企业号介绍

全部
  • 全部
  • 产品
  • 方案
  • 文章
  • 资料
  • 企业

中图仪器

深圳市中图仪器股份有限公司是一家高新技术企业,致力于全尺寸链精密测量仪器及设备的研发、生产和销售。

2.3k 内容数 88w+ 浏览量 54 粉丝

中图仪器高精度薄膜厚度台阶仪

型号: CP系列
品牌: 中图仪器(中图仪器)

--- 产品参数 ---

  • 注释 如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。

--- 产品详情 ---

中图仪器CP系列高精度薄膜厚度台阶仪采用线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率。同时集成超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。

高精度薄膜厚度台阶仪

产品功能

1.参数测量功能

1)台阶高度:能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度,可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。

2)粗糙度与波纹度:能够测量样品的粗糙度和波纹度,分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线,可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等数十项参数。

3)应力测量:可测量多种材料的表面应力。

2.测量模式与分析功能

1)单区域测量模式:完成Focus后根据影像导航图设置扫描起点和扫描长度,即可开始测量。

2)多区域测量模式:完成Focus后,根据影像导航图完成单区域扫描路径设置,可根据横向和纵向距

离来阵列形成若干到数十数百项扫描路径所构成的多区域测量模式,一键即可完成所有扫描路径的自动测量。

3)3D测量模式:完成Focus后根据影像导航图完成单区域扫描路径设置,并可根据所需扫描的区域

宽度或扫描线条的间距与数量完成整个扫描面区域的设置,一键即可自动完成整个扫描面区域的扫描和3D图像重建。

4)SPC统计分析:支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析,针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。

3.双导航光学影像功能

在CP200-D型号中配备了正视或斜视的500W像素的彩色相机,在正视导航影像系统中可精确设置扫描路径,在斜视导航影像系统中可实时跟进扫描轨迹。

4.快速换针功能

采用了磁吸式测针,当需要执行换针操作时,可现场快速更换扫描测针,并根据软件中的标定模块进行快速标定,确保换针后的精度和重复性,减少维护烦恼。

高精度薄膜厚度台阶仪

磁吸针实物外观图(330μm量程)

 

CP系列高精度薄膜厚度台阶仪应用场景适应性强,其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求,能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位,其对表面微观形貌参数的准确表征,对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。

 

典型应用

高精度薄膜厚度台阶仪

 

CP系列高精度薄膜厚度台阶仪利用光学干涉原理,通过测量膜层表面的台阶高度来计算出膜层的厚度,具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各种材料的膜层厚度,包括金属、陶瓷、塑料等。如针对测量ITO导电薄膜的应用场景,CP200台阶仪提供如下便捷功能:

1)结合了360°旋转台的全电动载物台,能够快速定位到测量标志位;

2)对于批量样件,提供自定义多区域测量功能,实现一键多点位测量;

3)提供SPC统计分析功能,直观分析测量数值变化趋势;

 

部分技术指标

型号CP200
样品观察500万像素彩色摄像机 正视视野:2.2×1.7mm
探针传感器
 
超低惯量,LVDC传感器
平台移动范围X/Y

电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)

单次扫描长度55mm
样品厚度50mm
载物台晶圆尺寸200mm(8吋)
台阶高度重复性

5 Å, 量程为330μm时/ 10 Å, 量程为1mm时(测量1μm台阶高度,1δ)

尺寸(L×W×H)mm

630×610×500

重量40kg
仪器电源100-240 VAC,50/60 Hz,200W

恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。

如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。

为你推荐

  • 如何测曲面粗糙度:一体型轮廓仪提供精确的测量解决方案2024-08-15 16:06

    在航空航天、汽车制造、医疗器械等高端制造领域,曲面零件的加工精度直接关系到产品的质量和性能。例如,飞机发动机的叶片曲面粗糙度直接影响到发动机的效率和寿命。随着全球对于可持续发展和绿色能源的重视,高效能、长寿命的发动机需求日益增长,这就需要更高精度的测量工具来确保产品质量。SJ5800一体型轮廓仪采用超高精度纳米衍射光学测量系统,结合超高直线度研磨级摩擦导轨和
  • 机床测头是什么仪器?2024-08-13 17:11

    机床测头是一种高精度的检测工具,主要用于工业生产中对工件的尺寸、形状和位置进行精确测量。它能够提供快速、准确的测量数据,帮助制造商确保产品质量,优化生产流程,降低成本。工作原理以PO40机床测头为例,这种仪器采用了先进的红外调制传输技术。通过红外光作为传输媒介,PO40能够实现与机床控制器之间的稳定通信,即使在复杂的工业环境中也能保持高精度的测量。它具有3维
  • 机床测头助力塑胶模具自动化生产2024-08-10 08:08

