中图仪器SJ6000高端激光干涉测量仪可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测，结合软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析。仪器以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。
产品功能
1.可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；
2.可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；
3.可实现龙门机床双轴同步测量；
4.可实现对机床回转轴的测量与校准；
5.可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；
6.具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；
7.支持手动或自动进行环境补偿。
检定测长机
对机床精度再校准
SJ6000高端激光干涉测量仪测量机床直角如机器轴垂直度误差测量（数控机床、坐标测量机等），是通过比较直线度值从而确定两个标称正交坐标轴的非直角度，即在同一基准上对两个标称正交轴分别进行直线度的测量。然后对两个轴的直线度进行比较，得出两个轴的垂直度。共同的参考基准通常指的是两次测量时反射镜的光学准直轴，在两次测量过程中既不移动、也不调整，光学直角尺测量中，允许调整激光束与直线度的准直，而不动直线度反射镜。
量程精度（部分）
稳频精度：0.05ppm
线性测量精度：0.5ppm（0-40）℃
线性测量距离：（0-80）m（无需远距离线性附件）
角度测量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
SJ6000高端激光干涉测量仪检测光刻机
