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电子发烧友网>今日头条>采用化学机械抛光(CMP)工艺去除机理

采用化学机械抛光(CMP)工艺去除机理

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北成新控丨哈默纳科Harmonic执行器在半导体CMP设备中的应用

北方某客户在CMP设备使用了哈默纳科执行器SHA、RSF、HMA和FHA系列产品,满足了客户对于提高控制精度,高速定位,紧凑安装空间的需求。
2023-06-14 09:48:39327

基于深度强化学习的视觉反馈机械臂抓取系统

机械臂抓取摆放及堆叠物体是智能工厂流水线上常见的工序,可以有效的提升生产效率,本文针对机械臂的抓取摆放、抓取堆叠等常见任务,结合深度强化学习及视觉反馈,采用AprilTag视觉标签、后视经验回放机制
2023-06-12 11:25:221214

电路板电镀中4种特殊的电镀方法

。常将金镀在内层镀层为镍的板边连接器突出触头上,金手指或板边突出部分采用手工或自动电镀技术,目前接触插头或金手指上的镀金已被镀姥、镀铅、镀钮所代替。其工艺如下所述: 1)剥除涂层去除突出触点上的锡或锡
2023-06-12 10:18:18

一文读懂CMP抛光

在现代工业中,表面加工是至关重要的一环。为了达到所需的表面粗糙度、光洁度和平整度等要求,往往需要进行抛光处理。
2023-06-08 11:13:552653

蓝宝石在化学机械抛光过程中的材料去除机理

化学腐蚀点处的浓度越高,腐蚀速率越快。在抛光过程中抛光液持续流动,我们假设在腐蚀点处的浓度可以保持初始时的浓度,腐蚀率以最快的速度发生,则抛光液不同的PH值对应一个腐蚀率,由此可见,去除速率与PH值有关,PH越高,速率越快。
2023-06-02 15:24:06347

碳化硅晶片的超精密抛光工艺

使用化学机械抛光(CMP)方法对碳化硅晶片进行了超精密抛光试验,探究了滴液速率、抛光头转 速、抛光压力、抛光时长及晶片吸附方式等工艺参数对晶片表面粗糙度的影响,并对工艺参数进行了优化,最终 得到了表面粗糙度低于0.1 nm的原子级光滑碳化硅晶片。
2023-05-31 10:30:062215

浅谈蚀刻工艺开发的三个阶段

纳米片工艺流程中最关键的蚀刻步骤包括虚拟栅极蚀刻、各向异性柱蚀刻、各向同性间隔蚀刻和通道释放步骤。通过硅和 SiGe 交替层的剖面蚀刻是各向异性的,并使用氟化化学。优化内部间隔蚀刻(压痕)和通道释放步骤,以极低的硅损失去除 SiGe。
2023-05-30 15:14:111071

半导体工艺装备现状及发展趋势

集成电路前道工艺及对应设备主要分八大类,包括光刻(光刻机)、刻蚀(刻蚀机)、薄膜生长(PVD-物理气相沉积、CVD-化学气相沉积等薄膜设备)、扩散(扩散炉)、离子注入(离子注入机)、平坦化(CMP设备)、金属化(ECD设备)、湿法工艺(湿法工艺设备)等。
2023-05-30 10:47:121131

图文详解表面处理工艺流程

表面处理是在基体材料表面上人工形成一层与基体的机械、物理和化学性能不同的表层的工艺方法。
2023-05-22 11:07:221514

激光与碳化硅相互作用的机理及应用

本文介绍了激光在碳化硅(SiC)半导体晶圆制程中的应用,概括讲述了激光与碳化硅相互作用的机理,并重点对碳化硅晶圆激光标记、背金激光表切去除、晶粒隐切分片的应用进行了介绍。
2023-05-17 14:39:041222

硅晶片的酸基蚀刻:传质和动力学效应

抛光硅晶片是通过各种机械化学工艺制备的。首先,硅单晶锭被切成圆盘(晶片),然后是一个称为拍打的扁平过程,包括使用磨料清洗晶片。通过蚀刻消除了以往成形过程中引起的机械损伤,蚀刻之后是各种单元操作,如抛光和清洗之前,它已经准备好为设备制造。
2023-05-16 10:03:00584