    在现代制造业中,塑胶产品已经成为我们日常生活中不可或缺的一部分。为了满足日益增长的市场需求,塑胶模具生产领域也在不断发展和创新。其中,自动化生产技术的应用成为了提升生产效率和产品质量的关键。作为在线检测的重要工具,机床测头在塑胶模具自动化生产过程中发挥着非常重要的作用。下面通过一个实际案例来了解中图仪器机床测头在塑胶模具自动化生产过程中的具体应用。客户背景浙
  • 闪测仪、影像仪与三坐标联合打造高效测量工作站2024-08-09 14:58

    在当今快速发展的工业生产中,对产品尺寸的精确检测是确保质量的关键步骤。随着产品复杂性的增加和市场需求的多变,快速完成大量尺寸检测工作变得尤为重要。如何快速完成大量的尺寸检测工作?1、引入现代精密测量设备闪测仪:一键式快速精准测量闪测仪通过双远心高分辨率光学镜头和高精度图像分析算法,实现了一键式快速精准测量。在CNC模式下,操作者只需按下启动键,仪器即可自动完
  • 如何评估机床测头的性能是否满足特定行业的需求?2024-08-08 15:40

    评估机床测头的性能是否满足特定行业的需求,需要从多个维度进行综合考量。以下是一些关键步骤和评估标准:1.精度要求:测量精度是评估机床测头性能的首要指标。根据行业标准和产品规格,检查机床测头的绝对精度和重复精度是否满足生产需求。2.探测方向和范围:确定机床测头的探测方向是否覆盖了所需的测量范围。例如,PO40机床测头提供5向探测(±X、±Y、+Z),适用于多轴
  • 精准定位,激光领航——激光跟踪仪助力服务机器人性能提升2024-07-26 14:27

    随着人工智能和机器人技术的快速发展,服务机器人在各行各业得到了广泛应用,服务机器人能够自主完成各种服务任务,如导航、搬运、清洁等,为保证服务机器人能够准确、高效地完成任务,对其进行全面的性能测试至关重要,其中,目标定位性能的测试尤为关键。在国家标准GB/T38124《服务机器人性能测试方法》中,对服务机器人的定位导航性能检测项目定义时,明确提出“测试设备可以
  • 在实际应用中,如何根据测量需求选择合适的光学测量设备?2024-07-24 11:12

    在现代工业制造和科研领域,精确的测量技术是确保产品质量和推动技术创新的关键。选择合适的光学测量设备不仅能够提高测量效率,还能提升测量精度,满足不同应用场景的需求。中图仪器提供从纳米到百米的几何量测解决方案,其产品线覆盖了三坐标测量机、影像测量仪、激光跟踪仪等多个领域。一、测量需求分析在选择光学测量设备之前,首先要明确测量对象的特点和测量需求。这包括但不限于:
  • 如何根据产品的表面尺寸测量需求选择合适的测量设备2024-07-22 10:26

    在现代工业生产中,精密测量是保证产品质量的关键环节。面对市场上众多的测量设备,如何根据产品的具体需求选择合适的测量设备成为了一个重要课题。那么如何根据产品的表面尺寸测量需求选择合适的测量设备?了解测量需求首先,企业需要根据自身产品的特点确定测量需求。这包括但不限于产品的尺寸范围、公差要求、表面特性(如粗糙度、反射率)、测量精度以及是否需要三维形貌信息等。选择
  • 探针之下,精准毕现微观世界2024-07-20 08:08

    NS系列台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器,最高垂直分辨率可达亚埃米级,且垂直方向动态比率高,可以获取表面轮廓形貌、粗糙度、波纹度、形状误差及其它一些形貌特征等综合信息。探针物理接触测量结果稳定可靠,重复性好,精准拿捏测量的轮廓形貌细节。集十数载精密仪器研制经验之沉淀,结合多方客户调研之反馈,呈现自主研制的高品质NS系列台阶仪。今天跟随小编一起感受它的
  • 影像仪是做什么的:Novator影像测量仪的功能解析2024-07-16 15:44

    影像测量仪是一种精密测量仪器,广泛应用于机械、电子、模具、注塑、五金、橡胶、低压电器、磁性材料、精密冲压、接插件、连接器、端子、手机、家电、印刷电路板、钟表、刀具、计量检测等众多领域。从功能和应用角度来看,影像测量仪属于光学测量仪器的类别。它采用先进的光学成像技术,结合精密的机械运动控制系统,能够对各种复杂零件的表面尺寸、轮廓、角度与位置、形位公差、3D空间
  • 轮廓测长|中图仪器SJ51系列测长机实现高精度二维长度测量2024-01-25 15:37

