新型振动传感器助力智能制造

基于对MEMS传感器以及模拟电路设计经验的积累，于近两年发布了一系列超低噪声的振动传感器。它们可以用来替代传统的压电传感器，可以说是列划时代的产品，使得智能制造成为可能。

“能和人对话，目前专注的领域是振动分析，当然，一般振动分析会结合温度检测应用。通过振动分析，可以保证机器的安全性，做预维护，量产保证以及质量监控。”

与传统的压电传感器相比，MEMS的振动传感器有非常多的优势，比如说MEMS可以低频甚至是直流信号，但压电的就不行，这是受其设计原理的限制。再就是耐冲击的能力;随着时间和温度变化，传感器的稳定性;整个测量范围内的线性度;刻度因子的平坦度；物理尺寸;传感器是否能自检等等。这些都是MEMS振动传感器的优点。还有最重要的一点就是价格，由于压电传感器需要手工制作，既无法保证一致性，又使得其成本很高，很难享受规模效应所带来的好处，但MEMS振动传感器是采用的标准半导体工艺，很容易利用规模效应来控制成本，使得其与压电传感器相比，有明显的价格优势。这样，才能让所有的机器说话，因为其成本是可接受的。

未来该类传感器的发展会是小型化，低功耗，低噪声，大带宽和高量程。而且在客户端会有越来越多的无 线解决方案来替代传统的有线方案。