光刻机经历了5代产品发展,每次改进和创新都显著提升了光刻机所能实现的最小工艺节点。按照使用光源依次从g-line、i-line发展到KrF、ArF和EUV;按照工作原理依次从接触接近式光刻机发展到浸没步进式投影光刻机和极紫外式光刻机。
2024-03-21 11:31:4143 在曝光过程中,掩模版与涂覆有光刻胶的硅片直接接触。接触式光刻机的缩放比为1:1,分辨率可达到4-5微米。由于掩模和光刻胶膜层反复接触和分离,随着曝光次数的增加,会引起掩模版和光刻胶膜层损坏、芯片良率下降等不良后果。
2024-03-08 10:42:3788 利用光刻机发出的光通过具有图形的光罩对涂有光刻胶的薄片曝光,光刻胶见光后会发生性质变化,从而使光罩上得图形复印到薄片上,从而使薄片具有电子线路图的作用。
2024-03-06 14:28:5062 ASML在半导体产业中扮演着举足轻重的角色,其光刻机技术和市场地位对于全球半导体制造厂商来说都具有重要意义。
2024-03-05 11:26:00123 光刻胶是一种涂覆在半导体器件表面的特殊液体材料,可以通过光刻机上的模板或掩模来进行曝光。
2024-03-04 17:19:18400 热化技术是指采用某种手段,对光学系统的温度效应进行补偿,保持像面不发生位移或者产生的位移很小。目前所采用的光学系统的无热化技术可分为三个大类。机械被动式无热化技术
2024-02-21 12:36:53254 热电偶测温仪的出现可以追溯到19世纪初,当时科学家发现了热电效应。随后,科学家们开始利用热电效应来测量温度,热电偶测温仪便应运而生。
2024-01-29 14:02:33135 任何一种光学仪器的用途和使用条件必然会对它的光学系统提出一定的要求,因此,在我们进行光学设计之前一定要了解对光学系统的要求。
2024-01-23 13:46:02167 在追求高精度测量的时代,光学系统的像差校正显得至关重要。通过理论分析、基于奇异值分解的像差校正和暗场数字全息显微术的实验研究,本文深入探讨了如何提高半导体测量的精度和效率。
2024-01-20 10:53:29584 一系列环节如制造、封装、测试等。 在这其中,制造过程显得尤为关键,而高端光刻机则是制造过程中不可或缺的设备。 光刻机在微电子制造过程中扮演核心角色,其要求具备高度精密的光学系统、复杂的机械结构和先进的控制技术。
2024-01-17 17:56:59292 光学系统的 MTF 与分辨率之间的联系与区别。
2024-01-16 10:11:27322 来源:半导体芯科技编译 投资半导体设备行业新的生产设备 Jenoptik公司计划投资数亿欧元,为目前在德累斯顿建设的高科技工厂建造最先进的系统。新型电子束光刻系统(E-Beam)将用于为半导体
2024-01-15 17:33:16176 杂光,是指光学系统中除了正常光路以外的所有非成像光能。
2024-01-09 09:34:56414 高精度微型加工中心是一种先进的加工设备,主要用于加工微型、精密和高硬度的零件。它具有高精度、高效率和高可靠性的特点,可实现自动化、智能化和柔性化的生产。广泛应用于航空航天、光学、生物医学、半导体、通用机械加工等领域。
2024-01-09 09:24:26129 真空设备温度测试及腔室内高精度测温解决方案在高科技制造领域,如半导体、光电子、航天航空等行业,对于真空设备温度测试和腔室内温度的精准测量十分重要。如何确保真空腔内温度的准确性和稳定性,成为了许多企业
2024-01-08 16:31:15
高灵敏度的红外探测系统对于远距离探测有巨大的潜力,但光学系统内部的噪声会抑制探测系统的信噪比,从而降低探测灵敏度与探测距离。
2024-01-08 09:40:34139 光学设计软件是用于模拟、分析和优化光学系统的工具。它们提供了从基本的光学元件设计到复杂的系统模拟的功能。在光学工程师和设计师进行光学系统设计时,这些软件是不可或缺的工具。下面将介绍一些常用的光学
2024-01-05 14:55:081358 中图仪器Mars系列高精度三坐标测量机是移动桥式的三坐标测量机。这种结构特点是开敞性好,视野开阔,上下零件方便,运动速度快,精度高。配备高精度的导轨、测头和控制系统,并结合计算机程序来自动控制检测
