3d光学轮廓仪三维形貌一键测量

型号： SuperView W1

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--- 产品详情 ---

3d光学轮廓仪三维形貌一键测量，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，能达到微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量。广泛应用于如纳米材料、航空航天、半导体等各类精密工件表面质量要求高的领域中。

SuperViewW1光学3D表面轮廓仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

对两台阶高的检测

蓝宝石玻璃的光面和糙面的粗糙度

玻璃屏表面粗糙度检测

3d光学轮廓仪三维形貌一键测量，主要用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量，可以达到纳米级的检测精度，并快速获得被测工件表面三维形貌和数据。

SuperView1光学3D表面轮廓仪参数

产品型号：SuperView W1系列

产品名称：光学3D表面轮廓仪

影像系统：1024×1024

光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）

干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）

XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈

Z轴行程：100mm，电动

Z向扫描范围：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可测样品反射率：0.05%-100%

水平调整：±5°手动

粗糙度RMS重复性：0.005nm

台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ

主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快、效率高

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

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