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--- 产品详情 ---
激光干涉仪以光波为载体,其光波波长可以直接对米进行定义,且可以溯源至国家标准,是高精度、高灵敏度的测量仪器,在制造领域应用广泛。
中图SJ6000机床用的激光干涉检测仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下,可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。
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性能特点
1.测量精度高、速度快,稳定性好
①使用高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)
②以光波长(633nm)为测量单位,分辨率可达nm级
③使用高速光电信号采样和处理技术,测量速度可达到4m/s。
④SJ6000机床用的激光干涉检测仪配合有环境补偿单元,在环境变化的情况下,也可以得到较高的测量精度
⑤分离式干涉镜设计,避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变
2. 应用范围广
①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测
②结合软件系统,可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析
③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据,进行动态特性分析
3.软件界面友好
①使用当前热门的软件界面开发工具,软件界面人性化,操作简单。
②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中,更方便用户切换测量类型。
③向导式操作,流程清晰,更符合国内用户的使用习惯。
4 性价比高
性能达到了国外仪器的水准,价格是国内仪器的良心价。
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SJ6000机床用的激光干涉检测仪系统具有丰富的模块化组件,可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列,依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。
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其中,线性镜组为标配,由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析,以及反向间隙修正和螺距补偿。
技术规格
稳频精度 | 0.05ppm |
动态采集频率 | 50 kHz |
预热时间 | ≤ 6分钟 |
工作温度范围 | (0~40)℃ |
存储温度范围 | (-20~70)℃ |
环境湿度 | (0~95)%RH |
线性测量距离 | (0~80)m (无需远距离线性附件) |
线性测量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
角度轴向量程 | (0~15)m |
角度测量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
平面度轴向量程 | (0~15)m |
平面度测量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值,单位:μm;M为测量距离,单位:m) |
直线度轴向量程 | 短距离(0.1~4.0)m;长距离(1.0~20.0)m |
直线度测量精度 | 短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
垂直度轴向量程 | 短距离(0.1~3.0)m;长距离(1.0~15.0)m |
垂直度测量精度 | 短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
注意事项:
平面度测量配置需求:平面度镜组+角度镜组
平行度测量配置需求:依据轴向量程范围,选择相应直线度镜组即可
短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求:短直线度镜组+垂直度镜组
长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求:长直线度镜组+垂直度镜组
直线度附件:主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量
内置13份标准,包含GB、ISO、英标、美标、德标、日标等国内外通用标准。可依据各种不同的机床标准分析处理数据,并可打印相应的曲线图和数据报告。
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