2024-01-03 09:57:49
球面,大大降低了系统复杂化程度和加工制造成本。利用光学设计软件Zemax对其进行光学系统设计,选取1/3英寸CCD作为探测器,在奈奎斯特频率120 lp/mm时,其各个视场的子午调制传递函数曲线和弧矢调制
2023-12-26 10:04:56227 TC-Wafer是将高精度温度传感器镶嵌在晶圆表面,对晶圆表面的温度进行实时测量。通过晶圆的测温点了解特定位置晶圆的真实温度,以及晶圆整体的温度分布,同还可以监控半导体设备控温过程中晶圆发生的温度
2023-12-21 08:58:53
光刻与光刻机
➢对准和曝光在光刻机(Lithography Tool)内进行。
➢其它工艺在涂胶显影机(Track)上进行。
光刻机结构及工作原理
➢光刻机简介
➢光刻机结构及工作原理
2023-12-19 09:28:00245 到硅片上。光刻机主要由光源、凸透镜、光刻胶和控制系统等组成,其中光源发出紫外线或可见光,凸透镜将光线聚焦到光刻胶上,而控制系统则控制光刻胶的曝光时间和光线的强度等参数。 光刻机的工作原理是基于光学投影技术的。它利用光学系统将电路设计的图案
2023-12-18 08:42:12278 Fluke 561 红外线与接触式测温仪的主要特性红外线测温仪不仅能够近处测量,还能远距离测量,根本不用使用梯子。接触式测温功能兼容所有标准的小型连接器K型热电偶,您完全不需要再单独为其购置热电偶
2023-12-13 16:05:52
Fluke 59 手持式红外测温仪,精准测温,可望可及。Fluke 59 手持式红外测温仪是协助电气工程师进行日常电气维护和调试安装工作的利器。它提供了一个快速准确的检测物体表面温度的方便快捷的方法
2023-12-08 14:30:01
Fluke ST20 MAX 红外测温仪是一款进行快速、准确地温度测量的专业诊断工具仪器。专业人员可利用该手持式便携工具进行研究供暖和通风问题、监控电力马达和配电盘的状态,并可以轻松地诊断汽车故障
2023-12-05 15:28:40
镜头分辨率在光学系统中的核心作用
2023-12-04 10:12:440 自适应光学(AO)是一种通过使用反馈来调整光学系统以实时校正相位像差的技术。偏振像差是一种可能影响光学系统性能的重要因素之一。例如应力光学元件、菲涅耳效应和材料或生物组织中的偏振效应等各种因素都可能导致偏振像差。这些像差会影响系统分辨率和矢量信息的准确性。
2023-11-29 10:38:43251 该专利摘要显示,本发明提供了一种投影物镜光学系统及光刻机,所述投影物镜光学系统沿其光轴方向从物面到像面依次包括:第一透镜组、第二透镜组、光阑、第三透镜组与第四透镜组。其中所述第三透镜组与所述第二透镜组关于所述光阑对称,所述第四透镜组与所述第一透镜组关于所述光阑对称
2023-11-29 09:57:13262 对于光学系统的杂光抑制能力,我们可采用点源透过率(PST)指标来评价。PST值越小,则光学系统的杂光抑制能力就越强,系统性能也越好。PST定义为:光学系统视场外的视场角为θ的点源目标辐射,经过
2023-11-07 10:25:51312 联讯仪器WAT 半导体参数测试系统基于自主研发pA/亚pA高精度源表,半导体矩阵开关,高电压半导体脉冲源,3500V高压源表等基础仪表,掌握核心技术,通过优化整机软硬件设计,进一步提高系统精度,提升
2023-11-06 16:27:57467 摘要 :针对板条激光器出射光束的尺寸控制问题,设计了一个在X方向扩束倍率为14 ~ 20x,Y方向扩束倍率为1.25 ~ 1.55x的二维连续变焦扩束光学系统。通过对三组元变焦系统的分析,在理
2023-10-30 09:42:17514 电子发烧友网站提供《红外线测温仪自校准误差比对方法的研究.pdf》资料免费下载
2023-10-24 14:11:570 电子发烧友网站提供《DS1820在高精度测温仪中的应用.pdf》资料免费下载
2023-10-19 11:42:450 晶圆测温系统,tc wafer半导体晶圆测温热电偶 晶圆测温系统,也就是tc wafer半导体晶圆测温热电偶,是一种高精度的温度测量设备。它采用了先进的测温技术,能够准确地测量晶圆表面的温度。这个
