企业号介绍

全部
  • 全部
  • 产品
  • 方案
  • 文章
  • 资料
  • 企业

中图仪器

深圳市中图仪器股份有限公司是一家高新技术企业，致力于全尺寸链精密测量仪器及设备的研发、生产和销售。

2.7k 内容数 99w+ 浏览量 63 粉丝

共聚焦显微镜精准测量晶圆激光切割槽

半导体晶圆 显微镜
型号： vt6000系列
品牌： 中图仪器(中图仪器)

--- 产品参数 ---

  • 注释 更多详细产品信息，请联系我们获取

--- 产品详情 ---

 

半导体大规模生产过程中需要在晶圆上沉积集成电路芯片，然后再分割成各个单元，最后再进行封装和焊接，因此对晶圆切割槽尺寸进行精准控制和测量，是生产工艺中至关重要的环节。

 

VT6000系列共聚焦显微镜是中图仪器倾力推出的一款显微检测设备，广泛应用于半导体制造及封装工艺，能够对具有复杂形状和陡峭的激光切割槽的表面特征进行非接触式扫描并重建三维形貌。

 

VT6000系列共聚焦显微镜具有优异的光学分辨率，通过清晰的成像系统能够细致观察到晶圆表面的特征情况，例如：观察晶圆表面是否出现崩边、刮痕等缺陷。电动塔台可以自动切换不同的物镜倍率，软件自动捕捉特征边缘进行二维尺寸快速测量，从而更加有效的对晶圆表面进行检测和质量控制。

  

在对晶圆进行激光切割的过程中，需要进行精准定位，以此来保证能在晶圆上沿着正确的轮廓开出沟槽，通常由切割槽的深度和宽度来衡量晶圆分割的质量。VT6000系列共聚焦显微镜，其以共聚焦技术为原理，配合高速扫描模块，专业的分析软件具有多区域、自动测量功能，能够快速重建出被测晶圆激光镭射槽的三维轮廓并进行多剖面分析，获取截面的槽道深度与宽度信息。

VT6000系列共聚焦显微镜能够对激光沟槽的轮廓进行精准测量，专业化的软件设计能够让用户轻松使用的同时获得精准的测量数据，为半导体晶圆检测行业助力！

为你推荐

产品 文章 方案 资料

  • 晶圆微观三维形貌测量系统2024-12-20 15:11

    产品型号：WD4000系列 注释：如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

  • 白光三维光学轮廓测量仪2024-12-20 15:07

    产品型号：SuperViewW1 注释：如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

  • 国产一键式影像闪测仪2024-12-20 15:05

    产品型号：VX8000系列 注释：如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

  • 桥式高精度三座标测量机2024-12-20 14:38

    产品型号：Mars系列 注释：如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

  • CNC二次元影像仪2024-12-20 14:36

    产品型号：Novator系列 注释：如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

  • 超清成像台式扫描电镜2024-12-19 14:41

    产品型号：CEM3000系列 注释：如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

  • cnc数控机床磨床在线测量头2024-12-19 14:40

    产品型号：PO系列 注释：如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

  • 激光追踪式测量仪2024-12-19 14:23

    产品型号：GTS系列 注释：如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

  • 探针接触式台阶仪2024-12-19 14:21

    产品型号：NS系列 注释：如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

  • 光栅式接触式测量测长机2024-12-18 14:09

    产品型号：SJ5100系列 注释：如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

  • 冶金工业案例：GTS激光跟踪仪在连铸机安装中的应用2024-12-20 15:03

    连铸机是一种用于将高温钢水连续浇铸成具有一定断面形状和尺寸规格铸坯的生产工艺设备。‌它的工作原理是将液态金属注入结晶器，通过水冷使金属凝固成坯料，然后通过拉坯机将其拉出并切割成定尺的铸坯。连铸机在钢铁生产中具有显著的优势，包括提高金属收得率、降低能源消耗、减少劳动强度以及易于实现自动化。与传统的模铸法相比，连铸技术大幅提高了生产效率和铸坯质量。在连铸机安装中
    75浏览量

  • 尺寸测量全自动检测设备及其在线应用探索2024-12-13 16:59

    尺寸测量全自动设备高精度高效，含一键闪测仪、AI影像测量仪、三坐标机、激光跟踪仪等，广泛应用于制造、航空等领域，实现智能化、无人化测量，提高效率和准确性。
    210浏览量

