--- 产品参数 ---
- 注释 更多详细产品信息,请联系我们获取
--- 产品详情 ---
中图仪器SuperViewW系列光学测量仪器由照明光源系统,光学成像系统,垂直扫描系统以及数据处理系统构成。以白光干涉技术为原理,能够以优于纳米级的分辨率,测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数,是一款非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。
SuperViewW系列光学测量仪器广泛应用于光学,半导体,材料,精密机械等等领域。如在芯片封装测试流程中,晶圆减薄和晶圆切割工艺需要测量晶圆膜厚、粗糙度、平整度(翘曲),晶圆切割槽深、槽宽、崩边形貌等参数。
SuperViewW1光学测量仪器的X/Y方向标准行程为140*100mm,满足减薄后晶圆表面大范围多区域的粗糙度自动化检测、镭射槽深宽尺寸、镀膜台阶高等微纳米级别精度的测量。而型号为SuperViewW1-Pro 的光学测量仪器相比 W1增大了测量范围,可完全覆盖8英寸及以下晶圆,定制版真空吸附盘,稳定固定Wafer;气浮隔振+壳体分离式设计,隔离地面震动与噪声干扰。
产品功能
1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;
2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;
3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;
4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。
部分参数
Z向分辨率:0.1nm
横向分辨率(0.5λ/NA):100X~2.5X:0.5um~3.7um
粗糙度RMS重复性:0.1nm
表面形貌重复性:0.1nm
台阶测量:重复性:0.1% 1σ;准确度:0.75%
注释:更多详细产品信息,请联系我们获取
为你推荐
-
复杂精密尺寸自动影像测量仪2024-11-07 13:48
产品型号:Novator系列 注释:若您有相关疑问、或想了解更多资料,可随时与中图仪器沟通、交流 -
晶圆硅片厚度测量仪2024-11-07 13:46
产品型号:WD4000系列 注释:若您有相关疑问、或想了解更多资料,可随时与中图仪器沟通、交流 -
全自动对焦一键测量仪2024-11-07 13:43
产品型号:VX8000系列 注释:若您有相关疑问、或想了解更多资料,可随时与中图仪器沟通、交流 -
光学三维形貌轮廓仪2024-11-06 18:01
产品型号:SuperViewW系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
粗糙度轮廓度表面检测仪器2024-11-06 17:58
产品型号:SJ5800系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
一键高效批量闪测测量仪2024-11-06 17:55
产品型号:VX8000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
chotest中图仪器大样品仓型台式扫描电镜2024-11-05 15:42
产品型号:CEM3000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
chotest中图仪器白光干涉表面形貌3D测量仪2024-11-05 15:18
产品型号:SuperViewW系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
chotest中图仪器非接触式3D共聚焦显微系统2024-11-05 14:36
产品型号:VT6000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
优于4nm高分辨率台式扫描电镜2024-11-04 14:42
产品型号:CEM3000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
-
影像测量仪操作指导书2024-11-07 13:38
-
台式扫描电镜:微观尺度形貌观测和分析利器2024-11-04 11:29
-
三坐标测量机在工业4.0浪潮下的可持续发展未来2024-11-04 11:24
-
光学3D表面轮廓仪:满足多元超精密微观尺寸测量需求2024-11-01 15:50
-
一文解析三坐标测量机对智能制造的影响2024-11-01 15:44
-
中图仪器武汉技术交流会圆满举办2024-10-27 08:01
-
测长机在测量长度尺寸方面有哪些优势?2024-10-25 16:20
-
如何保证测长机测量的准确性?2024-10-25 16:16
-
如何选择适合自己需求的测长机?2024-10-25 16:13
-
展会预告|金秋十月,中图仪器邀您共赴苏州双展2024-10-19 08:02
-
轮廓测长|中图仪器SJ51系列测长机实现高精度二维长度测量2024-01-25 15:37
-
显微测量|中图仪器显微测量仪0.1nm分辨率精准捕捉三维形貌2024-01-25 15:34
-
VX9000系列光学扫描成像测量机,满足PCB行业多样化尺寸测量需求2023-12-01 09:29
-
激光干涉仪检测机床的方法(以线性检测为例)2023-10-27 15:21
-
白光干涉仪(光学轮廓仪):揭秘测量坑的形貌的利器!2023-10-26 10:47
-
纳米级测量仪器:窥探微观世界的利器2023-10-11 13:49
-
微纳共聚焦显微镜:检测摩擦学研究的重难点2023-09-22 09:13
-
先进封装厂关于Bump尺寸的管控2023-09-06 14:26
-
飞拍测量|Novator系列影像仪大幅提升半导体模具测量效率2023-09-06 14:23
-
数控机床测头提升新能源汽车部件加工良品率2023-09-06 14:20