2023-10-11 16:09:41402 一、红外线测温仪的特点 1、非接触测量 在测量过程中不需要接触到被测量物体的表面和内部,不会干扰被测量物体的温度。 2、测量范围广 在正常工作和测温仪允许的条件下,测温仪的可测量范围一般可以从负几十
2023-10-11 10:50:111051 热电阻测温仪检测电路设计与制作以及proteus仿真
2023-10-08 14:41:180 在大多数情况下,相对于可见光而言,红外目标为低对比度的弱目标;红外光学零件的剩余反射率也比可见光大的多,因此红外光学系统的自身抗干扰能力很低,红外系统对温度分辨率的要求越来越高,通常都要求对0.1
2023-09-26 09:20:27701 及应用,设计了Modline3型红外测温仪的温度采集系统,包括硬件连接和软件采集,并通过RS-232串口总线对虚拟端口进行连接。
2023-09-26 07:29:40
本设计采用AT89C51F410单片机为测温系统的控制核心,实现了Pt100,Cu100,Cu50三种热敏电阻选择性的测温要求。其测温误差不大于0.5℃。采用LCM128645ZK作为显示器件来显示
2023-09-26 06:34:48
本文档的主要内容详细介绍的是使用51单片机设计的红外测温仪电路图免费下载。
2023-09-26 06:02:18
对外部环境的适应能力是航天器上的光学系统有别于其他光学系统的重要标志,它们所承受的温度、压力及太阳辐射与地面相差很大,而任何附加的控制手段都意味着成本的上升和可靠性的下降。
2023-09-25 09:56:47263 ,广泛应用于各种类型PCB、FPC、铝基板、金属屏蔽罩等不同的材料表面打标的一款设备,具有高品质、高良率、高稳定性、无生产耗材等特点。设备特点:光学系统 &n
2023-09-23 10:16:45
Mars系列高精度三坐标检测机配备高精度的导轨、测头和控制系统,并结合计算机程序来自动控制检测流程,从而计算输出测量结果,支持测头更换架以及影像相机,同时支持精密转台等,能够对各种零件和部件的尺寸
2023-09-14 15:55:37
在芯片制造过程中,光刻机用于在硅片上形成光刻胶图形,作为制造电路的模板。光刻机使用紫外光或其他光源照射硅片上的光刻胶,并通过投影光学系统将图形投射到硅片上,以形成所需的微小结构和图案。
2023-09-12 14:34:372325 摘要: 针对多模制导中长焦距红外光学系统结构紧凑及宽温度范围热稳定性的要求,设计了一种中波红外折反光学系统。该系统根据其它模式制导的要求,采用固定焦距和口径的主镜,通过二次成像,在保持长焦距的同时
2023-09-11 10:07:52305 针对自由曲面能提升成像光学系统的性能和校正像差的特点,分析了自由曲面在离轴光学系统中的应用优势。光学系统选用视场角为30°×11°、焦距为150 mm、F数为3的Cook-TMA
2023-09-10 09:06:32602 红外光学系统的基本功能是接收和聚集目标所发出的红外辐射并传递到探测器产生电信号。红外光学系统与普通(可见光)系统设计区别主要在应用的光学材料上。
2023-09-07 10:13:24478 LightTools是一个全新的具有光学精度的交互式三维实体建模软件体系,提供最现代化的手段直接描述光学系统中的光源、透镜、反射镜、分束器、衍射光学元件、棱镜、扫描转鼓、机械结构以及光路。由于
2023-09-04 10:09:141134 摘要:变形光学系统具有双平面对称性,其在两个对称面内的焦距不同。利用变形光学系统能够在使用常规尺寸传感器的情况下获得更宽的视场。本文根据变形光学系统的一阶像差特性,提出了一种设计折反式变形光学系统
2023-08-30 06:29:52291 高精度半导体芯片推拉力测试仪免费测样品半导体芯片测试是半导体制造过程中非常重要的一环。芯片测试流程:芯片测试一般分为两个阶段,一个是CP(Chip Probing)测试,也就是晶圆(Wafer)测试
2023-08-22 17:54:57
TCWafer电热偶温度传感器晶圆测温仪器填充粘接胶应用方案由汉思新材料提供案例需求:TCWafer电热偶测温仪器填充粘接胶客户产品:TCWafer电热偶温度传感器晶圆测温仪器(TCWafer是温度
