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- 台 1
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AE(Advanced Energy)、ENI(MKS)、SEREN、DAIHEN、VEECO射频电源,HiTek power,Glassman、Spellman高压电源,Lambda、delta、sorensen、Powerone直流电源。ASTeX Microwave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH LAMP、ESC HV PSU SEREN射频电源3.56MHz维修 赛恩电源维修 MKS电源维修ENI SPECTRUM高压射频电源维修11002-00AE X射线衍射仪高压发生器维修射频电源维修 服务范围:刻蚀、RIE、平行板、ICP、pecvd、射频溅射、CVD 和PVD等系统,工业系统中感应加热和电介质加热设备的电源,烘干、塑化焊接、硅晶体生长和平板显示器领域应用电源,直流偏压和硬镀膜,信息技术设备(ITE)及轻工业系统、**设备。
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