Pentium 4 CPU的26道光刻掩膜工序 - 探访英特尔中外芯片晶圆厂：CPU是怎样炼成的？

　　整个工厂的无尘房间和机器数量是非常的可观的，因为制造一个CPU晶圆片的工艺过程是非常的复杂的。

　　一个Pentium 4 CPU要使用26道光刻掩膜（photolithographic mask）工序。每一个工序又需要很多的处理步骤，再加上搀杂以及金属镀层等，最后一个CPU制造工序就有上百道。

　 　在这里顺便给大家说一下，很多车间中需要使用紫外线照射，这是必不可少的，但是在无尘车间（clean room）中通常要使用白光，而我们刚介绍的无尘车间使用的是橙色光，这又与其他的无尘车间使用的不同，因为这里是晶圆加工的初步工序，而原因是 photoresist层对白光非常敏感。

　　安装“lot”晶圆盒子

　　工作人间不能直接的接触晶圆片，而是要放在一个叫“lot”的黑色方盒子中，每个盒子能放25张晶圆片。在Intel工厂中，lot采用的是铝材料做金属层，并且为黑色，晶圆片采用的铜做材料，为橙色。