皮纳级电流压力传感器测试方案的详细说明

压力传感器(Pressure Transducer)是能感受压力信号，并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置。其广泛应用于各种工业自控环境，涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。

在压力传感器开发中，许多压力传感器的供电输入要求一定频率波形供电，或是直流供电，且同时需要监控受激励后的输出电压或电流，通常输出非常微小，达到皮纳级别的小信号，通过什么方式可以精密准确测量而且直观便捷分析呢？

比如以下压力传感器的各项参数和测量接线图如下：

本次安泰测试给大家介绍的测试方案有以下三种：

方案一：吉时利源表SMU2612B

方案二：线性电源+8位半吉时利万用表2002

方案三：线性电源+吉时利皮安表6400系列

方案一：双通道源表实现电源供电和低电流信号采集

Keithley  SMU2600B 系列系统 SMU 仪器是业界标准电流-电压源和测量解决方案，适用于高度自动化生产测试应用。 双通道和单通道型号都紧密集成一个精密电源、真正电流源、数字万用表和具有脉冲生成功能的电子负载。

另外，TSP 技术可运行完整测试程序，适用于自动化系统应用，TSP-链路技术允许菊花式链接多至 64 条通道，适用于大容量并行测试。2635B 和 2636B SMU 在 100 pA 范围内提供 0.1 fA、10-16 分辨率，适合超低电平样本检定，确保生产测试准确。

方案二：2230G 系列高功率、3 通道可编程电源+8位半吉时利万用表2002

2230G-30-6 从两个通道提供高达 6 A 的电流，可调、独立的隔离通道可以使用一个电源测试两个单电压设备或一个多电压设备，串连 30 V 通道将电压升至 60 V 或并联两个或三个通道以便使用 2230G-30-6 输出高达 15 A 的电流。

吉时利万用表2002是吉时利唯一一款8位半精度万用表，在200 μA档位下实现10pA的分辨率，并可以在后面板上的内置卡槽上插入一个多路器卡用于多点测量。

方案三：2230G 系列电源（方案二已介绍）+吉时利皮安表6400系列

经济实惠的 5½ 位 6485 型皮安表可以测量 10fA 至 20mA 的电流，允许将测量结果传输到数字万用表、数据采集卡、示波器或带形图纸记录仪等设备，以进行信号响应和趋势分析。

综上，在传感器测试中，我们根据传感器实际工作条件和输出特性，选择合适的测量仪表，通过多种方案的对比，实现高性价比的测试测量解决。

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