用途：为半导体、光学镜片、材料、3C消费类电子、医疗、刀具等行业提供纳米级别粗糙度、台阶高度、微观形貌、三维形貌比对、高度、平面尺寸等要素测量。
特点：最高0.03nm精度，业内最快速度，可客制化测量工具和在线测量。
--- 产品参数 ---
- 像素 230万
- 扫描原理 白光干涉
- 扫描范围 5000um
- 最大扫描速度 400um/s
- 被测物反射率 0.02%~100%
- 显示分辨率 0.001nm
- RMS重复性 0.005nm
--- 产品详情 ---
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