--- 产品参数 ---
- 注释 如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
--- 产品详情 ---
SJ6000高精度环境补偿激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体,采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高速干涉信号采集、调理及细分技术,可实现高4m/s的测量速度,以及纳米级的分辨率,适用于各种复杂的运动系统。
SJ6000高精度环境补偿激光干涉仪结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下,可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。
产品功能
(1)可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;
(2)可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;
(3)可实现对机床回转轴的测量与校准;
(4)可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;
(5)具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;
(6)支持手动或自动进行环境补偿。
测量软件
(1)友好的人机界面;
(2)丰富的应用功能模块;
(3)向导式的操作流程;
(4)简洁化的记录管理;
(5)支持中文、英文和俄文界面;
(6)支持企业专属模板定制。
产品配置
SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件,可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列,依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。
其中,线性镜组为标配,由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析,以及反向间隙修正和螺距补偿。
线性测量应用
SJ6000激光干涉仪广泛应用于机床、三坐标、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。
SJ6000高精度环境补偿激光干涉仪非接触式、高精度的特点为制造业提供了一种精密的测量检测方式。在机床加工领域有着广泛的应用:
1、测量机床导轨的直线度和平行度;
2、测量机床工作台的平面度和垂直度;
3、测量机床主轴的同心度和轴向垂直度;
4、此外,激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系,从而检测和纠正机床的装配误差。此外,激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况,及时发现机床的故障和异常状态,保证机床的稳定性和可靠性等。
部分技术规格
稳频精度 | 0.05ppm |
动态采集频率 | 50 kHz |
预热时间 | ≤ 6分钟 |
工作温度范围 | (0~40)℃ |
存储温度范围 | (-20~70)℃ |
环境湿度 | (0~95)%RH |
线性测量距离 | (0~80)m (无需远距离线性附件) |
线性测量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
角度轴向量程 | (0~15)m |
角度测量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
平面度轴向量程 | (0~15)m |
平面度测量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m) |
直线度轴向量程 | 短距离(0.1~4.0)m;长距离(1.0~20.0)m |
直线度测量精度 | 短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
垂直度轴向量程 | 短距离(0.1~3.0)m;长距离(1.0~15.0)m |
垂直度测量精度 | 短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
注意事项:
平面度测量配置需求:平面度镜组+角度镜组
平行度测量配置需求:依据轴向量程范围,选择相应直线度镜组即可
短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求:短直线度镜组+垂直度镜组
长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求:长直线度镜组+垂直度镜组
直线度附件:主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量
恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。
如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
为你推荐
-
高灵活桥式三坐标测量机2024-11-08 15:38
产品型号:Mars系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
高分辨率成像共聚焦显微镜2024-11-08 15:23
产品型号:VT6000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
白光干涉表面微观形貌检测系统2024-11-08 15:14
产品型号:SuperViewW系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
一米光栅测长机2024-11-08 14:48
产品型号:SJ5100系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
复杂精密尺寸自动影像测量仪2024-11-07 13:48
产品型号:Novator系列 注释:若您有相关疑问、或想了解更多资料,可随时与中图仪器沟通、交流 -
晶圆硅片厚度测量仪2024-11-07 13:46
产品型号:WD4000系列 注释:若您有相关疑问、或想了解更多资料,可随时与中图仪器沟通、交流 -
全自动对焦一键测量仪2024-11-07 13:43
产品型号:VX8000系列 注释:若您有相关疑问、或想了解更多资料,可随时与中图仪器沟通、交流 -
光学三维形貌轮廓仪2024-11-06 18:01
产品型号:SuperViewW系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
粗糙度轮廓度表面检测仪器2024-11-06 17:58
产品型号:SJ5800系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
一键高效批量闪测测量仪2024-11-06 17:55
产品型号:VX8000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
-
影像测量仪操作指导书2024-11-07 13:38
-
台式扫描电镜:微观尺度形貌观测和分析利器2024-11-04 11:29
-
三坐标测量机在工业4.0浪潮下的可持续发展未来2024-11-04 11:24
-
光学3D表面轮廓仪:满足多元超精密微观尺寸测量需求2024-11-01 15:50
-
一文解析三坐标测量机对智能制造的影响2024-11-01 15:44
-
中图仪器武汉技术交流会圆满举办2024-10-27 08:01
-
测长机在测量长度尺寸方面有哪些优势?2024-10-25 16:20
-
如何保证测长机测量的准确性?2024-10-25 16:16
-
如何选择适合自己需求的测长机?2024-10-25 16:13
-
展会预告|金秋十月,中图仪器邀您共赴苏州双展2024-10-19 08:02
-
轮廓测长|中图仪器SJ51系列测长机实现高精度二维长度测量2024-01-25 15:37
-
显微测量|中图仪器显微测量仪0.1nm分辨率精准捕捉三维形貌2024-01-25 15:34
-
VX9000系列光学扫描成像测量机,满足PCB行业多样化尺寸测量需求2023-12-01 09:29
-
激光干涉仪检测机床的方法(以线性检测为例)2023-10-27 15:21
-
白光干涉仪(光学轮廓仪):揭秘测量坑的形貌的利器!2023-10-26 10:47
-
纳米级测量仪器:窥探微观世界的利器2023-10-11 13:49
-
微纳共聚焦显微镜:检测摩擦学研究的重难点2023-09-22 09:13
-
先进封装厂关于Bump尺寸的管控2023-09-06 14:26
-
飞拍测量|Novator系列影像仪大幅提升半导体模具测量效率2023-09-06 14:23
-
数控机床测头提升新能源汽车部件加工良品率2023-09-06 14:20