行业迎来MEMS器件热 细数ADI近年MEMS新品发布

电子发烧友网讯：近年来，随着消费电子领域的快速发展，MEMS器件正式进入了人们的视线。各大厂商这两年来纷纷推出众多的MEMS器件，MEMS涉及的产品领域极其丰富，大家所熟知的有MEMS加速度计、MEMS陀螺仪、MEMS麦克风、磁力计等。面对当前的MEMS器件热，电子发烧友网在这里先为大家整理了ADI近年来发布的MEMS器件新品来供大家认识与了解。

ADI MEMS加速度计新品系列

ADI首款MEMS加速度计ADXL350具最小与最大偏移敏感度

美商亚德诺（Analog Devices， Inc.， ADI）公司推出首款具有相对于完整温度範围最小/最大偏移敏感度的微机电系统（MEMS）加速度计 ADXL350 ，这款叁轴 MEMS 加速度计具有在X与Y轴上+/-0.31 mg/℃以及在Z轴上+/-0.49 mg/℃的最大偏移温度敏感度，能够保证在-40℃至+85℃的完整温度範围中可预期与可量化的性能。

目前市场上的MEMS加速度计通常只会设定相对于温度的偏移敏感度，并需要随温度进行校正以维持精确的感测器读数。ADXL 350相对于温度的最小/最大偏移敏感度规格，即使是在具有宽广温度範围的应用当中都能够保证提供已知而且可量化的偏移感测器量测。此外，ADXL 350具有低杂讯密度，能够让设计厂商以！ 低杂讯层从应用装置获得可以採信的量测结果。

ADXL 350提供具有13位元解析度的内建类比数位转换功能，最低可达2 mg /LSB，而且组态可以在+/-1g/2g/4g/8g 的範围设定。ADXL 350採用小巧佔位面积的3 mm x 4 mm x 1.2 mm、16隻接脚塑料腔层压封装。ADXL 350很适合使用于工业与国防工业当中的高性能应用，像是瓦斯/自来水计量表、环境监测器、以及军用通讯无线电等。

ADXL 350 MEMS 加速度计的主要特点包括：

相对于温度的最小/最大偏移敏感度为+/-0.31 mg/摄氏度 X/Y轴、+/-0.49 mg/摄氏度 Z轴，保证了在完整温度範围中可预期与可量化的性能。

以13位元的内建A/D转换器提供2 mg /LSB的解析度，实现了低于1.0°倾斜变化的量测功能。

低功率模式实现了以动作为基础的智慧型电源管理，并能够以极低的功率消耗执行临界感测与主动加速度量测。

ADI推出首款商用模拟三轴MEMS加速度计

ADI公司的ADXL377MEMS加速度计能够精确测量接触类运动及工业设备高冲击事件中的冲击力

Analog Devices， Inc. （NASDAQ： ADI）最近推出业界首款商用模拟三轴高g MEMS加速度计。ADXL377可测量±200 g满量程范围内且无信号饱和情况下由冲击和振动引起的高冲击事件的加速度。该测量范围与可连续捕捉冲击数据的模拟输出相结合，使ADXL377成为接触类运动的理想传感器，可通过检测冲击力来了解创伤性脑损伤（TBI）指标。ADXL377带宽为1600 Hz，也非常适合用于密切监控冲击水平的工业设备。ADI公司的新型三轴加速度计无需对准及放置正交传感器，可大大简化设计。电路板空间比需要多个单轴加速度计的典型解决方案缩小了多达5倍。

在其他应用中，ADXL377三轴高g MEMS加速度计可集成到IZOD 2012 INDYCAR系列车手冲击安全系统中。INDYCAR与ADI公司在ADXL377产品定义阶段开展了密切合作，由此产生的器件使得INDYCAR能够升级其通信耳机中的传感器，据INDYCAR工程总监Jeff Horton称，该耳机是用来测量练习赛、计时赛和正赛中由于碰撞对车手产生的冲击。

Horton表示：“ADI公司的新型ADXL377三轴加速度计将为我们的耳机传感器项目锦上添花。该器件尺寸更小，大大缩短了将元件放入各车手定制耳模之前所需的生产时间，而且加速度计的位置离耳道口更近，有助于将加速度计连接至驾驶员头部，获得更加准确的读数。过去，要获得相同的数据，我们必须在每只耳朵内使用三个独立的IC。”

ADI公司MEMS/传感器部门副总裁兼总经理Mark Martin表示：“如今，创伤性脑损伤已成为运动员、工人和军人等各行各业都会遇到的严重医学问题，ADI致力于帮助客户设计更加小巧、精确、简单的抗冲击系统。由于上述大量应用都需要极高的移动能力，因此，如果能够在省去正交传感器的同时降低能耗，就意味着这些电池供电设备能够延长单次充电的续航时间。”

ADXL377 MEMS加速度计特性

• 三轴检测

• 范围（g）： ±200

• 功耗：300 μA（典型值）

• 单电源供电：1.8 V至3.6 V

• 抗冲击能力：10000 g

• 小尺寸薄型封装

• 带宽：1600 Hz，适合工业冲击检测应用

ADI推出双轴iMEMS加速度计ADXL206

Analog Devices， Inc. ADI），全球领先的高性能信号处理解决方案供应商，最近正式全面推出高精度、低功耗、提供信号调理的模拟电压输出的双轴iMEMS®加速度计ADXL206。单芯片ADXL206的满量程加速度测量范围为±5 g，既能测量振动等动态加速度，也能测量重力等静态加速度。保证的工作温度范围为-40°C至+175°C，具有出色的整体稳定性，非常适合用于地质钻探工具和其它极端高温工业应用。

ADI公司MEMS和传感器技术部营销与应用经理Wayne Meyer表示：“我们没有使用额外的温度补偿电路，而是采用创新的设计技术来确保从内部实现高性能。因此，它基本上不存在量化误差或其它非单调性，温度迟滞非常低，在−40°C至+175°C的整个温度范围内通常小于2 mg。这款产品再次彰显了ADI公司在高性能MEMS惯性传感器领域的领导地位。”

ADI公司仪器仪表市场营销经理Pam Aparo表示：“一方面，设计师结合各种智能钻探系统，以力求不断深入地表，另一方面，又不得不在功耗、尺寸和空间要求与获得更多信息之间作出权衡。ADXL206 iMEMS加速度计不仅是一款极为紧凑的解决方案，而且大幅降低了功耗，单轴功耗从10 mA以上降至0.5 mA以下。”

ADXL206 iMEMS加速度计的典型噪底为110 μg/√Hz，因而在倾斜检测应用中，可以利用窄带宽（《60 Hz）解析1 mg（0.06°倾角）以下的信号。根据应用需要，可以选择0.5 Hz至2.5 kHz范围内的带宽。ADXL206提供13 mm × 8 mm × 2 mm、8引脚侧面钎焊陶瓷双列直插式封装（SBDIP）。

ADXL206 iMEMS加速度计主要特性

温度范围：–40°C至+175°C 分辨率：1 mg （60 Hz） 低功耗：700 µA（VS = 5 V，典型值） 高零g偏移可重复性 高灵敏度精度 抗冲击能力：3500 g 产品报价与供货。