SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。
SJ6000激光干涉仪除了环境适应能力好，还可以进行动态高速测量，选配相应的功能模块元件后还可以测量振动幅度、平面度、线速度、角速度等。
功能广
可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；
可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；
可实现龙门机床双轴同步测量；
可实现对机床回转轴的测量与校准；
可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；
具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；
支持手动或自动进行环境补偿。
对机床精度再校准
导轨直线度检测
技术规格
| 稳频精度 | 0.05ppm |
| 动态采集频率 | 50 kHz |
| 预热时间 | ≤ 6分钟 |
| 工作温度范围 | (0~40)℃ |
| 存储温度范围 | (-20~70)℃ |
| 环境湿度 | (0~95)%RH |
| 线性测量距离 | (0~80)m (无需远距离线性附件) |
| 线性测量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
| 角度轴向量程 | (0~15)m |
| 角度测量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
软件强
友好的人机界面；
丰富的应用功能模块；
向导式的操作流程；
简洁化的记录管理；
支持中文、英文和俄文界面；
支持企业专属模板定制。
EC20环境补偿单元
SJ6000激光干涉仪配备的EC20环境补偿单元，由环境补偿主机（内置湿度传感器和气压传感器）、空气温度传感器和3个材料温度传感器组成，可实现对空气温度、湿度、大气压力和材料温度的实时高精度检测。
EC20环境补偿单元
EC20环境补偿单元在出厂前，会依照相关计量标准对各环境参量进行精确校准，通常情况下建议24个月校准一次。在使用EC20环境补偿单元过程中，在不影响测量光路和被测物体运动的前提下，建议将环境补偿主机和空气温度探头就近于测量光路中间处放置。
