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电子发烧友网>今日头条>湿蚀刻在硅片晶薄中的作用

湿蚀刻在硅片晶薄中的作用

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jf_99080906发布于 2023-05-29 14:53:05

硅在氢氧化钠和四甲基氢氧化铵中的温度依赖性蚀刻

过去利用碱氢氧化物水溶液研究了硅的取向依赖蚀刻,这是制造硅中微结构的一种非常有用的技术。以10M氢氧化钾(KOH)为蚀刻剂,研究了单晶硅球和晶片的各向异性蚀刻过程,测量了沿多个矢量方向的蚀刻速率,用单晶球发现了最慢的蚀刻面。英思特利用这些数据,提出了一种预测不同方向表面的倾角的方法
2023-05-29 09:42:40618

湿式化学蚀刻法制备硅片微孔

微孔利用光和物质的相互作用来获得独特的性质,特别是,当用紫外光、可见光或近红外光在其表面等离子体极化频率附近照射时,金属微孔结构表现出强烈的共振。然而,用于制造微孔的技术是耗时的,并且需要昂贵的设备和专业人员。因此,英思特开发了一种通过湿化学蚀刻硅衬底来制造微孔的方法。
2023-05-25 13:47:51846

片晶圆可以产出多少芯片?

芯片的制造过程可以分为前道工艺和后道工艺。前道是指晶圆制造厂的加工过程,在空白的硅片完成电路加工,出厂后依然是完整的圆形硅片。后道是指封装和测试过程,在封测厂中将圆形的硅片切割成单独的晶粒,完成外壳的封装,最后完成终端测试,出厂为芯片成品。
2023-05-23 15:11:384808

如何在蚀刻工艺中实施控制?

蚀刻可能是湿制程阶段最复杂的工艺,因为有很多因素会影响蚀刻速率。如果不保持这些因素的稳定,蚀刻率就会变化,因而影响产品质量。如果希望利用一种自动化方法来维护蚀刻化学,以下是你需要理解的基本概念。
2023-05-19 10:27:31575

PCB常见的五种蚀刻方式

一般适用于多层印制板的外层电路图形的制作或微波印制板阴板法直接蚀刻图形的制作抗蚀刻 图形电镀之金属抗蚀层如镀覆金、镍、锡铅合金
2023-05-18 16:23:484918

芯片制造为什么用单晶硅片做衬底呢?

硅片是一种薄而平整的硅材料,通常以6英寸、8英寸、12英寸等规格制造而成。
2023-05-18 10:33:472135

高速硅湿式各向异性蚀刻技术在批量微加工中的应用

蚀刻是微结构制造中采用的主要工艺之一。它分为两类:湿法蚀刻和干法蚀刻,湿法蚀刻进一步细分为两部分,即各向异性和各向同性蚀刻。硅湿法各向异性蚀刻广泛用于制造微机电系统(MEMS)的硅体微加工和太阳能电池应用的表面纹理化。
2023-05-18 09:13:12700

硅晶片的酸基蚀刻:传质和动力学效应

抛光硅晶片是通过各种机械和化学工艺制备的。首先,硅单晶锭被切成圆盘(晶片),然后是一个称为拍打的扁平过程,包括使用磨料清洗晶片。通过蚀刻消除了以往成形过程中引起的机械损伤,蚀刻之后是各种单元操作,如抛光和清洗之前,它已经准备好为设备制造。
2023-05-16 10:03:00584

硅片表面染色对铜辅助化学蚀刻的影响

在硅基光伏产业链中,硅晶片的制造是最基本的步骤。金刚石切片是主要的硅片切片技术,采用高速线性摩擦将硅切割成薄片。在硅片切片过程中,由于金刚石线和硅片的反复摩擦,硅片表面发生了大量的脆性损伤和塑性损伤。
2023-05-15 10:49:38489

光伏硅片厚度、TTV、线痕和翘曲在线检测案例

硅片切割作为硅片加工工艺过程中最关键的工艺点, 其加工质量直接影响整个生产全局及后续电池片工艺制备。 图1-硅片切割示意图 图2-硅片样品图 目前各类硅片平均厚度为 75μm~140
2023-05-11 18:58:02864

马达电路的电容和电感的作用是什么?