什么是晶圆清洗

晶圆清洗工艺的目的是在不改变或损坏晶圆表面或基板的情况下去除化学杂质和颗粒杂质。晶圆表面必须保持不受影响,这样粗糙、腐蚀或点蚀会抵消晶圆清洁过程的结果
2023-05-11 22:03:03783

如何让自动抛光设备达到理想的抛光效果

一、自动抛光机的抛光效果因素自动抛光机的抛光效果取决于多个因素,除了自动抛光机本身的质量以外,还包括使用工艺、选用什么样的抛光辅料,要抛光物件材质,操作者的经验技术等,在条件都合适的情况下,自动
2023-05-05 09:57:03535

PCB工艺设计要考虑的基本问题

手机板)的板,就一定要采用化学镀镍/金工艺(Et.Ni5.Au0.1)。有的厂家也采用整板镀金工艺(Ep.Ni5.Au0.05)处理。前者表面更平整,镀层厚度更均匀、更耐焊,而后者便宜、亮度好。   从
2023-04-25 16:52:12

《炬丰科技-半导体工艺》III-V族化学-机械抛光工艺开发

书籍:《炬丰科技-半导体工艺》 文章:III-V族化学-机械抛光工艺开发 编号:JFKJ-21-214 作者:炬丰科技 摘要   III-V材料与绝缘子上硅平台的混合集成是一种很有前景的技术
2023-04-18 10:05:00151

从半导体原材料到抛光晶片的基本工艺流程

 半导体材料和半导体器件在世界电子工业发展扮演的角色我们前几天已经聊过了。而往往身为使用者的我们都不太会去关注它成品之前的过程,接下来我们就聊聊其工艺流程。今天我们来聊聊如何从原材料到抛光晶片的那些事儿。
2023-04-14 14:37:502034

通过物联网网关实现抛光设备数据采集远程监控

设备所替代。 自动化抛光设备一般是针对特定工艺特定工件而设计的非标设备,可以进行高效率的抛光打磨工作,常见的设备便是工业机器人。物通博联工业智能网关可以采集各类打磨抛光设备、工业机器人内的控制器PLC数据,将各
2023-04-14 10:21:59338

超精密抛光技术,不简单!

很早以前看过这样一个报道:德国、日本等国家的科学家耗时5年时间,花了近千万元打造了一个高纯度的硅-28材料制成的圆球,这个1kg纯硅球要求超精密加工研磨抛光、精密测量(球面度、粗糙度和质量),可谓
2023-04-13 14:24:341685

CMP0603AFX-3300ELF

CMP0603AFX-3300ELF
2023-04-06 23:30:58

CMP1206-FX-5100ELF

CMP1206-FX-5100ELF
2023-04-06 23:30:40

CMP0603-FX-1004ELF

CMP0603-FX-1004ELF
2023-04-06 23:29:30

湿清洗过程中硅晶片表面颗粒去除

在整个晶圆加工过程中,仔细维护清洁的晶圆表面对于在半导体器件制造中获得高产量至关重要。因此,湿式化学清洗以去除晶片表面的污染物是任何LSI制造序列中应用最重复的处理步骤。
2023-03-30 10:00:091940

PCB加工的蚀刻工艺

印刷线路板从光板到显出线路图形的过程是一个比较复杂的物理和化学反应的过程,本文就对其最后的一步--蚀刻进行解析。目前,印刷电路板(PCB)加工的典型工艺采用"图形电镀法"。即先在
2023-03-29 10:04:07886

锂离子电池负极衰减机理研究进展

。 因此,关于负极衰减机理研究的多是关于石墨材料的衰减机理。 电池容量的衰减包括存储及使用时的衰减,存储时的衰减通常与电化学性能参数变化(阻抗等)有关,使用时除电化学性能变化外, 还伴随有结构等机械应力的变化、析锂等现象。
2023-03-27 10:40:52538

被卡脖子的半导体材料(万字深度报告)

根据SEMI数据,2020年全球晶圆制造材料中,硅片占比最高,为35%;电子气体排名第2,占比13%;掩膜版排名第3,占比12%,光刻胶占比6%;光刻胶配套材料占比8% ;湿电子化学品占比7%;CMP抛光材料占比6%;靶材占比2%。
2023-03-25 09:30:544119

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