--- 产品参数 ---
- 注释 更多详细产品信息,请联系我们获取
--- 产品详情 ---
在生产中,表面三维微观形貌对工程零件的许多技术性能的评价具有最直接的影响,而且表面三维评定参数由于能更全面、更真实地反映零件表面的特征及衡量表面的质量而越来越受到重视,因此表面三维微观形貌的测量就越显重要。通过对三维形貌的测量可以比较全面地评定表面质量的优劣,进而确认加工方法的好坏及设计要求的合理性,这样就可以反过来通过指导加工、优化加工工艺以加工出高质量的表面,确保零件使用功能的实现。
SuperViewW1光学白光干涉仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
产品功能
1)SuperViewW1光学白光干涉仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;
2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;
3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;
4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。
技术指标
型号 | W1 | |
光源 | 白光LED | |
影像系统 | 1024×1024 | |
干涉物镜 | 标配:10× 选配:2.5×、5×、20×、50×、100× | |
光学ZOOM | 标配:0.5× 选配:0.375×、0.75×、1× | |
标准视场 | 0.98×0.98㎜(10×物镜,光学ZOOM 0.5×) | |
XY位移平台 | 尺寸 | 320×200㎜ |
移动范围 | 140×100㎜ | |
负载 | 10kg | |
控制方式 | 电动 | |
Z轴聚焦 | 行程 | 100㎜ |
控制方式 | 电动 | |
形貌重复性 | 0.1nm | |
粗糙度RMS重复性 | 0.005nm | |
台阶测量 | 准确度:0.3%;重复性:0.08%(1σ) | |
可测样品反射率 | 0.05%~100% | |
主机尺寸 | 700×606×920㎜ |
SuperViewW1光学白光干涉仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
性能特色
1、高精度、高重复性
1)采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统,保证测量精度高;
2)隔振系统,能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动,消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声,保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用,获得高测量重复性;
2、环境噪声检测功能
具备0.1nm分辨率的环境噪声检测模块,能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰,在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。
3、精密操纵手柄
集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。
4、双重防撞保护措施
在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外,另在Z轴上设计有机械电子传感器,当镜头触碰到样品表面时,仪器自动进入紧急停止状态,最大限度的保护仪器,降低人为操作风险。
5、双通道气浮隔振系统
既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机,在无外接气源的条件下也可稳定工作。
应用领域
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
为你推荐
-
WD4000晶圆表面形貌量测设备2024-09-30 17:06
产品型号:WD4000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
GTS高精密激光跟踪测量仪2024-09-30 17:04
产品型号:GTS 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
中图仪器接触式轮廓度粗糙度测量仪器2024-09-30 16:58
产品型号:SJ5800 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
光学超光滑微透镜形貌轮廓测量仪2024-09-30 16:56
产品型号:SuperViewW系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
中图仪器VX8000一键尺寸测量检测仪2024-09-30 16:42
产品型号:VX8000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
全自动高精度视觉影像测量仪2024-09-29 17:12
产品型号:Novator系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
国产机床测头量仪2024-09-29 16:55
产品型号:PO系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
半导体晶圆几何形貌量测设备2024-09-29 16:54
产品型号:WD4000 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
国产台阶仪器测试薄膜厚度2024-09-29 16:52
产品型号:NS系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
活动桥式三坐标测量设备2024-09-27 16:29
产品型号:Mars系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
-
使用激光跟踪仪提升码垛机器人精度2024-09-30 16:37
-
湾区行|张鹏:在“痛并快乐着”的科研道路上不断前行2024-09-26 08:03
-
CEM3000系列台式扫描电镜:台式电镜领域的又一“中国神话”2024-09-26 08:03
-
激光跟踪仪在火车轨道检测中的应用2024-09-15 08:03
-
CIOE2024:光电科技的璀璨盛宴即将开启2024-09-05 10:22
-
GTS激光跟踪仪USMN联合组网应用-精确到微米的大空间尺度测量2024-09-05 08:02
-
机床性能优化:校准补偿系统在故障诊断与预防性维护的应用2024-08-30 16:51
-
复杂工件的高效测量方案:自动化三坐标测量与影像测量技术集成2024-08-30 16:49
-
精密制造新篇章:三坐标测量机绿色转型下的高精度测量2024-08-30 16:47
-
激光跟踪仪:提升大型龙门机床装调精度及效率2024-08-30 12:08
-
轮廓测长|中图仪器SJ51系列测长机实现高精度二维长度测量2024-01-25 15:37
-
显微测量|中图仪器显微测量仪0.1nm分辨率精准捕捉三维形貌2024-01-25 15:34
-
VX9000系列光学扫描成像测量机,满足PCB行业多样化尺寸测量需求2023-12-01 09:29
-
激光干涉仪检测机床的方法(以线性检测为例)2023-10-27 15:21
-
白光干涉仪(光学轮廓仪):揭秘测量坑的形貌的利器!2023-10-26 10:47
-
纳米级测量仪器:窥探微观世界的利器2023-10-11 13:49
-
微纳共聚焦显微镜:检测摩擦学研究的重难点2023-09-22 09:13
-
先进封装厂关于Bump尺寸的管控2023-09-06 14:26
-
飞拍测量|Novator系列影像仪大幅提升半导体模具测量效率2023-09-06 14:23
-
数控机床测头提升新能源汽车部件加工良品率2023-09-06 14:20