特征
- 测量高达1018欧的电阻
- 10aA (10×10-18A)电流测量分辨率
- 小于3fA的输入偏置电流
- 6 1/2位高精度测量模式
- 最低电流范围的负载电压小于20μV
- 电压测量高达200V，输入阻抗大于200ω
- 内置+/-1000V电压源
- 独特的交变极性电压源和测量方法，用于高电阻测量
- 四种不同器件特性测试的内置测试序列，表面和体积电阻率、表面绝缘电阻和电压扫描
- 可选的插入式扫描卡，可通过一个测试设置测试多达10个设备或材料样品
吉时利keithley 6517B静电计
型号：
6517B