  • 自动化生产中的精密几何量测量：关键仪器与应用2024-12-13 16:43

    精密几何量测量仪器在自动化生产中至关重要，影像测量仪、三坐标测量机、白光干涉仪和激光跟踪仪等提高精度效率，助力智能制造和工业4.0，推动制造业高水平发展。
    239浏览量

  • 白光干涉仪测量原理及干涉测量技术的应用2024-12-13 16:42

    白光干涉仪利用干涉原理测光程差，测物理量，具高精度。应用于半导体、光学加工、汽车零部件制造及科研等领域，双重防撞保护保障测量安全。
    240浏览量

  • 精密几何测量仪三剑客：闪测仪、影像仪与三坐标2024-12-13 16:40

    闪测仪、影像仪、三坐标测量仪在工业中起关键作用，提升检测效率与质量，实现自动化测量，推动高质量发展与智能化升级，守护工业制造质量与效率。
    176浏览量

  • 中图仪器获得国际大厂布雷博认可2024-12-13 14:54

    在全球汽车制造和零部件生产领域，质量和精确度从来都是至关重要的。作为汽车制动系统领域的知名品牌，布雷博（Brembo）一直以其高性能和高品质的制动产品闻名于世，近日，中图仪器的闪测仪和粗糙度轮廓仪经过布雷博（Brembo）严格测试验证，顺利通过验收。这无疑是对中图仪器产品质量和技术创新的极大肯定。关于布雷博（Brembo）布雷博（Brembo）总部位于意大利
    238浏览量

  • 激光跟踪仪测量工具简称及全面解析2024-12-11 15:55

    激光跟踪仪简介激光跟踪仪是工业测量系统中一种高精度的大尺寸测量仪器。它集合了激光干涉测距技术、光电探测技术、精密机械技术、计算机及控制技术、现代数值计算理论等各种先进技术，对空间运动目标进行跟踪并实时测量目标的空间三维坐标。激光跟踪仪具有高精度、高效率、实时跟踪测量、安装快捷、操作简便等特点，适合于大尺寸工件配装测量。其基本都是由激光跟踪头（跟踪仪）、控制器
    190浏览量

  • 铸光为尺—PLR3000系列光纤激光干涉尺新品发布2024-12-03 01:02

    激光干涉测量技术具有灵敏度高、量程大及可适应恶劣环境等优点，光波可以直接对米进行定义且容易溯源。中图仪器自研的PLR3000系列光纤激光干涉尺基于激光干涉测量原理，是一种高精密度、高灵敏度、高效快速的先进位置检测设备，在非接触高精度测量领域具有其它测量方法无可比拟的优势，相比传统钢带尺或玻璃光栅，具有更加精确的栅距和更高的分辨率，同时其热源隔离设计，保证了更
    191浏览量

  • 轴承行业测量解决方案2024-11-29 14:12

    轴承是工业基础件，也是核心零部件，在汽车、机床、机器人、家用电器、电机、铁路、航空航天、船舶、工程机械、农用机械、矿山机械等各行业均有广泛应用。它的主要功能是支撑转轴旋转，降低转动过程中的摩擦系数，并保证轴回转精度，轴承的性能状态直接影响机械设备的性能和运行寿命。中图仪器轴承行业测量解决方案覆盖轴承滚动体、内外圈套、保持架以及轴承关联部件（滚珠丝杠、直线导轨
    101浏览量

  • 触针式轮廓仪在轴承滚子测量中的应用2024-11-20 01:02

    滚子轴承一般应用在载荷比较大的场合，在滚子轴承工作过程中，滚子承载了传动过程中的载荷，合理设计滚子的凸度形状及凸度值,可以减小边缘集中应力,提高轴承使用寿命。滚子凸度目前一般采用传统的机械式检测方法,精度不高且不能详细检测任意长度位置的凸度值,测量过程复杂、效率较低。各类滚子素线与凸度定义工程中的滚子素线一般有直素线型、全圆弧凸度型、部分圆弧凸度型和对数素线
    153浏览量

  • 方案上新|轴承行业测量解决方案免费下载2024-11-28 16:42

    轴承是工业基础件，也是核心零部件，在汽车、机床、机器人、家用电器、电机、铁路、航空航天、船舶、工程机械、农用机械、矿山机械等各行业均有广泛应用。它的主要功能是支撑转轴旋转，降低转动过程中的摩擦系数，并保证轴回转精度，轴承的性能状态直接影响机械设备的性能和运行寿命。中图仪器轴承行业测量解决方案覆盖轴承滚动体、内外圈套、保持架以及轴承关联部件（滚珠丝杠、直线导轨、螺纹、连接轴、轮毂轴、曲轴、万向节等）
    83浏览量

