SuperViewW13d光学轮廓仪品牌由照明光源系统，光学成像系统，垂直扫描系统以及数据处理系统构成。其重建算法自动滤除样品表面噪点，在硬件系统的配合下，分辨率可达0.1nm。
SuperViewW13d光学轮廓仪品牌载物台尺寸为320*200mm（可定制），行程为140*110mm（可定制）；测量的Z向范围可达10mm（2.5X镜头），Z向的精度可高达0.1nm。
【测量小尺寸样品时】可以测到12mm，也可以测到更小的尺寸，XY载物台标准行程为140*110mm，局部位移精度可达亚微米级别，镜头的横向分辨率数值可达0.4um，Z向扫描电机可扫描10mm范围，纵向分辨率可达0.1nm级别，因此可测非常微小尺寸的器件；
【测量大尺寸样品时】支持拼接功能，将测量的每一个小区域整合拼接成完整的图像，拼接精度在横向上和载物台横向位移精度一致，可达0.1um；
产品功能
1）设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；
2）测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；
3）测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；
4）分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；
5）分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；
6）分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。
SuperViewW13d光学轮廓仪品牌是一款专用于超精密加工领域的光学检测仪器，采用了CCD取代了显微镜中的目镜，可以直接从电脑上实时视频窗口观察样品表面形貌，也可以通过重建后的样品表面3D图像观察表面形貌，样品表面形貌展示得更加清晰，图像更大，观察更加方便。双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气的双通道气浮隔振系统，在无外接气源的条件下也可稳定工作，可以有效隔绝地面传导的振动，同时内部隔振系统能够有效隔绝声波振动，确保仪器在车间也能正常工作。