2023-08-22 13:49:14488 XKCON祥控LORA型插入式测温仪XKCON-MT-W-500采用进口温度传感器芯片,具有精度高、反应快、抗干扰能力强等性能优势,其测温范围为-55℃~125℃,测温精度为±1℃,分辨率为0.1℃。
2023-08-21 17:26:24697 光学系统多用于对物体成像。未经严格设计的光学系统只有在近轴区才能成完善像。由于在近轴区成像的范围和光束宽度均趋于无限小,因此没有很大的实用意义。
2023-08-19 14:30:20630 头戴显示器是一种佩戴在头上的 ,类似于眼镜的一种小型显示装置,其光学系统可以将微型显示装置输出的图像经过处理进行放大并成像在佩戴者人眼上,它的主要组成是:微型图像源,光学元件和结构固定件。它是VR
2023-08-19 11:26:09542 精密机械与物理研究所开发了小时矿场euv暴露光学系统,报告显示由双面反光镜组成的投影物镜波谱差rms优于0.75纳米。
2023-08-18 09:32:491018 济南祥控自动化研制的XKCON祥控红外测温仪由光学系统、光电探测器、信号放大器及信号处理等主要部分组成;通过测量目标发射的红外辐射强度计算出物体的表面温度,其能够24小时连续进行温度监测,甚至可以在高温等恶劣的环境下工作。
2023-08-08 14:50:13569 在半导体行业中,直线电机模组以其高速度、高精度的特点,杯应用于光刻机、IC 成膜机、IC 塑封机等多种不同加工设备中,而且单台设备往往须要几台直线电机。
2023-08-04 12:56:23286 测温仪(thermometric indicator),是温度计的一种,用红外线传输数字的原理来感应物体表面温度,操作比较方便,特别是高温物体的测量。
2023-08-04 09:26:19342 摘要 :变形光学系统具有双平面对称性,其在两个对称面内的焦距不同。利用变形光学系统能够在使用常规尺寸传感器的情况下获得更宽的视场。本文根据变形光学系统的一阶像差特性,提出了一种设计折反式变形光学系统
2023-07-31 15:15:38508 被测光学系统放置在已知焦距为f0的平行光管的物镜前,平行光管物镜焦平面上放置玻罗板(一组已知刻线间隔的精密分划板)。在被测光学系统焦面上用显微镜瞄准玻罗板的像,设玻罗板某一对线宽为d,在被测光学系统的焦面上所成像的线宽为d`,则被测系统的焦距为f。
2023-07-28 15:02:232083 。照明系统是光刻机的重要组成部分,其主要作用是提供高均匀性照明、控制曝光剂量和实现离轴照明,以提高光刻分辨率和增大焦深。论文以深紫外光刻照明系统光学设计为研究方向,对照明系统关键单元进行了光学设计与仿真研究。
2023-07-17 11:02:38592 光刻机。然而在庞大的光刻机中,由于包含了生成光、投射光的过程,同时又要精细控制光线,自然也就需要一套复杂无比的光学系统。 EUV 光学系统唯一指定供应商——蔡司 提到蔡司这个名号大家都不陌生了,小到眼镜镜片,大到医学显
2023-07-14 09:09:031690 GK-1000光刻掩膜版测温仪,光刻机曝光光学系统测温仪光刻机是一种用于微纳米加工的设备,主要用于制造集成电路、光电子器件、MEMS(微机电系统)等微细结构。光刻机是一种光学投影技术,通过将光线通过
2023-07-07 11:46:07
光学BGA返修台的高精度焊接,首先要求设备具备较高的精度,这包括夹具的精度、振动抑制系统、焊锡系统等,这些配件可以保证焊接的精度和可靠性。 2. 焊接头设计 返修台焊接头的设计也是重要的,焊接头的形状要符合焊接的结构,可以更好的对BG
2023-07-05 11:39:05305 光刻机的制造是一项复杂而精密的工艺,需要高度专业化的技术和设备。它涉及到许多关键的工艺步骤和组件,如光学系统、曝光光源、掩模制作等。
2023-07-04 17:48:2813485 摘要 :讨论了衍射光学元件的特殊成像性质;提出了带宽积分平均衍射效率的概念和应用;给出了作者在国内外完成的几个折衍射混合成像光学系统的应用实例,包括一个用衍射光学元件复消色差的长焦距光学系统
