SJ6000激光干涉仪高精度测量线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等多几何参量，具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，稳频精度≤0.04ppm，测量精度0.5ppm，至大测量距离80米。
中图仪器高精度测量激光干涉仪品牌以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰的能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。
功能
(1)可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；
(2)可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；
(3)可实现对机床回转轴的测量与校准；
(4)可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；
(5)具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；
(6)支持手动或自动进行环境补偿。
在动态测量软件配合下，SJ6000激光干涉仪除了可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测外，还可以进行加速度、位移、速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。
