--- 产品参数 ---
- 注释 更多详细产品信息,请联系我们获取
--- 产品详情 ---
激光干涉仪测量仪可对机床进行校准、检测机器人的重复定位精度......并提供数据补偿依据,是高品质测量仪器产品。
中图仪器测量重复定位精度的配置主要由SJ6000主机、EC20环境补偿单元、线性镜组、SJ6000静态测量软件等组件构成,可满足0~80m范围内的线性测量。
SJ6000激光干涉仪测量仪的静态测量软件可以将线性测量结果生成误差补偿表,该表涵盖了各个测量点的补偿值,运动控制系统制造商允许通过修改运动轴的补偿值来消除该运动轴的位置误差,精确的补偿,可以降低运动轴的位置误差。
线性测量中目标位置的数据采集有基于位置的目标采集和基于时间的目标采集两种方式,普遍采用基于位置的目标采集方式,即:被测运动轴需设定若干个等距的定位点,当运动轴移动到设定的定位点时,需设置停留时间,以供SJ6000测量软件进行当前点的数据采集。
技术参数
产品型号:SJ6000
产品名称:SJ6000激光干涉仪
稳频方式:双频激光热稳频
稳频精度:0.05ppm
线性测量精度:0.5ppm(0-40)℃
线性测量距离:(0-80)m(无需远距离线性附件)
角度测量精度:±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
测量分辨力:1nm
动态采集频率:50KHz
预热时间:≤6分钟
工作温度范围:(0-40)℃
环境温度范围:(0-40)℃,环境湿度:0-95%
主要特点:应用范围广、测量精度高、操作方便
生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司
注释:更多详细产品信息,请联系我们获取
SJ6000激光干涉仪测量仪集光、机、电、计算机等技术于一体,可实现高精度、长期稳定的激光频率输出,具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点,与不同光学附件结合,可以测量距离、直线度、垂直度平行度、平面度。由于仪器为模块化结构,安装位置灵活,便于分析机床误差来源;而且测量时可以在工作部件运动过程中自动采集数据,更接近机床的实际使用状态。
为你推荐
-
WD4000晶圆表面形貌量测设备2024-09-30 17:06
产品型号:WD4000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
GTS高精密激光跟踪测量仪2024-09-30 17:04
产品型号:GTS 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
中图仪器接触式轮廓度粗糙度测量仪器2024-09-30 16:58
产品型号:SJ5800 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
光学超光滑微透镜形貌轮廓测量仪2024-09-30 16:56
产品型号:SuperViewW系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
中图仪器VX8000一键尺寸测量检测仪2024-09-30 16:42
产品型号:VX8000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
全自动高精度视觉影像测量仪2024-09-29 17:12
产品型号:Novator系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
国产机床测头量仪2024-09-29 16:55
产品型号:PO系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
半导体晶圆几何形貌量测设备2024-09-29 16:54
产品型号:WD4000 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
国产台阶仪器测试薄膜厚度2024-09-29 16:52
产品型号:NS系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
活动桥式三坐标测量设备2024-09-27 16:29
产品型号:Mars系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
-
使用激光跟踪仪提升码垛机器人精度2024-09-30 16:37
-
湾区行|张鹏:在“痛并快乐着”的科研道路上不断前行2024-09-26 08:03
-
CEM3000系列台式扫描电镜:台式电镜领域的又一“中国神话”2024-09-26 08:03
-
激光跟踪仪在火车轨道检测中的应用2024-09-15 08:03
-
CIOE2024:光电科技的璀璨盛宴即将开启2024-09-05 10:22
-
GTS激光跟踪仪USMN联合组网应用-精确到微米的大空间尺度测量2024-09-05 08:02
-
机床性能优化:校准补偿系统在故障诊断与预防性维护的应用2024-08-30 16:51
-
复杂工件的高效测量方案:自动化三坐标测量与影像测量技术集成2024-08-30 16:49
-
精密制造新篇章:三坐标测量机绿色转型下的高精度测量2024-08-30 16:47
-
激光跟踪仪:提升大型龙门机床装调精度及效率2024-08-30 12:08
-
轮廓测长|中图仪器SJ51系列测长机实现高精度二维长度测量2024-01-25 15:37
-
显微测量|中图仪器显微测量仪0.1nm分辨率精准捕捉三维形貌2024-01-25 15:34
-
VX9000系列光学扫描成像测量机,满足PCB行业多样化尺寸测量需求2023-12-01 09:29
-
激光干涉仪检测机床的方法(以线性检测为例)2023-10-27 15:21
-
白光干涉仪(光学轮廓仪):揭秘测量坑的形貌的利器!2023-10-26 10:47
-
纳米级测量仪器:窥探微观世界的利器2023-10-11 13:49
-
微纳共聚焦显微镜:检测摩擦学研究的重难点2023-09-22 09:13
-
先进封装厂关于Bump尺寸的管控2023-09-06 14:26
-
飞拍测量|Novator系列影像仪大幅提升半导体模具测量效率2023-09-06 14:23
-
数控机床测头提升新能源汽车部件加工良品率2023-09-06 14:20