2023-07-02 09:59:19441 质量进行准确评价也显得尤为重要。 MTF(调制传递函数)是一个准确、客观并且定量的像质评价指标,被公认为当前光学系统像质评价方法中最有效、最全面的方法。本文针对现阶段实验室开发的工业用光学检查镜头的检测系统中存在的缺陷,
2023-06-30 10:54:42959 法国ALPAO 高速自适应光学系统产品介绍:法国ALPAO Shack-Hartmann (SH)波前传感器(WFS)是专为自适应光学(AO)设计的波前传感器系列。它们具有优异的性能,适合各种自适应
2023-06-29 14:19:07
俄罗斯Active Optics NightN Ltd公司自适应光学系统  
2023-06-29 14:05:08
法国ISP system公司HIPAO系列高功率主动光学系统  
2023-06-29 13:57:40
电子发烧友网报道(文/周凯扬)在上游的半导体制造产业中,除了光刻机等设备外,光刻胶、掩膜版等材料也是决定晶圆质量与良率的关键因素。就拿掩膜版来说,这个承载设计图形的材料,经过曝光后将图形信息转移到
2023-06-22 01:27:001984 济南祥控自动化研制的XKCON祥控测温探杆,采用探杆直接插入式测温方式和LORA无线通讯方式,又被称为LORA型插入式测温仪,适合在酒厂酒曲发酵池中进行多点位、不同深度的酒曲温度采集和长期监测。
2023-06-21 15:32:05333 实际光学系统的成像是不完善的,光线经光学系统各表面传输会形成多种像差,使成像产生模糊、变形等缺陷。像差就是光学系统成像不完善程度的描述。光学系统设计的一项重要工作就是要校正这些像差,使成像质量达到技术要求。光学系统的像差可以用几何像差来描述。
2023-06-19 12:45:40228 设计完成的MUST光学系统如图2所示,其中主镜采用6.5m直径的蜂窝状轻质单镜;副镜采用2.4m直径的凸双曲面镜,与凹双曲面主镜组合,构成基本的里奇-克莱琴望远镜光学系统。
2023-06-15 10:03:11177 任何一种光学仪器的用途和使用条件必然会对它的光学系统提出一定的要求,因此,在我们进行光学设计之前一定要了解对光学系统的要求。这些要求概括起来有以下几个方面。 一、光学系统的基本特性 光学系统
2023-06-14 10:17:441004 所谓光学系统设计就是根据使用条件,来决定满足使用要求的各种数据,即决定光学系统的性能参数、外形尺寸和各光组的结构等。因此我们可以把光学设计过程分为4 个阶段:外形尺寸计算、初始结构计算、象差校正和平衡以及象质评价。
2023-06-14 10:15:23280 引言 实际光学系统的成像是不完善的,光线经光学系统各表面传输会形成多种像差,使成像产生模糊、变形等缺陷。像差就是光学系统成像不完善程度的描述。光学系统设计的一项重要工作就是要校正这些像差,使成像
2023-06-13 09:41:01568 摘要 :大多数光学系统都是由若干单透镜和双胶合透镜组成的,单透镜可以看成是双胶合透镜的特殊情况。 更换玻璃材料是光学系统设计中最主要、最常用、最有效的设计方法之一。 运用PW法来更换光学系统中的玻璃
2023-06-12 09:42:33467 摘要 :杂散光是光学系统中所有非正常传输光的总称,杂散光对光学系统性能的影响因系统不同而变化。 因此,在现代光学设计中,杂散光分析成为光学设计工作中的一个重要环节。 杂散光产生的原因比较复杂,讨论
2023-06-12 09:40:14586 在光学成像末制导系统中,制冷红外光学系统具有成像质量好、探测精度高、抗干扰能力强和可全天时工作等突出优点。但由于弹载环境极端恶劣,需确保光学系统在110℃宽温范围、高冲击过载的环境下正常工作,因此
2023-06-06 14:39:08527 煤炭自燃不仅降低煤炭质量,还会造成火灾,并产生大量的烟雾烟尘,形成二氧化硫、氮氧化物、烃类等有害气体,将对企业和环境造成严重的破坏和影响。通过使用煤堆测温仪对煤场煤堆内部进行温度监测,可及时了解煤堆
2023-06-02 09:40:35614 颜色是许多光学系统的重要考虑因素。对于通常为琥珀色或黄色的机动车辆转向信号灯/方向指示灯,透射到远场光分布中的光的颜色受到严格管制。此外,灯的亮起和不亮的外观通常会影响整个车辆的感知效果。您可