    高精度二维长度测量技术在精密制造业中至关重要,测长机作为高精度长度测量工具,可实现对工件尺寸和形态的精确测量,提高产品质量和生产效率。测长机具有高精度、重复性好等特点,可应用于多种精密制造领域。未来,测长机技术将不断更新和完善,为精密制造领域的发展提供有力支持。
    284浏览量
  • 显微测量|中图仪器显微测量仪0.1nm分辨率精准捕捉三维形貌2024-01-25 15:34

    显微测量是利用显微镜对微小尺寸和形状进行高精度测量的技术,在先进制造业中具有重要意义。它为制造业提供了准确、可靠的测量手段,帮助企业实现更高水平的制造和更高质量的产品。随着科技的不断进步,显微测量技术有望在未来取得更大的突破和应用。
    272浏览量
  • VX9000系列光学扫描成像测量机,满足PCB行业多样化尺寸测量需求2023-12-01 09:29

    VX9700光学扫描成像测量机红、蓝、绿三色光源满足不同颜色PCB测量需求。高远心度双侧远心镜头提升数倍精度,一键测量新能源车PCB轮廓度、位置度、外形尺寸。
  • 激光干涉仪检测机床的方法(以线性检测为例)2023-10-27 15:21

    激光干涉仪检测机床的方法(以线性检测为例)1.进行线性测量的一般步骤(1)安装设置激光干涉仪(2)将激光束与被测量的轴校准(3)启动测量软件,并输入相关参数(如材料膨胀系数)。(4)在机床上输入测量程序,启动干涉仪测量,并记录数据。(5)用测量软件分析测量数据,生产补偿文件。线性测量应用2.光束快速准直步骤(1)沿着运动轴将反射镜与干涉镜分开。(2)移动机床工作台,当光束离开光靶外圆时停止移动,垂
  • 白光干涉仪(光学轮廓仪):揭秘测量坑的形貌的利器!2023-10-26 10:47

    SuperViewW1白光干涉仪结合数字图像处理技术和三维重建算法来提高测量的精度和效率,揭秘并测量坑的形貌,为科学研究和工程实践提供更有力的支持。
  • 纳米级测量仪器:窥探微观世界的利器2023-10-11 13:49

    纳米级测量仪器在纳米科技研究领域中扮演着重要的角色。通过共聚焦显微镜、光学轮廓仪等的运用,科研人员们能够更加深入地了解纳米世界的奥秘。
    559浏览量
  • 微纳共聚焦显微镜:检测摩擦学研究的重难点2023-09-22 09:13

    针对磨损区域较大、坡度也较为陡峭的生物摩擦和流体摩擦领域,采用中图VT6000系列共聚焦显微镜更加匹配,其远胜于光学3D表面轮廓仪的大角度测量能力和超景深观察功能,能够轻松胜任磨损较为严重的表面形貌检测,从而帮助研究人员更加精准的掌握磨损量评价数据。
    774浏览量
  • 先进封装厂关于Bump尺寸的管控2023-09-06 14:26

    BumpMetrologysystem—BOKI_1000在半导体行业中,Bump、RDL、TSV、Wafer合称先进封装的四要素,其中Bump起着界面互联和应力缓冲的作用。Bump是一种金属凸点,从倒装焊FlipChip出现就开始普遍应用,Bump的形状有多种,常见的为球状和柱状,也有块状等其他形状,下图所示为各种类型的Bump。Bump起着界面之间的电气互联和应力缓冲的作用,从Bondwire
    1.8k浏览量
  • 飞拍测量|Novator系列影像仪大幅提升半导体模具测量效率2023-09-06 14:23

    目前BGA封装技术已广泛应用于半导体行业,相较于传统的TSOP封装,具有更小体积、更好的散热性能和电性能。在BGA封装的植球工艺阶段,需要使用到特殊设计的模具,该模具的开窗口是基于所需的实际焊球大小和电路板焊盘尺寸考虑,模具的开窗口大小直接影响到锡球的尺寸,从而影响到最终的焊接效果:若孔径过小形成凹点,会使得芯片与连接它的其它部件之间的接触面积变小,导致信号传输不良、电气性能下降等问题;若孔径过大
  • 数控机床测头提升新能源汽车部件加工良品率2023-09-06 14:20

    机床测头是一种可安装在大多数数控机床上,并在加工循环中自动对工件的尺寸及位置进行测量的装置,使用合适的测量程序,还可以根据测量结果实现自动刀路补偿,是生产加工中的重要质量控制手段。在新能源汽车电池组件加工过程中,PO系列机床测头能够有效提升产品合格率、提高自动化程度,为企业降本增效。1、新能源汽车电池组件——电池包外壳客户简介:华南地区某客户,主要生产新能源汽车动力电池组,该产品使用了大型的龙门铣