中芯国际已将明导国际Calibre产品认证DFM签核参考平台

中芯国际已将明导国际Calibre产品认证DFM签核参考平台

前不久，明导国际宣布中芯国际已经将明导国际Calibre产品认证为其65nm和更小制程的可制造性设计（DFM）签核参考平台。参考流程涵盖了Calibre DFM所能提供的全部组件，包括：用于光刻检验的Calibre LFD产品；用于平面性（CMP）仿真的Calibre CMPAnalyzer产品；用于关键区域分析（CAA）和仿真的Calibre YieldAnalyzer产品；以及用于自动DFM布线改进的带有SmartFill的Calibre YieldEnhancer产品，其中包括了高度优化平面性填充。此外，中芯国际还将Calibre解决方案应用于DFM服务之中。

“我们正积极将DFM签核要求添加到65nm及以下的制程当中，使其成为各个级别的强制规定，包括全芯片、模块和IP，”中芯国际企业设计服务中心副总裁Max Liu说。“之所以选择Calibre，是因为我们发现它是完整、准确而可靠的DFM平台，这将保证中芯国际参考流程的有效性。例如，Calibre LFD是主要的光刻检验工具，它的精度足以达到我们对于65nm制程的要求。所以，我们在流程中使用的制程变动分析工具，包括电气分析，均采用Calibre LFD生成的轮廓图。同时，Calibre CMPAnalyzer使得中芯国际能够建立并修改我们的CMP模型，在DFM过程中给予我们更多的灵活性和控制力。另外，Calibre作为在业界广泛使用的完整流片后流程平台，使我们的客户能够轻易将经过Calibre验证的IP集成在他们的设计当中。”

“采用DFM已经成为晶圆代工和无晶圆设计公司同时面临的一项挑战，”明导国际副总裁，设计至芯片部总经理Joseph Sawicki说。“Calibre平台使得DFM成为我们的客户现有物理验证流程的无缝延伸，产品的采用变得更加容易，性能方面的优势得以显现，整个周期时间也得到了缩短。”