2023-05-24 15:10:25312 在设计汽车光学系统时,尽可能精确地了解将在车辆内部和外部使用的材料的光学特性非常重要。这将为您提供准确的数据来模拟和评估光学系统以及它们如何与材料相互作用。您将能够更快地创建准确的原型,并对仿真结果充满信心。
2023-05-24 14:52:21597 济南祥控研制的祥控红外测温仪 由传感器、光学系统与电子线路组成并共同集成在金属壳体内,它对波长在8μm-14μm的红外辐射能量,温度在0~500℃之间的物体
2023-05-23 17:38:34
或炉内的目标温度、测量硅片等透长波红外的基材温度,以及需要快速响应的应用场景。很多应用只需针对温度均匀的目标,无需进行热成像。 为此,巨哥科技推出PS300红外测温仪。PS300红外测温仪采用单点式非接触测温,响应波段覆盖
2023-05-22 17:20:30485 实际上,许多光学系统是把空间的物点成像在一个像平面上,称为平面上的空间像,如望远物镜、照相物镜等属于这一类。 空间中的物点分布在距离光学系统的入射光瞳不同的距离上,这些点的成像原则与平面物体的成像相同。
2023-05-22 10:11:47938 济南祥控自动化研制的XKCON祥控红外测温仪由传感器、光学系统与电子线路共同集成在金属壳体内,属一体化集成式红外测温仪,它通过采集物体发射的红外线通过计算对煤堆温度进行非接触温度监测,常被应用于煤场环境监控系统或明火煤监控系统中,是企业预防煤堆自燃的重要措施。
2023-05-10 15:39:09353 光学系统结构的选择与该系统的应用场景密切相关,在机器视觉领域中,短波红外波段的成像系统往往具有大视场、小畸变和成像质量稳定的特点。合理地选择光学系统结构能够降低设计的复杂度。
2023-05-08 17:47:451045 变焦系统大体上可分为光学补偿和机械补偿两大类。由于光学补偿只能做低变倍比、小相对孔径的变焦距系统,而且焦距仅是几个离散值,因而在使用中受到很多限制。
2023-05-06 10:24:13408 一、产品概述 济南祥控自动化设备有限公司生产的插入式测温仪,又被称为无线测温探杆或插杆式温度检测仪,它采用LORA无线传输方式(传输距离远、功耗低、组网灵活
2023-04-26 17:47:16
光学仪器设计和单纯光学设计有很大的不同,单靠几何光学和物理光学不能完全解决它所遇到的问题。它的本质是充分利用光源、光学媒质、光能接收器和几何光学、物理光学的可能性来满足特定的使用要求。
2023-04-21 12:33:38384 光刻机是半导体工业中非常重要的设备,用于在半导体芯片制造过程中将芯片图形化。由于光刻机的精度和性能要求非常高,其制造难度也相对较大,目前市场上仅有少数几家公司能够生产出顶级光刻机。那么,中国能否造出顶级光刻机呢?
2023-04-07 13:35:244597 杂散光指的是非设计需要的光线通过光学系统后到达像面,是对光学系统中非正常传输光的概括 ,最终在像面形成不同类型的伪像。
2023-04-04 12:45:06599 粮堆是由粮食颗粒堆聚而成的群体,粮堆受空气温度、表面积和高度等因素,其内部会出现较大的温差,而常规的温度检测仪不能精确测量粮堆的温度变化,因此,插入式测温仪就成为粮堆测温的主要测温设备。
2023-03-29 14:25:45404 手持式测温仪 -30~+500℃ ±1.8℃/±2.8℃
2023-03-28 12:56:04
光刻是将设计好的电路图从掩膜版转印到晶圆表面的光刻胶上,通过曝光、显影将目标图形印刻到特定材料上的技术。光刻工艺包括三个核心流程:涂胶、对准和曝光以及光刻胶显影,整个过程涉及光刻机,涂胶显影机、量测设备以及清洗设备等多种核心设备,其中价值量最大且技术壁垒最高的部分就是光刻机。
2023-03-25 09:32:394952 GTC 2023 NVIDIA将加速计算引入半导体光刻 计算光刻技术提速40倍 NVIDIA cuLitho的计算光刻库可以将计算光刻技术提速40倍。这对于半导体制造而言极大的提升了效率。甚至可以说
2023-03-23 18:55:377489
评论
查看更多