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中图仪器SuperViewW1光学测量仪轮廓度测量放大成像,精密测量微观物体,以白光干涉技术为原理,采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统,以优于纳米级的分辨率,测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。
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产品功能
1)SuperViewW1光学测量仪轮廓度测量设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;
2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;
3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;
4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。
结果组成:
1、三维表面结构:粗糙度,波纹度,表面结构,缺陷分析,晶粒分析等;
2、二维图像分析:距离,半径,斜坡,格子图,轮廓线等;
3、表界面测量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;
4、薄膜和厚膜的台阶高度测量;
5、划痕形貌,摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量;
6、微电子表面分析和MEMS表征。
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部分参数
Z向分辨率:0.1nm
横向分辨率(0.5λ/NA):100X~2.5X:0.5um~3.7um
粗糙度RMS重复性:0.1nm
表面形貌重复性:0.1nm
台阶测量:重复性:0.1% 1σ;准确度:0.75%
SuperViewW1光学测量仪轮廓度测量广泛应用于光学,半导体,材料,精密机械等等领域。除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外,具有的测量晶圆翘曲度功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。
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