KEITHLEY吉时利6514型静电计具有灵活的接口性能，其电流灵敏度、电荷测量能力、分辨率和速度都优于我们之前的静电计。
内置式IEEE-488、RS-232与数字式I/O接口使它可以很容易地配置为全自动、高速系统，用于低电平测试。
KEITHLEY吉时利6514型静电计特点：
(1)<1fA 噪声;
(2)电压测量时，输入阻抗>200TΩ;
(3)电荷测量范围：10fC-20µC;
(4)速度可达1200个读数/秒;
(5)简易的用户界面提供开关，计算机以及元件处理器;
(6)主动消除电压与电流的偏移。
KEITHLEY吉时利6514型号主要技术指标
电流测量：<1fA(包含噪声)～20mA。
电压测量：10µV(数字分辨率极限，可能含有噪声)～200V。
电阻测量：10Ω～200GΩ;最低电阻精度优于1%，最高电阻精度优于10%;(使用236、237、238测量，通过加电压测电流或加电流测电压实现，不直接显示阻值)。
