO40机床测量系统是一款具有 3 维 5 向探测功能的红外触发机床测头,具有体积小、精度高、
2023-05-17 14:41:23

一文讲透光刻胶及芯片制造关键技术

在集成电路制造领域,如果说光刻机是推动制程技术进步的“引擎”,光刻胶就是这部“引擎”的“燃料”。
2023-05-13 11:28:381119

全面解读光刻胶工艺制造流程

光刻胶可以通过光化学反应,经曝光、显影等光刻工序将所需要的微细图形从光罩(掩模版)转移到待加工基片上。依据使用场景,这里的待加工基片可以是集成电路材料,显示面板材料或者印刷电路板。
2023-05-11 16:10:492772

2023年中国***现状

2023年中国光刻机现状是什么样的呢?自从2018年以来,我国开始被美国各种手段制裁,光刻机被卡脖子,美国不让荷兰卖先进的光刻机给我们,这也让这些年来无数国人关注光刻机的研发进度。
2023-05-10 16:24:1521220

掩模场利用率MFU简介

扫描仪(scanner)是一种在wafer上创建die images的机器。它首先通过刻线(有时称为掩模)将光照射到涂有保护性光刻胶的wafer上,以刻上刻线图案的图像。
2023-05-06 09:51:385193

EUV光刻的无名英雄

晶圆厂通常使用光刻胶来图案化抗蚀刻硬掩模,然后依靠硬掩模来保护晶圆。但是,如果光刻胶太薄,它可能会在第一个转移步骤完成之前被侵蚀掉。随着光刻胶厚度的减小,底层厚度也应该减小。
2023-04-27 16:25:00689

NVIDIA H100 GPU为2nm芯片加速计算光刻

现代工艺技术将晶圆厂设备要求推向极限,需要实现突破其物理极限的高分辨率,这正是计算光刻技术发挥作用的地方。计算光刻就是为芯片生产制作光掩模的技术,它结合来自ASML设备和测试晶圆的关键数据,是一个模拟生产过程的算法。
2023-04-26 10:05:29918

光刻技术的种类介绍

根据维基百科的定义,光刻是半导体器件制造工艺中的一个重要步骤,该步骤利用曝光和显影在光刻胶层上刻画几何图形结构,然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形转移到所在衬底上。这里所说的衬底不仅包含硅晶圆,还可以是其他金属层、介质层,例如玻璃、SOS中的蓝宝石。
2023-04-25 11:11:331242

光刻技术的原理及发展前景分析

光刻就是把芯片制作所需要的线路与功能区做出来。利用光刻机发出的光通过具有图形的光罩对涂有光刻胶的薄片曝光,光刻胶见光后会发生性质变化,从而使光罩上得图形复印到薄片上,从而使薄片具有电子线路图的作用
2023-04-25 11:05:322260

光刻技术简述

光刻技术是将掩模中的几何形状的图案转移到覆盖在半导体晶片表面的薄层辐射敏感材料(称为抗蚀剂)上的过程
2023-04-25 09:55:131057

深圳泰科伺服MT系列无刷伺服系统-直流音电机驱动器系统

泰科伺服生产的MT无刷伺服系统主要由IDM系列伺服驱动器与兼容NEMA法兰尺寸的直流无刷伺服电机组合而成。采用直流供电,最大功率可达600W,主要应用于小型移动机器人、自动化检测组装、医疗设备等行业
2023-04-20 10:45:52

深圳泰科伺服APX系列无刷伺服电机驱动器

,最大功率可达5KW。集可编程运动控制、PLC、伺服驱动功能于一体。主要应用于直线(DDL)、力矩(DDR)、、有刷、无刷伺服电机的位置、速度、转矩控制。它能以
2023-04-20 10:21:24

深圳泰科智能MT系列无刷伺服系统-直流音电机驱动器系统

泰科智能生产的MT无刷伺服系统主要由IDM系列伺服驱动器与兼容NEMA法兰尺寸的直流无刷伺服电机组合而成。采用直流供电,最大功率可达600W,主要应用于小型移动机器人、自动化检测组装、医疗设备等行业
2023-04-19 11:07:03

浅谈EUV光刻中的光刻胶和掩模等材料挑战

新的High NA EUV 光刻胶不能在封闭的研究环境中开发,必须通过精心设计的底层、新型硬掩模和高选择性蚀刻工艺进行优化以获得最佳性能。为了迎接这一挑战,imec 最近开发了一个新的工具箱来匹配光刻胶和底层的属性。
2023-04-13 11:52:121164

音圈电机模组在主流光刻掩模系统中的应用

光刻机是芯片智造的核心设备之一,也是当下尤为复杂的精密仪器之一。正因为此,荷兰光刻机智造商阿斯麦通研制的EUV光刻机才会“千金难求”。 很多人都对光刻机有所耳闻,但其实不同光刻机的用途并不
2023-04-06 08:56:49679

新品推荐—无掩膜版紫外***

  在基础科研中,微纳结构的跨尺度光刻逐渐成为研究者在制备样品过程中的必要手段。常规光刻机需要定制光学掩模板,这不仅增高成本,还使灵活性大打折扣,即当发生任何设计上的变动,都需要重新制造掩模板。激光
2023-03-28 08:55:41692

GTC 2023 NVIDIA将加速计算引入半导体光刻 计算光刻技术提速40倍

为2nm及更先进芯片的生产提供更强大的助力。 计算光刻是芯片设计和制造领域中最大的计算工作负载,每年消耗数百亿CPU小时。而NVIDIA cuLitho计算光刻库利用GPU技术实现计算光刻,可以极大的降低功耗、节省时间。 目前台积电、光刻机制造商阿斯麦,以及EDA巨头新思科技都已经导入
2023-03-23 18:55:377488

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