大家好,请问这个电路,C7,C8的作用是什么,C6的作用又是什么?L1,L2的作用是什么?大佬普及一下,多谢。
2023-05-01 20:51:14

光管的电容为什么起到断路的作用

光管的电容为什么起到断路的作用?电容不是通交阻直的吗?
2023-04-21 16:44:37

光子晶体用硅中圆柱形纳米孔的深反应离子蚀刻

反应离子蚀刻 (RIE)是一种干法蚀刻工艺,与半导体工业中使用的互补金属氧化物半导体(CMOS)方法兼容。
2023-04-14 14:26:161253

干法蚀刻与湿法蚀刻-差异和应用

干法蚀刻与湿法蚀刻之间的争论是微电子制造商在项目开始时必须解决的首要问题之一。必须考虑许多因素来决定应在晶圆上使用哪种类型的蚀刻剂来制作电子芯片,是液体(湿法蚀刻)还是气体(干法蚀刻
2023-04-12 14:54:331004

纽迪瑞首次公开发布NMP系列MEMS数字气压传感器

NMP系列数字气压传感器,基于MEMS技术,通过蚀刻在硅片上的高精密半导体电阻组成惠斯通电桥以作为机电变换测量电路,可用于微小压力检测。
2023-04-11 15:02:32411

PCB干膜和湿膜具体指什么?两者之间的区别在哪里?

PCB干膜和湿膜具体指什么?两者之间的区别在哪里?与正片和负片有什么关系?
2023-04-06 15:58:39

PCB制作干膜和湿膜可能会带来哪些品质不良的问题?

PCB制作干膜和湿膜可能会带来哪些品质不良的问题?以及问题如何解决呢?
2023-04-06 15:51:01

氮化铝单晶的湿法化学蚀刻

清洗过程在半导体制造过程中,在技术上和经济上都起着重要的作用。超薄晶片表面必须实现无颗粒、无金属杂质、无有机、无水分、无天然氧化物、无表面微粗糙度、无充电、无氢。硅片表面的主要容器可分为颗粒、金属杂质和有机物三类。
2023-03-31 10:56:19314

低温蚀刻重新出现_

经过多年的研发,随着该行业在内存和逻辑方面面临新的挑战,一种称为低温蚀刻的技术正在重新出现,成为一种可能的生产选择。
2023-03-29 10:14:41392

PCB加工的蚀刻工艺

印刷线路板从光板到显出线路图形的过程是一个比较复杂的物理和化学反应的过程,本文就对其最后的一步--蚀刻进行解析。目前,印刷电路板(PCB)加工的典型工艺采用"图形电镀法"。即先在
2023-03-29 10:04:07886

新技术使蚀刻半导体更容易

研究表明,半导体的物理特性会根据其结构而变化,因此半导体晶圆在组装成芯片之前被蚀刻成可调整其电气和光学特性以及连接性的结构。
2023-03-28 09:58:34251

调温调湿箱的特点介绍

调温调湿箱全名“恒温恒湿试验箱”是航空、汽车、家电、科研等领域必备的测试设备,用于测试和确定电工、电子及其他产品及材料进行高温、低温、湿热度或恒定试验的温度环境变化后的参数及性能,它主要用于根据试验
2023-03-28 09:02:36

使用 ClF 3 H 2远程等离子体在氧化硅上选择性蚀刻氮化硅

在湿蚀刻的情况下,随着SiNx/SiOy层的厚度减小,剩余的SiOy层由于表面张力而坍塌,蚀刻溶液对孔的渗透变得更具挑战性。
2023-03-27 10:17:49402

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