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中图仪器测长仪SJ5160系列超高精度全自动光栅测长机采用超高精度进口长玻璃光栅尺作为长度方向定位,可进行符合阿贝原理超高精度全自动测量。自主研发智能全自动测量功能,用户操作体验感佳,而且仪器精度测量重复性30nm,测量重复性(2S)可达0.12μm以内,外尺寸示值误差为±(0.07+L/2000)μm。配置高性能超高进度螺纹环规测量装置,可测量小螺纹环规,同时可完成小的光滑环规检测。其测量力为电子测力,软件界面内可自由设置,设置较小测力可用于超薄壁工件测量。
性能特点
高精度、高稳定性
1)零膨胀超高精度光栅测量系统,分辨力达到0.001μm,测量精度高;
2)高精密特制研磨级直线导轨系统,导轨直线度高,导轨材料耐磨性好、保证系统高精度稳定可靠的工作;
3)进口特殊材料制作的高刚性、无变形测杆,保证测试数据的真实采集;
4)采用高精度稳定的大理石基座,保证了在头座及五轴工作台的移动过程中不会产生变形以及仪器不受外界震动干扰,保证了仪器的稳定可靠;
全自动调节双向高精度电子恒测力系统
1) 全自动调节双向高精度电子恒测力系统,采用特殊及双向受力弹性结构,测力恒定性好,减小了测力对测量结果的影响,全自动伺服驱动控制测力及光栅反馈测力位置,保证了高系统测量重复性精度;
2) 电子测力通过调节杆全自动伺服驱动系统控制连续可调;
电子测力传感器原理避免了仪器台面不水平及环境振动引起的测力变化带来的测量误cha。
零测力修正系统
1) 准确的电子测力技术,能准确的读取到当前的;
2) 零测量力修正,根据被测件测量时的测针、测帽形状及被测件尺寸进行测力变形量修正。
环境条件
参考环境温湿度:
温度:20±0.5℃,波动度不超过0.2℃/小时
相对湿度:20~60%
校准室内应无影响测量的灰尘、震动、噪音、气流、腐蚀性气体和较强磁场。
对于长度测量的精度低、稳定性差、测量系统操作复杂、测量功能少、检测过程复杂、数据不客观等缺点和不足,SJ5160系列测长仪精度更高,其特点是稳定性更强,及仪器的全自动测量。
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