--- 产品参数 ---
- 粗糙度RMS重复性 0.005nm
- 台阶高测量 准确度0.3%,重复性0.08% 1σ
- 干涉物镜 10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)
--- 产品详情 ---
中图仪器SuperViewW系列三维光学表面轮廓仪品牌专用于超精密加工领域,分辨率可达0.1nm,属于3D测量领域高精度检测仪器之一。具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精密器件的过程用时2分钟以内,确保了高款率检测。并且其特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。
![1.jpg](https://file.elecfans.com/web2/M00/3C/0C/pYYBAGJP6lGAVb2xAAGWkcDcqBg441.jpg)
SuperViewW系列三维光学表面轮廓仪品牌采用经国家计量检测研究院校准的台阶高标准片作为测量标准件,采用该标准片对仪器的检测精度和重复性进行验收,其中台阶高标准片高度在4.7um左右,测量精度要求为<0.75%,重复精度要求<0.1%(1σ)(测量15次获取的数据标准差),主要用于对样品表面的2D、3D形貌进行测量,主要测量参数为粗糙度、台阶高、几何轮廓等。
技术参数
产品型号:SuperView W1系列
产品名称:光学3D表面轮廓仪
影像系统:1024×1024
光学ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可选)
干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)
XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈
Z轴行程:100mm,电动
Z向扫描范围:10mm
Z向分辨率:0.1nm
水平调整:±5°手动
粗糙度RMS重复性:0.005nm
台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ
主要特点:非接触式无损检测,一键分析、测量速度快、效率高
生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司
注释:更多详细产品信息,请联系我们获取
SuperViewW系列三维光学表面轮廓仪品牌支持自动聚焦功能,只需将Z向调到贴近样品表面(小于镜头工作距离),选择好聚焦范围,即可自动聚焦到样品清晰成像表面并获取干涉条纹。
![2.jpg](https://file.elecfans.com/web2/M00/3C/0C/pYYBAGJP6lGAKiPYAAJLG98yv2k850.jpg)
特点
一是非接触高精密测量,不会划伤甚至破坏工件;
二是测量速度快,不必像探头逐点进行测量;
三是不必作探头半径补正,光点位置就是工件表面测量的位置;
四是对高深宽比的沟槽结构,可以快速而准确的得到理想的测量结果。
深圳市中图仪器股份有限公司成立十多年来,一直坚持以技术创新为发展基础,历经了十多年的技术积累和发展实践,在微纳米运动设计制造、微纳米显微测量三维重建、显微测量3D形貌分析、大尺寸三维空间测量、精密传感测头、光栅导轨测控等众多技术领域形成了设计、制造优势,具备了从纳米到百米为用户提供精密测量解决方案的能力。
为你推荐
-
中图仪器AI影像轮廓尺寸检测仪Novator系列全自动2024-06-27 14:56
产品型号:Novator系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
WD4000半导体晶圆粗糙度翘曲度检测设备2024-06-27 14:54
产品型号:WD4000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
sj6000国产激光干涉仪厂家中图仪器chotest2024-06-27 14:52
产品型号:SJ6000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
Mars高性能坐标测量机 中图三坐标几何尺寸精密检测仪2024-06-27 10:30
产品型号:Mars系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
GTS空间大尺寸激光跟踪检测仪 坐标测量机2024-06-27 10:27
产品型号:GTS系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
CHOTEST中图国内一键闪测仪品牌VX系列快速图像测量仪2024-06-27 10:25
产品型号:VX8000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
中图Mars几何尺寸检测精密三坐标测量机2024-06-26 14:48
产品型号:Mars系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
中图国产3d轮廓仪 白光干涉三维形貌仪2024-06-26 14:46
产品型号:SuperViewW系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
GTS机器人运动轴激光跟踪校准检测仪2024-06-26 14:44
产品型号:GTS系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
Novator中图仪器测量全自动影像测量机2024-06-26 10:40
产品型号:Novator系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
-
共聚焦显微镜有什么用?2024-06-24 09:58
-
表面粗糙度用什么仪器测量?2024-06-24 09:50
-
AI影像测量:开启测量仪器的智能之眼2024-06-20 08:08
-
影像测量仪:Novator系列可测量项目详解2024-06-14 09:43
-
共聚焦显微镜:成像原理、功能、分辨率与优势解析2024-06-14 09:28
-
自动化生产中的精密几何量测量:三坐标测量机的应用2024-06-13 09:58
-
盛夏六月,全球三展启航2024-06-08 08:08
-
三坐标测量机的“柔性”特点及其在工业中的应用2024-06-05 09:40
-
微观特征轮廓尺寸测量:光学3D轮廓仪、共焦显微镜与台阶仪的应用2024-06-05 09:38
-
国家市场监督管理总局计量司副司长刘洪彬一行莅临中图仪器调研指导工作2024-06-01 08:08
-
轮廓测长|中图仪器SJ51系列测长机实现高精度二维长度测量2024-01-25 15:37
-
显微测量|中图仪器显微测量仪0.1nm分辨率精准捕捉三维形貌2024-01-25 15:34
-
VX9000系列光学扫描成像测量机,满足PCB行业多样化尺寸测量需求2023-12-01 09:29
-
激光干涉仪检测机床的方法(以线性检测为例)2023-10-27 15:21
-
白光干涉仪(光学轮廓仪):揭秘测量坑的形貌的利器!2023-10-26 10:47
-
纳米级测量仪器:窥探微观世界的利器2023-10-11 13:49
-
微纳共聚焦显微镜:检测摩擦学研究的重难点2023-09-22 09:13
-
先进封装厂关于Bump尺寸的管控2023-09-06 14:26
-
飞拍测量|Novator系列影像仪大幅提升半导体模具测量效率2023-09-06 14:23
-
数控机床测头提升新能源汽车部件加工良品率2023-09-06 14:20