  • 大尺寸部件安装精度测量：GTS激光跟踪仪的解决方案2024-11-20 14:52

    在现代工业制造与大型工程建设领域，大尺寸部件的安装精度是至关重要的环节。从航空航天飞行器的组装，到大型桥梁的钢梁架设，再到高精度机床的零部件安装，一丝一毫的误差都可能导致严重的后果。而激光跟踪仪，作为一种先进的测量设备，为解决大尺寸部件安装精度测量问题提供了理想的途径，深受客户关注。高精度测量需求的驱动对于客户而言，大尺寸部件安装精度的测量是确保项目质量和性能的关键。在航空航天领域，飞机机翼与机身
    134浏览量

  • 轮廓测长|中图仪器SJ51系列测长机实现高精度二维长度测量2024-01-25 15:37

    高精度二维长度测量技术在精密制造业中至关重要，测长机作为高精度长度测量工具，可实现对工件尺寸和形态的精确测量，提高产品质量和生产效率。测长机具有高精度、重复性好等特点，可应用于多种精密制造领域。未来，测长机技术将不断更新和完善，为精密制造领域的发展提供有力支持。
    434浏览量

  • 显微测量|中图仪器显微测量仪0.1nm分辨率精准捕捉三维形貌2024-01-25 15:34

    显微测量是利用显微镜对微小尺寸和形状进行高精度测量的技术，在先进制造业中具有重要意义。它为制造业提供了准确、可靠的测量手段，帮助企业实现更高水平的制造和更高质量的产品。随着科技的不断进步，显微测量技术有望在未来取得更大的突破和应用。
    443浏览量

  • VX9000系列光学扫描成像测量机，满足PCB行业多样化尺寸测量需求2023-12-01 09:29

    VX9700光学扫描成像测量机红、蓝、绿三色光源满足不同颜色PCB测量需求。高远心度双侧远心镜头提升数倍精度，一键测量新能源车PCB轮廓度、位置度、外形尺寸。
    716浏览量

  • 激光干涉仪检测机床的方法（以线性检测为例）2023-10-27 15:21

    激光干涉仪检测机床的方法（以线性检测为例）1.进行线性测量的一般步骤（1）安装设置激光干涉仪（2）将激光束与被测量的轴校准（3）启动测量软件，并输入相关参数（如材料膨胀系数）。（4）在机床上输入测量程序，启动干涉仪测量，并记录数据。（5）用测量软件分析测量数据，生产补偿文件。线性测量应用2.光束快速准直步骤（1）沿着运动轴将反射镜与干涉镜分开。（2）移动机床工作台，当光束离开光靶外圆时停止移动，垂
    723浏览量

  • 白光干涉仪(光学轮廓仪)：揭秘测量坑的形貌的利器！2023-10-26 10:47

    SuperViewW1白光干涉仪结合数字图像处理技术和三维重建算法来提高测量的精度和效率，揭秘并测量坑的形貌，为科学研究和工程实践提供更有力的支持。
    644浏览量

  • 纳米级测量仪器：窥探微观世界的利器2023-10-11 13:49

    纳米级测量仪器在纳米科技研究领域中扮演着重要的角色。通过共聚焦显微镜、光学轮廓仪等的运用，科研人员们能够更加深入地了解纳米世界的奥秘。
    788浏览量

  • 微纳共聚焦显微镜：检测摩擦学研究的重难点2023-09-22 09:13

    针对磨损区域较大、坡度也较为陡峭的生物摩擦和流体摩擦领域，采用中图VT6000系列共聚焦显微镜更加匹配，其远胜于光学3D表面轮廓仪的大角度测量能力和超景深观察功能，能够轻松胜任磨损较为严重的表面形貌检测，从而帮助研究人员更加精准的掌握磨损量评价数据。
    1.2k浏览量

  • 先进封装厂关于Bump尺寸的管控2023-09-06 14:26

    BumpMetrologysystem—BOKI_1000在半导体行业中，Bump、RDL、TSV、Wafer合称先进封装的四要素，其中Bump起着界面互联和应力缓冲的作用。Bump是一种金属凸点，从倒装焊FlipChip出现就开始普遍应用，Bump的形状有多种，常见的为球状和柱状，也有块状等其他形状，下图所示为各种类型的Bump。Bump起着界面之间的电气互联和应力缓冲的作用，从Bondwire
    2.2k浏览量