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中图仪器

深圳市中图仪器股份有限公司是一家高新技术企业，致力于全尺寸链精密测量仪器及设备的研发、生产和销售。

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光学轮廓仪白光干涉仪

白光干涉仪
型号： SuperView W1

--- 产品参数 ---

  • 类型 白光干涉仪
  • 测量范围 140x110x100mm
  • 外形尺寸 900x700x604mm
  • 重量 90kg
  • 测量分辨率 0.1nm

--- 数据手册 ---

光学轮廓仪.pdf

--- 产品详情 ---

现代化工业生产中，表面微观形貌对工程零件的许多技术性能的评价具有直接的影响，所以只有准确的三维形貌测量，才能更全面、更真实地反映零件表面的特征以及衡量表面的质量，所以说表面三维微观形貌的测量就越来越重要。

 

中图仪器研发生产的SuperView W1光学轮廓仪白光干涉仪，利用白光干涉扫描技术为基础，结合精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统，从纳米到毫米范围内的样品表面微观形貌检测都可以做到。几乎在任何超精密加工行业领域中都可以进行从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等的高精度测量。

 

 

产品参数

 

产品性能
纵向扫描：≤10.3mm，与选用物镜相关
扫描帧速：50FPS/s
粗糙度重复性：0.005nm（依据ISO 25178-2012）
光学分辨率：0.4μm~3.7μm，与选用物镜相关
最大点数：1048576（标准）
台阶测量：准确度≤0.3%，重复性≤0.08%1σ
 

标准配置

 

可选配置

 

SuperView W1光学轮廓仪白光干涉仪分辨率0.1μm，重复性0.1%，具有测量精度高、分析功能强大、测量参数齐全、使用方便等优点，其独特的光源模式，保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。应用领域广泛，适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、弯曲变形情况、磨损情况、表面缺陷、波纹度、台阶高度、孔隙间隙、面形轮廓等表面形貌特征进行测量和分析。

 

应用领域

 

应用案例

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