超低噪声测量利器，cascade 探针台CM300xi-ULN

 

FormFactor的新型CM300xi-ULN（超低噪声）是一种革命性的300毫米晶圆探测系统，设计用于高精度闪烁噪声（1 / f），随机电报信号噪声（RTN或RTS）以及超灵敏设备的相位噪声测量。

借助获得专利的PureLine™3技术，ULN探测系统可将噪声降低多达32倍（1 kHz），从而在针对5G及更高应用的7/5/2 nm技术节点上改善了器件特性和建模。相较以往的探针台系统，通过消除97%以上的环境噪声，CM300xi-ULN系统创立了新的超低噪声测试的行业黄金标准。

当与噪声测量仪表（1/f, RTN, 相位噪声）集成时，CM300xi-ULN通过Contact IntelligenceTM和电动针座搭配使用，可提供业界最高效率的自动DC测量，以及采用多DUT并行的低频噪声测量，完全实现7X24作业。

最后，CM300xi-ULN降低了低噪声TestCell优化的复杂性。只需将其插入即可。 TestCell电源管理消除了所有由接地环路引起的TestCell噪声，并为整个系统，探测器和仪器提供了经过全面管理和滤波的交流电源。

此外，FormFactor特有的环境检测和系统验证功能可显著降低系统架设和工具开发的成本。帮助实验室工程师专注于获得良好的测量数据，减少昂贵的重新设计次数，从而以较低的开发成本加快产品上市时间。

*典型噪声（dBVrms/√Hz, 1kHz to 1MHz），机台和温控系统开启状态

应用范围：闪烁噪声（1 / f），随机电报噪声（RTN）和超灵敏设备的相位噪声测量

该探针台支持Contact Intelligence™，这是一种创新技术，能够检测环境变化并作出反应，以优化探针接触准确度，从而实现自主型半导体测试。FormFactor 的 Contact Intelligence 结合了智能硬件设计、创新软件算法和多年的经验，旨在创立一种可在广泛应用中提供优势的技术，即使在测量小Pad时也不例外。Contact Intelligence 可加快获得准确测量数据的时间，在某些场合中能将测试时间从数月锐减到短短几分钟。

审核编辑 黄昊宇