--- 产品参数 ---
- 注释 如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
--- 产品详情 ---
中图仪器NS系列探针接触式台阶高度仪主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量,是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器。采用了线性可变差动电容传感器LVDC,具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率,同时,其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术,使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。
产品功能
1.参数测量功能
1)台阶高度:能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度,可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。
2)粗糙度与波纹度:能够测量样品的粗糙度和波纹度,分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线,可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等数十项参数。
3)应力测量:可测量多种材料的表面应力。
2.测量模式与分析功能
1)单区域测量模式:完成Focus后根据影像导航图设置扫描起点和扫描长度,即可开始测量。
2)多区域测量模式:完成Focus后,根据影像导航图完成单区域扫描路径设置,可根据横向和纵向距离来阵列形成若干到数十数百项扫描路径所构成的多区域测量模式,一键即可完成所有扫描路径的自动测量。
3)3D测量模式:完成Focus后根据影像导航图完成单区域扫描路径设置,并可根据所需扫描的区域宽度或扫描线条的间距与数量完成整个扫描面区域的设置,一键即可自动完成整个扫描面区域的扫描和3D图像重建。
4)SPC统计分析:支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析,针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。
3.双导航光学影像功能
在NS200-D型号中配备了正视或斜视的500W像素的彩色相机,在正视导航影像系统中可精确设置扫描路径,在斜视导航影像系统中可实时跟进扫描轨迹。
4.快速换针功能
采用了磁吸式测针,当需要执行换针操作时,可现场快速更换扫描测针,并根据软件中的标定模块进行快速标定,确保换针后的精度和重复性,减少维护烦恼。
磁吸针实物外观图(330μm量程)
NS系列探针接触式台阶高度仪测量时通过使用2μm半径的金刚石针尖在超精密位移台移动样品时扫描其表面,测针的垂直位移距离被转换为与特征尺寸相匹配的电信号并最终转换为数字点云信号,数据点云信号在分析软件中呈现并使用不同的分析工具来获取相应的台阶高或粗糙度等有关表面质量的数据。
应用场景适应性强,NS系列探针接触式台阶高度仪对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求,能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位,其对表面微观形貌参数的准确表征,对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。
典型应用
部分技术指标
型号 | NS200 |
样品观察 | 500万像素彩色摄像机 正视视野:2.2×1.7mm |
探针传感器 | 超低惯量,LVDC传感器 |
平台移动范围X/Y | 电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平) |
单次扫描长度 | 55mm |
样品厚度 | 50mm |
载物台晶圆尺寸 | 200mm(8吋) |
台阶高度重复性 | 5 Å, 量程为330μm时/ 10 Å, 量程为1mm时(测量1μm台阶高度,1δ) |
尺寸(L×W×H)mm | 630×610×500 |
重量 | 40kg |
仪器电源 | 100-240 VAC,50/60 Hz,200W |
恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。
如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
为你推荐
-
机床导轨三坐标激光干涉测量仪2024-11-22 15:44
产品型号:SJ6000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
中图全自主化三坐标测量机2024-11-22 15:42
产品型号:Mars系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
飞拍闪测高效影像测量仪2024-11-22 15:40
产品型号:Novator系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
晶圆细磨硅片粗糙度测量系统2024-11-22 15:37
产品型号:WD4000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
一键几何长度测量仪器2024-11-22 15:29
产品型号:VX8000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
导轨误差激光干涉测量仪2024-11-21 15:53
产品型号:SJ6000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
大范围激光追踪空间姿态测量仪2024-11-21 15:51
产品型号:GTS系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
白光干涉三维形貌仪轮廓仪2024-11-21 15:38
产品型号:SuperViewW系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
国产台阶仪2024-11-21 15:35
产品型号:NS系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
国产钨灯丝台式扫描电镜2024-11-21 15:32
产品型号:CEM3000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
-
触针式轮廓仪在轴承滚子测量中的应用2024-11-20 01:02
-
大尺寸部件安装精度测量:GTS激光跟踪仪的解决方案2024-11-19 17:34
-
激光跟踪仪基本工作原理及应用2024-11-15 16:31
-
粗糙度轮廓仪的测量原理是怎样的2024-11-13 14:55
-
影像测量仪操作指导书2024-11-07 13:38
-
台式扫描电镜:微观尺度形貌观测和分析利器2024-11-04 11:29
-
三坐标测量机在工业4.0浪潮下的可持续发展未来2024-11-04 11:24
-
光学3D表面轮廓仪:满足多元超精密微观尺寸测量需求2024-11-01 15:50
-
一文解析三坐标测量机对智能制造的影响2024-11-01 15:44
-
中图仪器武汉技术交流会圆满举办2024-10-27 08:01
-
大尺寸部件安装精度测量:GTS激光跟踪仪的解决方案2024-11-20 14:52
-
轮廓测长|中图仪器SJ51系列测长机实现高精度二维长度测量2024-01-25 15:37
-
显微测量|中图仪器显微测量仪0.1nm分辨率精准捕捉三维形貌2024-01-25 15:34
-
VX9000系列光学扫描成像测量机,满足PCB行业多样化尺寸测量需求2023-12-01 09:29
-
激光干涉仪检测机床的方法(以线性检测为例)2023-10-27 15:21
-
白光干涉仪(光学轮廓仪):揭秘测量坑的形貌的利器!2023-10-26 10:47
-
纳米级测量仪器:窥探微观世界的利器2023-10-11 13:49
-
微纳共聚焦显微镜:检测摩擦学研究的重难点2023-09-22 09:13
-
先进封装厂关于Bump尺寸的管控2023-09-06 14:26
-
飞拍测量|Novator系列影像仪大幅提升半导体模具测量效率2023-09-06 14:23